Устройство для изготовления образцов с косым шлифом травлением

Устройство для изготовления образцов с косым шлифом травлением

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ОБРАЗЦОВ С КОСЫМ ШЛИФОМ ТРАВЛЕНИЕМ, содержащее ванну с травителем, разделенную перегородкой на две сообщающиеся части, в первой из которых находится держатель с образцами, дополнительную емкость, расположенную над ванной, и соединительную трубку, от л ич ающ ее с я тем, что, с целью улучшения профиля косого шлифа и увеличения безопасности работы, вторая часть ванны снабжена промежуточной емкостью с нейтральной жвдкостью , плавающей в травителе, причем центр тяжести промежуточной емкости находится ниже уровня травителя, дополнительная емкость снабжена трубопроводом непрерывной подачи нейтральной жидкости и сливом, а соединительi ная трубка снабжена зажимом, регулирующим краном и жгутом капилляров, СЛ концы которых погружены в нейтральную жидкость промежуточной емкости. С

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (I9) SU(II) 15 1 G 01 N 1/32

ГОСУД СТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО.ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

ОЛИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3688151/25-26 (22) 09.01. 84 (46) 07.08.85. Бюл. № 29 (72) Н.А. Брюхно, Ш.М. Гасанли, И.Н.Комаров и А.К.Стрельцов (53) 543.053 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 715962в кл. С 01 N 1/32э 1977 °

Сидоров А.Н. и др. Электронная техника. Сер, Материалы, 1981, вып. 11 (160), с. 40.

Авторское свидетельство СССР № 994959, кл. G 01 0 1/32, 1981. (54)(57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ, ОБРАЗЦОВ С КОСЫМ ШЛИФОМ ТРАВЛЕНИЕМ, .содержащее ванну с травителем, разделенную перегородкой на две сообщающиеся части, в первой из которых находится держатель с образцами, дополнительную емкость, расположенную над ванной, и соединительную трубку, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью улучшения профиля косого шлифа и увеличения безопасности работы, вторая часть ванны снабжена промежуточной емкостью с нейтральной жидкостью, плавающей в травителе, причем центр тяжести промежуточной емкости . находится ниже уровня травителя, дополнительная емкость снабжена трубопроводом непрерывной подачи нейтральной жидкости и сливом, а соединительная трубка снабжена зажимом, регулирующим краном и жгутом капилляров, концы которых погружены в нейтральную жидкость промежуточной емкости.

1 1171

Изобретение относится к технике подготовки образцов, к исследованию свойств .полупроводниковых материалов .и может быть использовано для контроля качества материалов в производстве полупроводниковых приборов и для научных исследований.

Цель изобретения — улучшение линейности профиля косого шлифа и увеличение безопасности работы. 1О

На чертеже изображено устройство, общий вид.

Устройство содержит ванну 1, дополнительную емкость 2, держатель

3 образцов 4, травитель 5, перегород-15 ку 6, разделяющую ванну на части 7 и 8, нейтральную жидкость 9, находящуюся в дополнительной емкости, трубопровод 10 непрерывного подвода нейтральной жидкости в емкость 2, 2р постоянный слив 11 из этой емкости, промежуточную емкость 12, расположенную в части 8 ванны 1, трубку 13, которая соединяет емкости 2 и 12 и имеет зажим 14, регулирующий кран 25

15 и жгут капилляров 16, соприкасающихся с поверхностью нейтральной жидкости в промежуточной емкости 12 и выполненный в виде пучка нитей, прикрепленных к нижнему концу трубки.ЗО

Улучшение лынейности профиля косого шлифа достигается за счет постоянной скорости подъема уровня травителя, что обеспечивается равномерностью погружения в травитель промежуточ35 ной емкости с помощью подачи нейтральной жидкости из дополнительной емкости 2 по трубке 13. При этом трубопровод непрерывного подвода 10 и, постоянный слив 11 поддерживают уро- „ вень нейтральной жидкости в дополнительной емкости постоянным, регулирующий кран 15 обеспечивает требуемую скорость подачи нейтральной жидкости в промежуточную емкость, а наличие жгута капилляров предохраняет поверхность от падения капель и сохраняет независимость скорости вытекания нейтральной жидкости из верхней емкости от уровня ее в промежуточной емкости. Расположение центра тяжести промежуточной емкости ниже уровня травителя, а также наличие жгута капилляров исключают появление вол692 г нистой поверхности шлифа за счет падения капель нейтральной жидкости и качания промежуточной емкости.

Безопасность работы увеличивается благодаря тому, что травитель находится только в одной емкости, а также благодаря тому, что соприкасающиеся с травителем части установки: промежуточная емкость и держатель с образцами, расположены компактно в ванне, что позволяет манипулировать ванной при нейтрализации травителя без разборки установки.

Устройство работает следующим образом.

Образцы 4 устанавливают с помощью держателя 3 в вертикальном положении в ванне 1. Поверхность образцов,. не подвергающуюся травлению, покрывают химически стойким лаком, Ванну 1 заполняют травителем 5 (например, HN0> . HF = 20:1), который не касается образ.цов. В дополнительную емкость 2 непрерывно подают нейтральную жидкость 9 со сливом 11 и поддерживают ее уровень Н постояннык.

Как только уровень жидкости в дополнительной емкости 2 установится, т.е. гидравлический напбр будет определяться величиной Н, открывают зажим 14 на соединительной трубке 13 и, при заранее установленной краном

15 скорости, подают жидкость 9 в промежуточную емкость 12. Уровень жидкости в промежуточной емкости 12 не влияет на гидравлический напор, так как трубка 13 соприкасается с жидкостью в течение всего времени травления через гибкий жгут капилляров 16 (например, пучок ниток), поэтому промежуточная емкость 12 равномерно заполняется жидкостью, вызывая равномерный подъем уровня травителя в ванне. Для устранения качаний промежуточной емкости 12 центр тяжести ее находится ниже уровня травителя в .ванне 1.

Различные участки образцов будут находиться в травителе 5 различное время, в результате образуется угол скоса шлифа, зависящий как от скорости подачи жидкости в промежуточную емкость 12, так и от скорости травления.

1171692

Составитель И.Ландсберг

Техред С.йовжий Корректор А.Тяско

Редактор Л.Зайцева

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4

Заказ 4854/36 Тираж 897 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5