Станок для шлифования и доводки плоских заготовок, например, пластин из полупроводников

Станок для шлифования и доводки плоских заготовок, например, пластин из полупроводников

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

№ 115}}45

1 ласс 673, 13

67а, 32,, А. С. Готман, И..Е. Эпште(".н, A. Я. Ак>!епгыньн! и А. 3. Рихсвский

СтЛНОК ДД,} ПЛИ-}ОВЛ-;:;.,- }. ДОРОП),.::,1} Г(Л::СКИХ

ЗЛГОТОРОК, НА(}РИ1".1ЕР, ",", - ) .; И l-. И3 (1ОЛ."}} РС;:i. 3„>i-I ИКОВ

3;> B.>()»(> 2;! .-(,;;; ГЧ>;. (1 .;,; ",, Л: 5>, :в I-(2);) К,:;,;,1. >1 > 3(ч,>!

)I ЗОП>(>(Т, >:)l > >> I,:TC!>:, .;: >;»;:, -,,;,;, >„, » P

Ста;!к;(д.,(я шлпфов!П(:.я и доводки !!.10 (и ° .!.:!. Ото=:oi(, i! ОчсчцаеМ hIK В С(!!3}>3TOP(. >(С..К T>, (Б> >!)! 3!I НОВЬ(. i! C l;C})TII!(;I > ПЬ1 1 ОС5(МИ

И((И(!01 .3:!Ьннна:>!H, ПЗ КО О, )!>(К !!illHH I(, (Ь 3(<» . ICi > ."::.1) !!,1(. :! Hа Т})С>1ОГВ, HЗ. СС I (lh!, (! ГЛИЧ ПТС 1ЬПОП ОСОО Н НОС ГЬ!О П, (. (Л .! I !(. .>I.>ГО (iill!() Ol О ЖС I >IH3

ЯВ":ЯСТ Ч МСТ3НОВК3 Каи ((); ()I>()} Ы !"; >1\)i 1;П«11I. . . l „, (Г . .1!(! ) (>1ЛП(})Овальпика па ((0;;he >(((Oi(,;Гапримср. Гпд})!!Блпче(Oil 1;:!Гп! д})е. снабiK()Í . ОМ СО CTOPOHh(HBГ! СТ3НИЯ КЛапаННЫМ Запо})ОМ >. ЗГIСК Г}3 . (()ÃHÈTHhl. Л П!)((ВОДО 1 УП}33Б,(Я ."Ь! >1 ОДНИМ ПЗ TI)("; Д: > -IНК()В, К()!1 ГР.>ЛП})>)Ющит положснке Веркнсго IT.:пиндсля В просгг})!(!(()Вс Гакос Г>ь!!1(>л сняс

П})СДЛЯГ3СМОГО CTBHK;I ООРСПСЧИЬИСТ П})ИВ(>СИНС ВСП:;НС! 0,li:KOÂOÃÎ

Ш (И(1)ОВ3311 Нина В 1!СКРД!IОС Г(О т(ОЖ(НИС Б СЛ > i!!(. Откг(О!1ВП11 .i () I IiO,!СЛНС> О, В РВЗГ(ьтатс !С(О C() })3Í ICТСЯ 113}) ГIЛ. IC, )l II(:CTh )I(ЖД > Р(1 ООЧ ИМИ повсрхностями (:боик п(л(!(})сваг(ьнпков, и. Слсдов;! T(, IhHo, !()(. Гигастся точна i па})3>(((РГ!ь!(Ость 00})()бать(васмы."; повс})(!1(тс!} 33ГО!, Вкп.

11рсдг>ага Mhll(станок скс ..!атически показан I;I !3 (})НГ, дана его злсктрическая скема.

Г} P 03,". л Г 3 L!> (ы Й ст 3 н О K и м с ст д В 3 В }) i 1(на Го !и и ." (. и,:-! с НО H I:> (I! (I; ф 01- .3. Iь!1!!ка 1 и 2. Вс})тика, п>ныс Оси > )l 4, Hp3 и((. H I! я кото })!! л . (сп(сны, дпа ог(;осительно другой. Вер)(ни! 1>!л((фов(1.!ьп(!к 1 пмест В:>зло)кност!. ()ll,1с1; ВТЬС я ПО 11срс ОО}) або) Kll .I. !3C Гнп П:IЗ НОС(1 и(. 1!1(})()! .33 K!! I>ÊOÂ.

