Устройство для нанесения покрытий на изделия преимущественно из кварца

Устройство для нанесения покрытий на изделия преимущественно из кварца

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ НА ИЗДЕЛИЯ ПРЕИМУЩЕСТВЕННО ИЗ КВАРЦА, содержащее камеру с проемом для загрузки изделия, установленный с возможностью перемещения нагреватель, узел нанесения покровного слоя, приспособление для перемещения изделий и систему удаления газообразных продуктов, отличающееся тем, что,- с целью повьппения чистоты покрытия, оно снабжено съемным контейнером с манипулятором , расположенным вне камеры , система удаления газообразных с продуктов выполнена в виде трубок, служащих направляклцими приспособлеСО ния для перемещения изделия, вьшолненного в виде лодочки, а нагреватель установлен снаружи камеры с возможностью горизонтального перемещения вдоль ее оси.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН (39) (11) . (>)4 С 03 С 17 245

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Фиг 1

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЬП ИЙ

Н ABTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3597835/29-33 (22) 23.05.83 (46) 07.08.85, Бюл. й- 29 (72) П.Л. Бари, А.А. Вовк, Л.А. Гончаров, В.П. Макаревич, Э.С. Миленин, M.À. Полянов, С.Б. Прохоров, А.Г. Чемеринский, В.Г. Андониев, В.А. Гавва, Г.Г. Девятых и Е.M. Я1еплягин (71) Государственный ордена Октябрьской. Революции научно-исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности (53) 666.1.056(088.8) (56) Hailer Е.Е., Hansen W.L., Hubbard G.S. and Gouldning F.S.

IEEE ТгапзасСi опз on Nuclear Science. Vol. Ns 23, Nol Feb, 1976, р. 81-87.

Авторское свидетельство СССР

N- 701971, кл. С 03 С 17/00, 1976. (54)(57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ

ПОКРЪ|ТИЙ НА ИЗДЕЛИЯ ПРЕИМУЩЕСТВЕННО

ИЗ КВАРЦА, содержащее камеру с проемом для загрузки изделия, установленный с возможностью перемещения нагреватель, узел нанесения покровного слоя, приспособление для перемещения изделий и систему удаления газообразных продуктов, о т л и— ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения чистоты покрытия, оно снабжено съемным контейнером с манипулятором, расположенным вне камеры, система удаления газообразных продуктов выполнена в виде трубок, служащих направляющими приспособления для перемещения изделия, выполненного в виде лодочки, а нагреватель установлен снаружи камеры с возможностью горизонтального перемещения вдоль ее оси.

1 11714

Изобретение относится к области получения материалов особой чистоты, в частности, германия.

Целью изобретения является повышение чистоты покрытий, 5

На фиг. 1 приведена схема устройства для нанесения покрытий на изделия иэ кварца с контейнером; на фиг. 2 — то же, беэ контейнера; на фиг 3 — сечение А-А на фиг. 1. 10

Устройство содержит камеру 1 с

»»роемом для загрузки изделий, систему удаления газообразных продуктов, состоящую из трубок 2, служащих одновременно направляющими для 15 перемещения изделий, имеющих отверстия 3 для вывода газов, штуцеров 4 для подачи продувочного газа и 5 для вывода газов из камеры 1, узел нанесения покровного слоя, содержа- 20 щий горелку 6 со штуцерами 7 для ввода реагентов, съемный контейнер

8 с манипулятором 9 и штуцером 10 для ввода продувочного газа, расположенными вне камеры 1, механизм 11 перемещения изделия 12, выполненного в.,виде лодочки, нагреватель 13 с механизмом 14 перемещения, выполненнь»»». с возможностью горизонтального перемещения вдоль оси камеры 1 и

30 установленнь»й вне камеры, выдвижные п,»»атформы 15 с бачками 16 для реагентов, подаваемых в горелку 6, и бач ка»»и 17 для поглощения отводимых газов, шток с крышкой 18.

Устройство работает следующим об- З5 разом.

Лодочка 12, подлежащая покрытию, доставляется в герметичном контейнере 8, с него снимаетсй крьппка (не 40 показана) и он стыкуется с камерой 1.

Через штуцеры 4 и 10 в систему пода-, ется инертный газ для продувки камеры 1 и контейнера 8, который выводится через отверстия 3 по трубкам нап- 5 равляющих 2 и далее через штуцер 5— в поглотительный бачок 17. С помощью манипулятора 9 лодочку 12 вталкивают в камеру 1, после чего контейнер

8 снимают вместе с манипулятором 9, на открытый конец камеры 1 устанавливают крьппку со штоком 18, шток соединяют с лодочкой 12 и повторяют про,дувку камеры 1 инертным газом. После отвода пустого контейнера фон загряз- нения в нем (и в камере) не повышается, поскольку непрерывная подача инертного газа, вплоть до закрытия сосуда, препятствует попаданию в него окружающего воздуха.

В том случае, когда лодочку 12 надо покрыть пироуглеродом (ПУ), ее проталкивают штоком при помощи механизма 11 в рабочую зону нагревателя 13, нагреватель включают и через горелку 6 подают углеродсодержащий газ.

После выдержки по заданному режиму нагреватель 13, не выключая его, отводят от камеры 1 с помощью механизма 14. Лодочку перемещают в холодный конец камеры 1, снимают крышку со штоком, устанавливают контейнер 8, проводят продувку его инертным газом, лодочку 12 переводят манипулятором 9 в контейнер 8. Последний отсоединяют, торцевой крышкой (не показана) и направляют на склад. Доставляют очередной контейнер с новой лодочкой, подлежащей покрытию, и операции повторяют. Поскольку нагреватель

13 не выключался, то его надвигают на камеру 1 в горячем состоянии, что позволяет экономить время на разогрев.

В том случае, когда лодочку надо покрыть аморфной двуокисью кремния (Б»-0 ), в горелку 6 подают реагенты из бачка 16 и газового блока, горелку 6 поджигают на воздухе и устанавливают на камеру 1, Камеру продувают инертным газом. Под факелом горелки 6 в заданном режиме перемещают лодочку 12, на которой оседает слой двуокиси кремния. Для отжига покрштия лодочку помещают в рабочую зону нагревателя 13, где происходит остекловывание слоя двуокиси кремния.

Выгрузку лодочки производят так же, как и после покрытия ПУ.

Повьппение качества и чистоты покрытия достигается тем, что механизированное перемещение лодочки осуществляется плавно с постоянной скоростью, лодочка, подготовленная к покрытию, а затем покрытие лодочки хранятся в герметичных контейнерах, процесс покрытия осуществляют в герметичном, объеме, выгрузку лодочек »»роизводят беэ контактирования их с окружающим воздухом.

Высокая производительность дости-. гается механизацией манипуляции и

4 иг 1

A-А

Составитель А. Борисов

Редактор Н. Егорова Техред Т.Дубинчак Корректор В. Бутяга

Заказ 481K/23 Тираж 457 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4

3 1 поддержанием печи в горячем состоянии, а также повышением выхода год-. ного продукта.

Удобства и безопасность эксплуатации достигаются тем, что все опе171441 4 рации производятся в закрытом объеме и механизированы.

Зонная плавка германия в лодочках, покрытых пленкой из ПУ и SiO

2 позволяет повысить чистоту примесного фона с 5 ° 1.0 до 2 10 см .