Способ получения трихлорсилана и четыреххлористого кремния
Патент 1153493
Авторы
- Аркадьев А.А.
- Воробьев Г.К.
- Данов П.А.
- Еременко А.И.
- Кох А.А.
- Лозовацкий В.М.
- Малороссиянов В.С.
- Назаров Ю.Н.
- Старобина Т.М.
- Ходяков В.А.
- Чапыгин А.М.
- Юшко В.П.
Классы МПК
Способ получения трихлорсилана и четыреххлористого кремния
Реферат
1. Способ получения трихлорсилана и четыреххлористого кремния из кремнийсодержащего сырья, включающий стадии хлорирования, абсорбционной конденсации и очистки сконденсированных продуктов ректификацией, отличающийся тем, что, с целью повышения степени чистоты по борту, в качестве абсорбента используют смесь четыреххлористого кремния и гексахлоридисилоксана или смесь четыреххлористого кремния, трихлорсилана и гексахлордисилоксана.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что, с целью снижения потерь хлорсиланов содержание гексахлоридисилоксана в абсорбенте поддерживают в пределах 1 - 80 мас.%.
3. Способ по пп.1 и 2, отличающийся тем, что содержание трихлорсилана в абсорбенте поддерживают в пределах 0,1 - 10 мас.%.