} (}! и лс,(ь В(:>!) кпсг() и!л и(1)овальнг! к3 1 >> к})сп.1сн и и Tp(. НОГ(. >, 1((1)1" дая ()::.) !);! К()ТО})01! ACT ан(:ВЛСНЯ Н<1 ??(???? ?????????? ????> 110, I, h> НО)! . >1(Xc!! III, С )>), 1.<> ".,, 1(. }), Гпд})ИВ. >ичс;I Oì. Кяж (ый поз(ьс. >!Н(-.(й мск(1:.Пlзм пр(." (став, iH(T. С()() ()П ГПД})0 J H 1!1НД1., > Т3НОБЛСНПЫИ Н !1 (ТН I IH il(ll ll(I OH (. Ilih(IT

СО СТОPO!(h : 113 Ã i T 31(iIË К. 13 i! 3Í ã1h!11 3 3 П Г)PO)() С -., !(КГ})011;1Г(1 П Тп bl >! 11}). lт.;,;! Я № 115О45

МЕЖДУ 1})ЛИ(!)ОВал»ПИК2 М!; TfOMeit)eT Сe;!aj)2T3P .), COBСОПI -> (>3Щ){Й

Во Bpa7 H0-поступательные д(ви«)к%(((я пар()ллсльп0 . 70сксс«Г)(((и)кнего щ:!И())оваль):(!ка! 2. В сепа()атопе имеются гнезда для Г(0);с)гс(- (я сбрабатывас))(ь)х пла. .тин. т)ЛЯ Г(ЕПРЕРЫВНОГ{) Qi! Pej(PJ!QT!!HH ОТКЛО!." НИЯ ПО !ОЖЕ)(И){ (CI! 3(2Щ(.НИЯ )300> «НЕГ() }ПЛИфСВ2Л>ап()К2 .т И аВТ(0)22 (ИЧ(.Ст .О> т) ): pHBL eн,П(3 i 0é

ОCH В ЗНДВПЦОЕ ПОЛО>КЕНИЕ т!РИМСт!)СНа Cilсте)(2 !13 тР; Да- ЧИКО(! {а) (k!2 (1)ИГ. 1 т1)ИТИЕ(Д ТЧЕК ii(> ПСКВ>32Е!), t.a! I !H.;Iт j) !{T!3 I()C(ИВНЫХ О() )т(Нтированных пго рабочям повсрхпостям обоих:пли(!)Овв). Вникo:),,;3.,:-!

7, ргпощих зазор ы (1, ) „-,. i i >! H р авенстве всех трех за;-,;. то.;

t} — - -И> > - (3200Ч2({ ПОЗ" ()ХП()CTB БЕОХI)Е! О тн !IjBOi!2ЛЬ({И)(2 -P!) 2. l.7е."ьна рабочей -(QBepxkto" и ни)кпегп (плигсва.п>({)T!

Х}НД >КТПРНО ТЬ Ка)КДОГО }})ТЧИКН (? ВХОДИТ B Кт)ЛЕОВТ(!Ы!(>(Г(Кс (Тур ГЕНЕ „)атора 1)! (()7ИГ. ) . «асТ); Ь! Т()ГСХ ГЕПС)) 2ТОр GB О Л t .:pa! Вп :.—

В2)0, СЯ В ТРЕХ фазс> .p2ÂÍ«И > Е > ЯХ 2?, 2 (ЗЫХО) С !Q! Qp !: Р .„j IQ(T! j p!H т)0)7}1»)1-с в«)нных T) > ) е ю са I »! . )(>>>)(3) (T j ())2" О аз тц >Ä>-, ч(«х»(т>0.(с-, дсст}!Гастс)(дополн,TCA(и)ыи двиг (3 hp, "Г>> так, чз)с " ли ссс с!)акНИВаСЪ(1-.!Е -2СТСТЬ(ОДИННКС >j>(И ГЗ-.;!k!;;!i(Q С:,,; .Нт!ТЬ((>Q т ).-: Е;;" 1(20, ОЕ e ) )12ХОДЯ";CH В H!C. !CT»a;TT.НС;>т I(0 то КЕНИИ (>PH Ha-!!CH< ){И,I:,. )2 Ы ОДНСР) ИЗ !2:TQT QG(10.7.".;HTe,(ЫIО ДО : .. т) РЕ7С Заi>IÛ .< T(QT ЕК)! 2КТ)з1 В СДi1! > k > p Г\ o сто»01(т). как )!Ст,)удпс пОсслсдигь (>3)иг. ) .THGáQP расСОГЛ2ССВПН IС ()23 . т,,", = .2 .ТОТ . C !СР2 !OPÎB П()ИВСДЕТ В те(1СТ()ИС ССи

