Устройство для измерения сопротивлений омических контактов интегральных схем

Устройство для измерения сопротивлений омических контактов интегральных схем

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ СОПРОТИВЛЕНИЙ ОМИЧЕСКИХ КОНТАКТОВ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ, содержащее семиплечий резистивный мост, индикатор , одним выводом -соединенный с одной из вершин измерительной диагонали моста, источник питания и регулируемый резистор, отличающееся тем, что, с целью повышения производительности, в него введен трехплатный уравновепшвакиций элемент с тремя наборами дискретных резисторов, причем два из них образуют первое и седьмое плечи семиплечего моста, а третий включен последова .тельно с источником питания (Л и регулируемым резистором в диагональ питания семиплечего моста, а с зажимы для подключения объекта измерения соединены соответственно с общим вьшодом третьего и шестого плеч моста, другим выводом индикатора первым плечом и седьмым плечом. О5 4 О5 оо

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИ4ЕСНИХ

РЕСПУБЛИК

4(51) G 01 R 17/10 и й

ы

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ASTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3393839/18-21 (22) 17.02.82 (46), 30.06.85. Бюл. 11ы 24 (72) В.А. Кочан, P.À. Пеленский, Н.С. Галкина,С.П. Новосядлый, В.Г. Саваневский и И.Ф. Собенко (71) Львовский ордена Ленина политехнический институт им. Ленинского комсомола и Львовское производственное объединение "Микроприбор" им. 60-летия Советской Украины (53) 621.317.733(088.8) (56) 1. Пеленский P.À. Схемы для исследования параметров контакта.

Сб. "Контрольно-измерительная техника", 1981, Р 29.

2. Коган Л.В. О выборе схемы для поверки.и подгонки низкоомных термометров сопротивления. — "Теория и практика для преобразования электроизмерительной информации". Киев

"Наукова думка", 1966, с. 192, рис. 3.

ÄÄSUÄÄ 1164613 А (54) (57) 1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ СОПРОТИВЛЕНИЙ ОМИЧЕСКИХ КОНТАКТ0В ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ, содержащее семиплечий резистивный мост, индикатор, одним выводом соединенный с одной из вершин измерительной диаго-. нали моста, источник питания и регулируемый резистор, о т л и ч а ющ е е с я тем, что, с целью повышения производительности, в него . введен трехплатный уравновешивающий элемент с тремя наборами дискретных резисторов, причем два из них обра - . зуют первое и седьмое плечи семиплечего моста, а третий включен последовательно с источником питания и регулируемым резистором в диагональ питания семиплечего моста, а зажимы для подключения объекта измерения соединены соответственно с общим выводом третьего и шестого .плеч моста, другим выводом индикатора первым плечом и седьмым плечом.

11ьч613

2. Устройство по п. 1, о т л и— индикатора применен цифровой вольтч а ю щ е е с я тем, что в качестве метр.

1

Изобретение относится к измерительной технике и может быть исполь-. зовано на предприятиях электронной промышленности для контроля качества технологических процессов изготовления интегральных схем.

Известно устройство для измерения сопротивлений омических контактов интегральных схем, контакты которых включаются в схему. одинарного, 1о моста по четырехзажимной схеме.Последовательно с соединительными проводами включены сопротивления кристалла неизвестной величины. При измерении сопротивления контакта необ- 15 ходимо тройное уравновешивание моста с добавлением сопротивлений известной величины в.плечи, смежные с плечом, содержащим измеряемое. контактное сопротивление (11. 20

Недостаткам устройства является низкая производительность..

Наиболее близким по технической сущности является семиплечий резистивный уравновешенный мост, состоя- 25 щий. из плеч отношения r и r» плеча сравнения r«, плеча с измеряемым сопротивлением r„ второго плеча сравнения, в котором, кроме декад резисторов с сопротивлением х, спа- щ ренным с помощью двухплатного переключающего элемента с сопротивлением основного плеча сравнения, находится резистор с сопротивлением

r плеча с. сопротивлением величиной г — r>, перемычки, соединяющей узел, в котором соединяются плечи с сопротивлениями r> è г — r> с узлом, в котором соединены измеряемый объект с вторым плечом сравнения, гальванометра, источника питания и регулировочного резистора. Двухплатный переключающий элемент состоит из четырех двухплатных декадных переключателей с двумя наборами резисторов каждый. Уравновешивание семиплечего моста производится с помощью четырех двухплатных декадных

2 переключателей до установления нуля на гальванометре 21.

Недостатком семиплечего уравновешенного моста является низкая производительность вследствие того, что уравновешивание схемы производится с помощью четырех двухплатных декадных переключателей.

Цель изобретения — повышение производительности при измерении с помощью семкплечего моста сопротивлений омических контактов интегральных.схем.

