Способ защиты вакуумного объема от обратного потока паров масла

Способ защиты вакуумного объема от обратного потока паров масла

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

СПОСОБ ЗАЩИТЫ ВАКУУМНОГО ОБЪЕМА ОТ ОБРАТНОГО ПОТОКА ПАРОВ МАСЛА путем прокачки откачиваемого механическим насосом газа через сорбционную ловушку с одновременным охлаждениеъь последней, отличающийся тем, что, с целью повышения: эффективности защиты, в качестве сорбента ловушки используют аммиак, который подают в нее одновременно с прокачкой газа со скоростью, составляющей 0,01-0,02 от скорости откачки газа механическим насосом, а охлаждение ловушки производят до температуры не превышающей температуру конденсации аммиака.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИМ (19) () 1) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3574ббб/25-06 (22) 07. 04 . 83, (46) 07.06.85. Бюл. Ф 21 (7") А.Г. Вакума,, Ю.В. липин

С.Л. Иеерсон и Л.С. Мякишева (71) Специальное конструкторское бюро вакуумных покрытий при Госплане

Латвийской ССР (53) 621.527.8(088.8) (56) 1. Авторское свидетельство СССР

Ф 767391, кл. F 04 В 37/,14, 1978.

2. Авторское свидетельство СССР

В ° 827836, кл. F 04 В 37/02, 1979.

4(Р)) Р 04 В 37/08 F 04 F 9 06 (54)(57) СПОСОБ ЗАЩИТЫ ВАКУУМНОГО

ОБЪЕМА ОТ ОБРАТНОГО ПОТОКА IIAPOB

NACJIA путем прокачки откачиваемого механическим насосом газа через сорбционную ловушку с одновременным охлаядением,последней, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью повышения. эффективности защиты, в качестве сорбента ловушки используют аммиак, который подают в нее одновременно с прокачкой газа со скоростью, состав. ляющей 0,01-0,02 от скорости откачки газа механическим насосом,.а охлаждение ловушки производят до температуры не превышающей температуру конденсации аммиака.

2 г объема от обратного потока паров мас" ла путем прокачки откачиваемого механическим насосом rasa через сорбционную ловушку с одновременным охлаждением последней, в качестве сорбента ловушки используют аммиак, который подают в нее одновременно с прокачкой газа со скоростью, состачляющей 0,01-0,02 от скорости откачки rasa механическим насосом, а охлаждение ловушки производят до температуры, не превьг шающей температуру конденсации аммиака.

На чертеже изображена установка, реапизующая предлагаемый способ.

Установка содержит объем 1, сое-. диненный через затвор 2 и охлаждаемую сорбционную ловушку 3 с высоковакуумным 4 и форвакуумным 5 механическими насосами. Откачиваемый-объем 1 через натекатель 6 соединен с баллоном 7, с аммиаком. Полость ловушки 3 через натекатель 8 соединена также с баллоном 7, Способ защиты вакуумного объема от отработанного потока, парой масла заключается в прокачке откачиваемого . механическим насосом 5 газа через сорбционную ловушку 3 с одновременным охлаждением последней. В качестве сорбента в ловушке 3 используют аммиак, который подают в нее одновременно с прокачкой газа со скоростью, составляющей 0,01-0,02 от скорости откачки . газа механическим насбсом 5, а охлаждение ловушки 3 производят до температуры, не превышающей температуру конденсации аммиака.

Использование предлагаемого способа позволяет отказаться от загружаемого в ловушку сорбента, его нагрева в процессе всего: цикла работы и ус-, транить пары воды в откачиваемом объеме, тем самым упрощается технология получения вакуума и удешевляется весь процесс.

Предлагаемый способ позволяет

I получать безмасляный вакуум на любых вакуумных установках с использованием . только одних серийно выпускаемых диффузионных насосов с охлаждаемой ловуш кой °

4 116010 Изобретение относится к вакуумной технике и предназначено для создания вакуума, свободного от паров масла. . Известен способ защиты вакуумного объема в высоковакуумиой установке, включающий откачку газа высоковакуумным и форвакууыным насосами с. масляным уплотнением через сорбционную ловушку и подачу хладагента из пхлаждаемой ловушки на вход форва- 10 куумиого насоса Г1 3.

Недостатком этого способа является повышенный расход хладагента за счет откачки его форвакуумным насосом и необходимость допалнитель- 1 ных коммуникаций для реализации способа. Кроме этого, указанный способ не исключает полностью попадание .масла в камеру высоковакуумного насоса даже при наличии охлаждаемой 20 ловушки. Подача хладагента на вход форвакуумного насоса снижает скорость откачки.

Наиболее близким к изобретению является способ эащиты вакуумного ZS объема от обратного потока паров масла путем прокачки откачиваемого механическим„насосом газа через сорбционную ловушку с одновременным охлаждением последней. 30

«+ t

В качестве сорбента используют активированный уголь, который после предварительной регенерации нагревают до 130 С и поддерживают при этой . температуре в течение всего времени

35 работы. При этом пары масла активно поглощаются f2 ).

Недостатком этого способа является необходимость загрузки сорбента в ловушку, его нагрев в процессе

®сего цикла работы и периодическая .регенерация, т.е. процесс получения беэмасляного вакуума становится сложным н дорогостоящим. Кроме того, . указанный способ не позволяет устранять пары водЫ из откачиваемого объема.

1 9

Цель изобретения — повыюение эффективности защиты

50 указанная цель достигается тем, что при снособe защиты вакуумного 2

1160102

Составитель О. Тишина

Техред Т.Дубинчак Корректор Я,эрдейц

Редактор О. Головач

Тираж 586 Поднисное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Иосква, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Заказ 3719/31

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4