ОТВСТСТВ т «О) ИЕ ) П ) 2ВЛЯIОЩИC> pHBОДЫ О> " :ОТОЗЫС,:;PH...ТВ . -О 11"

М; i)0.(t>e)>,:a ОПОР т!)Е) О! ) И УРаттн}1:П)2)ОТ >ЗСЛИЧИ({() ЗВЗО»;

} )РИ 1)2Р т ПIЕ()iiH T."2BL тс! В! -! .Ь., — .! т ОДИ(=. ))Лlт ДВ2 );, (2 .;.(ННЫХ

ЗИПЗpа / 0 (КОЬ(в аIOT Ii > Ть Н 2ГНРТНН! .и ."КH3)

;>Яа ГСHi 7та >t" >; т) )i) ÇC. !, =TO GCj> ВСПХ CT 0 П: «тт){ДЕЛЯ ВО)В() 21. aeт«СЯ)

Х0 }П()С; .С вЂ”,Ох.ет,;;!,,i:i:3:;; :3300::! 4 т..>, (! „ }., yP a-Bi;H >a;ОТC)i (," П,;С-(72! il >!О,,;:Tl!HС;,, (3)КЕТ бытв Г ри) ("11 (Î 2.!ii Н т)П рЬП)т{СГО

С:.{>ЕДС -.::".Л!Я TO. П .,и.,1;.i 2, )!l! (01», (О >тн:Е)(Стаl;.".,l . 1! TGCT:i)i:e...,!t

«

ПЕПО.>B! „ -(1-; P 1() (..-(2! i!!Q" i и Пт)(.",;! .:. Г 2(С>ПI; Q;(!) (HG С, j;, т:T; ; 2,",,->>

ПЧ 0 ". т т) С ОП1)а,(те " - > И 3: "0 Р т(тт j.) ""1" I:: "-П Ч 32 ) «3 Г> 113 }>

T(T ° ..>,T,," jg> ° 1-1;!(1)а 3 Р;т»,:.,: >,, > —, . тт> ) > 2 (,", ° (аCT> <-тп-,а " ->- ВП),f т) ,Л >Ч СЕСТЯ ОСВЕТП: Е 1}т т><) ПВХО тт)т (С<) )(P! IGCG>С СТГГЧ!ПО из )С!1?) Г Вт О i

))тна> 1! ()сика Ci»0 ВЕТС7 Во та !„ !.! (т)0 т(ЕПТ>> =i>! т!От>ЕП> }т C -; 2;i < т ;. )т т!(ттт 7!>() OB 7!L !! j! ? ) !») > "Tp ã«> "!) 2 б (Ы > !:С Гпт) т а

Л р > (> >т -;.; —,.- П:т . " k k!)><И СГО 1-> --(;т(>)ОВ() T(,,k) „>на 2 <(О т!«П !pi; !

0).! - Сл 2 ..,.;I.:;,:.(." ;, т((ч: 2(СИ<с»О (,;3(GCO!!GOTHB7Ñ((Èß> 22 1! 2д

С,; 32),;ты,>П. С т тт > ):,,", ВС) И,"Е„т}()(и Гт(ЗИ атой . . >СТОГО): )() И Л(.?, т Г--)С.(.И7:"-, ?t!; „";!!",(2)07 «Я В»СОХ а (>ПОТССС, ротн»..лз)т;-;С 22

