Фритта для эмалевого покрытия

Фритта для эмалевого покрытия

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ФРИТТА ДОЯ ЭМАЛЕВОГО ПОКРЫТИЯ , содержащая SiOj, AljO,, и ВаО, отличающаяся тем, что, с целью снижения диэлектрической проницаемоста и повышения удельного объемного электрического сопротивления, она дополнительно содержит MgO и , следующем соотношении компонентов , мас.%: SiOr20,7-24,3 ,4-4,6 BjOj 7-11,8 55-65,7 BaO 1,7-5,4 MgO 0,5-1,3

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН

4(3l) С 03 С 8/02

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

AO ДЕЛАМ ИЭОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫ7ИЙ

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМ .Ф СВИДЕТЕЛЬСТВУ

20, 7-24, 3

4,4-4,6

7-11,8

55-65,7

I,7-5,4

0,5-1,3 (21) 3687938/29-33 (22) 09.01.84 (46) 07.07.85. Бюп. Ф 25 (72) Н .М.Бобкова, М.П.Гласова, Г.Г.Скрипко и С.П.Ржевская (71) Белорусский ордена Трудового

Красного Знамени технологический институт им. С.М.Кирова (53) 666.293.52(088.8) (56) 1. Авторское свидетельство СССР

У 1006401, кл. С 03 С 3/04, 1981.

2. Патент США В 3844801, кп. 106-50, 1974.

„„SU„;, 1165649 A (54)(57) ФРИТТА 1ЛЯ ЭМАЛЕВОГО ПОКРЫТИЯ, содержащая SiC, А1 0>, В 03 иВаО, отличающая с я тем, что, с целью снижения диэлектрической проницаемости и повышения удельного объемного электрического сопротивления, она дополнительно содержит МяО и Сг,О„ при следующем соотношении компонентов, мас.7:

SiOq

А12О3

В RO3

ВаО

MgO

Сгх Оз

1165649

1 8 20 7 24 3

4,6 4,4 4,5

5,4 1,7 . 3,7

$ 0

Н1 g.03

MgO

ВаО

ВО

1,0 . 0,5 1,3

Cr 0>

Та блиц а2

Темпер атур а начала размягчения, C

Темпер атурный коэффициент линейного расширения (20300 С) о1 10 град

Удельное объемное электрическое сопротивление при 400 С, Ом.м

715710 685

95,0 110,0 92,0

1 Изобретение относится к технологии силикатов и может быть использовано в микроэлектронике для эмалирования стальных пластин, служащих подложками для нанесения проводящей разводки интегральных схем„

Известен, состав стекла, содержащий, мас,X: В О 41-60; Al Оз 1,0l3,0; СаО 10,0-35,0, MgO 1,5-12,0;

ВаО 1, 5-12,0; MgFg О, 3-4, 5; NagO Щ

1,0-15,0; CaF> 0,5-3,5; AlF3 0,24,0 11 J.

Это стекло предназначается для

1 спаев стекла с титаном и его сплавами . Величина ТКЛР (78,0-И,О )х, 1$

<10 град согласуется с ТКЛР титана, но недостаточна для получения согласованного соединения со сталью, что приводит к возникновению напряжений на границе металл-стекло и к растрескиванию покрытия. К недостаткам стекла может быть отнесено также содержание в нем дефицитных и токсичных материалов— фтористых кальция, магния и алюминия, а также оксида щелочного металла.Наличие в составе стекла маленького и подвижного щелочного иона

N8, приводит к возникновению ионной проводимости и, как следствие, О. к явлению приэлектродной поляризации, сопровождающейся переносом вещества и его разрушением.

Наиболее близким к изобретению является состав стекла (фритты), содержащий, мас.7: SiO> 23-41; Al О

3$

7 10; В Оз 2 5-11; К20 до 10 -BGO

34-59; SbgOg до 0,05 121.

Однако известный состав имеет повышенную диэлектрическую проницаемость и пониженное удельное объемное электрическое сопротивление.

Цель изобретения — снижение диэлектрической проницаемости и повышение удельного объемного электри4$ ческого сопротивления, Цель достигается тем что фритта для эмалевого покрытия, содержащая

S O, Al О, В О и ВаО, дополни тельно содержит MgO u Cr О при сле- $0 дующем соотношении компонентов, мас.Ж:

SiO2 20, 7-24, 3

4,4-4,6

7,0-11,8

$$

Вао 55-65,7

Cr O 0,5-1,3

MgO 1, 7-5,4

Варку стекол фритт осуществляют в газовой пламенной печи при 1400+

+20 С с выдержкой при этой температуре 1 ч. В качестве сырьевых материалов для приготовления шихты используют: кварцевый песок., глинозем, борную кислоту, барий углекислый, оксид магния, оксид хрома.

Сваренную стекломассу выливают на воду для получения граиулята, который затем высушивают и размалывают в шаровой мельнице. Нанесение покрытий на пластины из нержавеющей стали, например марки 20XI3, проводят методом электрофореэа или методом нанесения водной суспензии.

Пластины сушат на воздухе при 90100 "С в течение 15-20 мин, после чего обжигают в электрической печи при 800-850 С в течение 15-20 мин, В процессе охлаждения покрытие кристаллизуется.

В табл. 1 представлены составы предлагаемой фритты для эмалевого покрытия, в табл. 2 — их свойства.

Таблица l

55,4 65, 7 55,0

Il 8 7 0 ll 2

4,4 ° 10 8,0 10 2,4-10

1165649 4

Высокий ТКЛР (92-110.10 град" ) и низкая температура обжига (800850 С)в комплексе с другими физико-химическими свойствами позволяют использовать предлагаемое стекло-. фритту как покрытие по стали, которое может быть применено в качестве подложки при изготовлении интегральных схем.

Продолжение табл.2 лиэлектрическая проницаемость

Е при f=

1,0 МГц

7,6 7,2 7,4

Заказ 4280/21 Тираж 457 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

I13035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4!5

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул . Проектная, 4

Составитель С. Белобокова

Редактор Н.Яцола Техред Ж.Кастелевич Корректор М.Пожо