Аппарат для вакуумных покрытий

Аппарат для вакуумных покрытий

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ЪО 117269

Класс 48b, 31И

СССР

j I I „

, л!6: ! ! ь т1 !1 . д".,т-г, Б. Д. Поволоцкий, В. Д. Богушевич и Б. К. Ежов

АППАРАТ ДЛЯ ВАКУУМИЫХ ПОКРЫТИЙ

Завале,.о 6 марта !938 г. аа М 593850/22 в Комитет по делам каопретепшй

H оекра!т!!!! ври Совете М! настроа СССР

В производстве вакуумных покрытий известны вакуумные аппараты периодического действия, для перезарядки которых рабочая камера сообщается с ятмосферОР!, и Вакуумныс аппараты непрерыВного дейстВия, В которых установка изделий над испарителями в рабочих камерах и выдача их в атмосферу o"óùåñòBëÿåòñë через шлюзовые вакуумные камеры. Первые малопроизводительны и неэкономичны, так как в них осуществляется разовый технологический цикл обработки, а в аппаратах непрерывного действия затруднительно получение равномерных покрытий вследствие неподвижности изделия при напаривании.

Описываемая конструкция аппарата для вакуумных покрытий не имеет указанных нсдостатков, обладаст высокой производительностью, дает возможность значительно снизить ря."ход испаряемых материалов, обеспечивает высокое качество покрытий, расширяет технологичсские возможности и использование процессов вакуумных покрытий в различных областях техники.

Предлагаемый аппарат выполнен в виде автоматической линии вакуумных покрытий, в которой технологический процесс осуществляется при непрерывном транспортировании Обрабатываемых изделий.

В вакуумных рабочих камерах установлены испарители, над которыми непрерывно, вплотную друг за другом, проходят обрабатываемые листы или отдельные заготовки в кассетах, являющиеся конденсаторами.

Для нанесения однослойных или многослойных покрытий одним или несколькими материалами испярители pa "IIoëaÃaþòñÿ рядами перпендпIcy2sIpIIo Iz движению конденсаторов. Ряв!!Омерность покрытий rro 2o. IH!Hне обеспечивается стабильностью температуры испарения и скорости движения листов над испарителями.

В процессе обработки рабо.ие вакуумные .<амеры полностью изолированы от атмосферы и в них постоянно поддерживается требуемое разрежение.

Для входа Обрабатываемых листов в рабочие вакуум!!ые камеры и

Выхо;!я из них Оез няоушения Вакуума яппя!2ят I.".IÐT систему шлюзо_#_, 117269 вых вакуумных камер, количество которых (число ступеней шлюзования) при заданном времени цикла определяется требуемой степенью разрежения. Непрерывность движения листов над испарителями обеспечивается тем, что скорость „„движения листов в системе шлюзовых камер превышает скорость Г, их движения в рабочих камерах. Переход с большей скорости V„, на меньшую V, и обратно осуществляется в специальных промежуточных вакуумных камерах, расположенных между шлюзовыми и рабочими камерами.

На чертеже изображена схема аппарата для вакуумных покрытий, в частно ти для нанесения висмута, селена, кадмия раздельно или последовательно на алюминиевые листы размером 1010 х 505 мл или на отдельные заготовки в кассетах с темпом 90 сек при постоянном давлении в рабочих камерах 10 4 — 10 "ли рт. ст.

Аппарат представляет собой систему последовательно расположенных агрегатов I — 1Х, объединенных общей схемой управления. Вакуумная "..истема аппарата включает ряд вакуумных камер, шлюзовых промежуточных и рабочих, герметично соединенных между собой посредством сухарей. Ш.нозовые и промежуточные вакуумные камеры имеют индивидуальные откачные посты, состоящие из форвакуумных насосов 1 с электромагнитными кранами 2 и диффузионных насосов 8 с затворами.

В рабочих камерах, где установлены испарители 4, необходимое разре>кение,"сздается через промежуточные вакуумные камеры, Шлюзовые вакуумные камеры изолируются от атмосферы и от промежуточных ваKУУмных KBllcP, а ТВК2Кс P33gleIFIIoTcsi KI82K1I2 coooH BBKVQMIIhIMFI 33c IOFIками 5, имеющими индивидуальные приводы Шлюзовые камеры 11 и VOI агрегатов имеют элект12омагнитные клапаны б для впуска воздуха.

Вся электрическая аппаратура управления механизмами аппарата, защита и сигнализация расположены в пульте управления (на чертеже не показан), установленном со стороны загрузочного агрегата 1.

Аппаратура питания нагревателей и регулировки температуры испарения размещена в пульте питания (па чертеже не показан), установленном со стороны приемного агрегата IХ. При нанесении нескольких покрытий по "ледовательно на каждый вид покрытия устанавливается отдельны. : пульт питания.