ПО Чпяет Г({д!) ОСИСТС), 2, р 2(бОТ2(оп:,2(! 1!О »p}(Н!,И ji, C )О, li «llсппlкт.>) (.ОСу;тСВ. I< 2Ï IЛ ИХ (GGG )llзнl Я Снаб.. .CI :>TBÏ21({:-.."т! Заг(ОСО;! 2) С -;..".(.::ТОС)!аг({)Г(7. ь(т(пр)твсдоз! 2(), .?д(п(.(3 (илипдров 27 пагруи>е-; »03)зянно

1(рli »аоо> е> когда и)!ест: jccTО 1!Сти»а)п(с рабочей поверхности нихкне: о шл}1<1) свальпяка и, сл сдо;aòåëüH0, поплавок соответствующего )ота ..стра пересекает луч света, затемненное фотосопротивление 28 подает сигнал на злектромагHil:н >ill !!ргн3од клан!H!10! ; у:трoi! ства. Зто приводит к открыва:п3по «2 1 àë(! Сооб!испи l г1!др0111!лп1!д!30!3 и перетекани(о жидкости из !!2>!3руженного грузом и;1лпндра во BTD >011 цилип "р: тогда л(м света, подыма,!c: !3вср. . обгон:и попливок того же рота метр а, клаГB(>ны!! за>!01! в. !Оз! 1 lсрекроет !.11!12,! 0(3001!10!1315! гидрог(илиндров и л . Света освст!3>с.—, :((3, го: !аиду(а!!1: Нь!к.:и >сНИЕМ СТ(1НК2, ОК2ЫСТСЯ СМС(13СННЫМ 3 . —:()C 1!3!0КПСЕ Г!ОЛ(;:.(".! 1(, !О-!. (Ь стагок при пересе-с,!»H лу !2 попл .".êî . 1. Выкзно.-!3!Тс(! г30"-,Нс (>023ÈÂ В В>! iC 3: >>. !ÜCf1П .IОДЯСТСЯ OT С: !ССНТС (и! !!2 ССП(!!32 ОI!, К()торый 1!0и своем движснl>и зс1НОСИ 1 част! lH>! ЯоразнВа !3 3 .. :Р 00jl зб>Отк!!.

Предлагаемый станок можст быть приме!c:.. в част;:=:ò!! для обраоот,:.и неболь!и 1.;. то Iuli .<руп!,.:;., .ь!аст! Нп гс: м:;! !(я вь: ок и степе:!ью то.-п;ости, 3 р с;1,;. с т иО, 0 !> .:." T c l; 1; я (.Тапок л:!я пь!. >ФО(32 !!!>>;!,лазо «;! : .00;,:. . 221 О. Оз.:;(, li!. !lрl!мер, Пс(аСтин .. ., ПОЛсГ!РОЗО ",;OP:, HOÌÑ!ÖBC:,f-!. H -.. : РатОРС МсжД-. ДВУМИ

Д!1(КОВЫГ IИ С ВЕ>! > И1 .Л. П>!! 1> . ..,! С;; .: ". 1, i!!1(!3002, l!;>НК. . .:;..IB КО: ОРЫ>

Ь(П(. !C-, ° В >(>> 1ГС-,О ... С! о-о 1, (. Р т, » >(,, ГИ ., т

> IТО C liC!ILi 213 IBТ:IС С(":Ci 01!ЗСДС.!.:.и ОСЛ 130 .. . !С-O, .: .„;.-:;;, О ПIЛИ7

Ф °... -. -. " З-, . -2:: .. ... "... —...: ....!Г".

CDB, Ь11П(К(! 13 И КО,!(!ОС Вс>!3ТПКН, :!)Н(i(:,C,!.3i!.!Ч!:!C >З !. .. Г С,,!.Г!(ГПС-!

Одним!: " .!ре;; .>т-пп ов. ко -:".;О,—:.(ру!Оп!и;- и(!-:,,:.с,-,; зс---,,;.„,-,-(ин. деля ", пространстве.

Фит. 2

Комитет по делам изобретеиий ii открытий ори Совета Министров СССР

::! и: . 2 л. ":,Icптcг а

)1иФ(:1,:о" ои: l

«.)О I c . J. и. (l3!1 род;и;тr>t; . 1. р. с;..ао, сиди тт q .:z и дои. .7, 1-) о;;Ч т, E . оив . 0 иоп.

1, ои с; с (0