Припоечное стекло

Припоечное стекло

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ПРИПОЕЧНОЕ СТЕКЛО, включаюЦее GeO, , PbO, PbF, ZrOj, отличающееся тем, что, с целью обеспечения вакуумно-плотного спая с германием и снижения температуры спаивания, оно дополнительно содержит TiO, ,, ZnO при следующем соотношении компонентов, мас.%: . n-16 GeOj 6-10 50-60 РЬО 7-14 PbFj, 0,5-1,0 ZrOj 4-6 TiOj 0,2-0,5 NbjOj 7-12 ZnO (0 d

СОЮЭ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

4(51) С 03 С 3/12

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕДАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н ABTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

F

1 (21) 3700050/29-33 (22) 22.11.83 (46) 23.02.85. Бюл. Ф 7 (72) Л.В.Кондакова, В.Н.Лебедев, В.А.Михайлова, С.К.Цакулс и И.С.Кабаева (53) 666.112.92(088.8) (56) 1.Авторское свидетельство СССР

9 604836, кл.С 03 С 3/10, 1976.

2. Авторское свидетельство СССР

Ф 833596, кл.С 03 С 3/08, 1979 (прототип). (54)(57) ПРИПОЕЧНОЕ СТЕКЛО, включаю щее GeO>, В20, PbO, РЬР2, ZrO>, „„SU„„1141077 A о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью обеспечения вакуумно-плотного спая с германием и снижения температуры спаивания, оно дополнительно содержит TiO, Nb 0> ZnO при следую Ф щем соотношении компонентов, мас.Х!

GeO 11-16

В 20

6-10

РЬО 50-60

PbF 7-14

Zz 02

0,5-1,0 тд02 4-6

NbтО3 0,2-0,5

ZnO 7-12

1141077

Таблица 1

Предлагаемые составы стекол мас.%

Окислы

Pb0

60 0

50,0

53,0

GeO

16,0

12 0

11,0

7,0

PbF

14,0

Zr0

0 5

0,7

1,0

0,2

0,3

0,5

10,0 во

6,0

7,3

12,0

ZnO

7,0

4,0

ТО, 6,0

5,0

Изобретение относится к технологии изготовления электровакуумных и полупроводниковых приборов, к составам стекол, применяемых для герметизации германия со стеклом и может быть 5 использовано в электронной технике для изготовления металлостеклянных корпусов полупроводниковых приборов с входными окнами иэ германия.

Известно легкоплавкое припоечное 10 стекло, включающее, мас.%: РЪО 64-83;

В20> 4-15; ZnO 4-11,5; Б О 0,1-2;

А1 О 0,1-4; СиО 0,5-2,5;

Bi О 1 4, MgO 0,1 2, МпО 0,1 0,5, SbqOq 0.1 3 L13 15

Данное стекло имеет КЛТР (83,687,0)- 10 7 I/ С, температура размягчения 376-380 С.

Наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигае- 20 мому результату является стекло, включающее, мас.%: SiO 50-70;

А1 0э 3-5; GeOz 1-10; Йа20 9-11;

В О 4-12;. Сг О 0 2 0 3; РЬО 4-12;

PbF 3=10 ЕГО Оу5 1эО

Температура спаивания стекла

700-900 С (23.

Недостатками известного стекла являются высокие остаточные напряжения по спаю стеклогерманий КЛТР германия 55 -10 " 1/ С, Цель изобретения — обеспечение

Р вакуумно-плотного спая с германием и снижение температуры спаивания.

Поставленная цель достигается тем, что припоечное стекло, включающее GeO>, Оз,РЬО, PbFz,ZrOq,дополнительно содержйт Т10, ИЬ 0, ZnO при.следующем соотношении компонентов, мас. :

GeO> 11-16

В О, 6-10

PbO 50-60

PbF> 7-14

ZrO 0,5-1 О

ТО 4-6

БЬ2 О 0,2-0 5

ZnO 7-!2

Предлагаемые составы стекол приведены в табл.1, Стекло получают по обычной стекольной технологии.

Физико-химические свойства известного и предлагаемых составов стекол приведены в табл.2.

Применение предлагаемого состава стекла дает воэможность получить надежные вакуумно-плотные соединения стекла с германием. Температура спаивания припоечного стекла в пределах 500-.520 С дает возможность производить герметизацию германия без окисления его поверхности и выгорания просветляющего покрытия (пленки ZnS ) а также улучшить кислотоустойчивость спая. Состав припоечного стекла найдет применение при изготовлении корпусов полупроводниковых и электровакуумных приборов.

1141077

Таблица 2

Свойства

Известный

Коэффициент линейного термического расширения

КДТР 10 1/ С

60

700-900

510

500

520

Практически отсутствуют

400-500

Кислотоустойчивость после

Герметичйость нарушается обработки в "хромпике"

Спаи сохраняют герметичность

98

Составитель Г.Каменских

Редактор Г.Волкова Техред M. КузьмаКорректорС.lgeKMap

Заказ 410/20 Тираж 457 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", r.Óæãoðîä, ул.Проектная, 4

Температура спаивания, С

Остаточные напряжения по спаю стекло-германий, нм/см

% светопропускания, состояние просветляющего покрытия в спаях (растворе K>Gr>0> в

Н SO ), Ж герметичности

95 . 93 м

Просветляющее покрытие

Z» сохраняется

Просветляющее докрытие сгорает