Поставленная цель достигается тем, что в устройство для измерения сопротивлений омических контактов интегральных схем, содержащее семиплечий резистивный мост, индикатор, одним выводом соединенный с одной из вершин моста в измерительной диагонали моста, источник питания и регулируемый резистор, введен трехплатный уравновешивающий элемент с тремя наборами дискретных резисторов, причем два из них образуют первое и седьмое плечи семиплечего моста, а третий — включен последовательно с источником питания и регулируемым резистором в диагональ питания семиплечего моста, а зажимы для подключения объекта измерения соединены соответственно с общим выводом третьего и шестого плеч моста, другим выводом индикаI тора, первым плечом с седьмым плечом.

В качестве индикатора может быть применен цифровой вольтметр, На чертеже изображена схема устройства. Устройство содержит набор дискретных резисторов 1 первого плеча семиплечего моста, трехплатный уравновешивающий элемент 2, набор дискретных резисторов 3 седьмого плеча, набор дискретных резисторов 4 цепи питания моста, зонды 5, резистор 6 второго плеча моста, резистор 7 третьего плеча моста, изме613 4 зывает наборы дискретных резисторов 1, Зи4.

Резисторы 6, 7, 12 и 13 имеют следующие величины сопротивлений: резистор .6 — гз, резистор 7 — r<, резистор 12 — r — - r резистор

1 3 — тp

Принцип работы устройства состоит в том, что с помощью трехплатного уравновешивающего элемента 2 производится частичное уравновешивание схемы путем одновременного изменения величины сопротивлений наборов дискретных резисторов 1, 3 и 4. Уравновешивание производится до тех пор, пока показание цифрового вольтметра становится минимальным. Величина измеряемого сопротивления 8 находится по сумме показаний на шкале трехплатного уравновешивающего элемента 2 и цифрового вольтметра 14.

С помощью набора дискретных резисторов 4 осуществляется нелинейный закон регулирования тока питания семиплечего моста. Величина сопротивления набора дискретных резисторов 4 рассчитывается из условия, чтобы на каж- дом поддиапаэоне показание цифрового вольтметра 14 строго соответствовало неуравновешенной частисопротивления;

В процессе наладки прибора вели чину этого сопротивления можно подобрать для каждого подциапазона . экспериментально. В устройстве со-четается метод частичного уравновешивания схемы с помощью трехплатного уравновешивающего элемента, со шкалы которого считывается две первые цифры результата, с неуравновешенным методом измерения остальной части онтактного сопротивления с помощью цифрового вольтметра.

Таким образом, предлагаемое устройство позволяет повысить производительность, точность результата измерения и применять его в условиях массового производства интегральных схем, что увеличивает процент выхода годных изделий на предприятиях, вь пускающих интегральные схемы. ль В. Семенчук

Йовжий Корректор А. Тяско

1О

3 1164 ряемое сопротивление 8 омического контакта интегральной схемы, полу проводниковый кристалл 9, металлические токовыводы 10, перемычку 11, резистор 12 шестого плеча моста, резистор 13 седьмого плеча моста, цифровой вольтметр 14, источник 15 питания и регулируемый резистор 16.

Первое плечо моста состоит из набора дискретных резисторов 1 и зонда 5, второе и третье плечи— плечи отношения моста состоят из резисторов 6 и 7 соответственно.

Измеряемое сопротивление 8 образует четвертое плечо моста и находится f5 на границе раздела системы полупроводниковый кристалл 9 — металлический токовывод 10. Пятое плечо моста содержит перемычку 11, зонд 5, металлический токовывод 10 и полупровод- 2о никовый кристалл 9. Шестое плечо моста образовано резистором 12.

Седьмое плечо моста состоит из резистора 13, набора дискретных резисторов 3, зонда 5, металлического - 25 токовывода 10 и полупроводникового кристалла 9. На полупроводниковом кристалле 9 нанесены три металпических токовывода 10. С помощью четырех зондов 5 структура полупроводниковый кристалл — металлические токовыводы подключена в схему семиплечего моста по четырехзажимному методу включения. В измерительную диагональ моста между зажимом, образованным вторым и третьим плечами моста, и зондом 5, подсоединенным к среднему токовыводу структуры полупроводниковый кристалл — металлические токовыводы, включен цифро- О вой вольтметр 14.

В диагональ питания моста, соединяющую зажим, образованный первым и вторым плечами моста, с зажимом, Ъ образованным шестым .и седьмым плечами моста, последовательно включены набор дискретных резисторов 4, . источник 15 питания и регулируемый. резистор 16. Трехплатный уравнове, шивающий элемент 2 механически свяСоставите

Редактор Л. Пчелинская Техред С.

Заказ 41 81/4 1 Тираж 748 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва. Ж-35 ° Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4