Транспортирование обрабатываемых листов осуществляется системой всдущих роликов 7 — 28, разбитых на пять групп с независимыми друг от друга приводами 29 — 83. Ведущие ролики 1á — 1.9 рабочего агрегата V, а также ведущие ролики свободного хода 1б и 20 промежуточных агрегато- 11 и Vl объединены главным приводом Л, посредством которого осуществляется непрерывное перемещение листов "o скоростью Гр, .

Остальные ведущие ролики служат для перемещения листов с большей скоростью V„„, Переход от скорости 1 „„к скорости Гр, в IV агрегате и обратно в VI агрегате осуществляет"я посредством ведущих роликов свободного хода 1б и 20: при выходе из агрегата III и при входе в агрегат VO лист движется со скоростью V„„, легко вращая ведущие ролики свободного хода 1б и 20.

Дви2кение листа из агрегата 111 в агрегат 1Г со скоростью Р„„происходит до соприкосновения его с предыдущим листом у входа в рабочую вакуумную камеру. На случай, если соприкосновение листов произойдет раньше, чсм последующий лист сойдет с ведущих роликов 14, последние имеют фрикционы.

Злектросхема управления работой аппарата выполнена таким образом, что время цикла определяется CKopocтью Г, движения листов в рабочих вакуумных камерах.

¹ 117259

Последовательность работы механизмов аппарата обеспечивается системой путевых контактов 84 и конечных выключателей механизмов вакуумных заслонок б.

На загрузочном агрегате 1 и приемном агрегате IX установлены соответственно бункерные устройства 85 и 86, посредством которых о"уществляется выдача листов на подающий механизм 87 для подачи в шлюзовую камеру и прием обработанных листов.

Предмет изобретения

1. Аппарат для вакуумных покрытий на основе принципа шлюзования и последовательного расположения вакуумных камер, о т л и ч а юшийся тем, что для осуществления одноГ IQHIIbIx или мчогослойных покрытий одним или несколькими материалами и с целью интенсификации процесса, он выполнен в виде автоматической линии, в которой для ооеспечения равномерности покрытий нанесение материалов производится в процессе непрерывного-транспортирования листов (или заготовок в кассетах) над испарителями, что обеспечивается разной скоростью движения листов в рабочих камерах и в системе шлюзовых камер и наличием промежуточных вакуумных камер.

2. Аппарат для вакуумных покрытий по п. 1, отл и ч аюшийся тем, что, с целью достижения максимально возможной производительности, нижения расхода материала покрытия и уменьшения засорения рабочих камер, непрерывное движение листов осуществляется друг за другом, для чего в левой промежуточной камере установлены фрикционные ведущие ролики, обеспечивающие соприкосновение каждого последующего листа с предыдущим на входе в рабочие вакуумные камеры.

3. Аппарат для вакуумных покрытий по пп, 1 и 2, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что переход с большей скорости на меньшую и обратно о, уществляется посредством ведущих роликов свободного хода, устанавливаемых в промежуточных вакуумных камерах.

4. Аппарат для вакуумных покрытий по пп. 1 — 3, отл ич а ю щ и йс я тем, что равномерность покрытий по толщине и их однородность обеспечивается постоянством скорости движения листов над испарителями, а также точным регулированием температуры испарителей путем установки в цепи нагревателей каждого тигля дросселей насыщения, токи подмагничивания которых управляются терморегуляторами.

5. Аппарат для вакуумных покрытий по пп. 1 — 4, отличающийся тем, что, с целью расширения технологических возможностей правле> ние раоотой аппарата осуще,"твляется посредством путевых контактов от движущихся листов, что позволяет при неизменной схеме управления устанавливать любое количество раоочих вакуумных камер. б. Аппарат для вакуумных покрытий по пп. 1 — 5, о тл ич аю щи йся тем, что, с целью повышения работоспособности вакуумных насосов и уменьшения засорения рабочих камер испаряемыми материалами, откачка из рабочих камер производится через промежуточные вакуумные камеры.

7. Аппарат для вакуумных покрытий по пп. 1 — б, о тл и ч а ю щи йся тем, что для облегчения его эксплуатации и повышения производительности труда на загрузочном и приемном агрегатах установлены бункерные устройства, обеспечивающие накопление подлежащих обработке м обработанных листов,, Р „;

Ъ 1

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Редактор Л. М. Струве Гр. 209

Подп. к печ. 14.III 59 г.

Тираж 790 Цена 50 коп.

У1н фор ii аци он но-издательский

Объем 0,34 и. л. Зак. 1489

Типографии Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Петровка, 14.