Способ а.ф.никулина определения глубины нарушенного слоя обработанной поверхности объекта

Способ а.ф.никулина определения глубины нарушенного слоя обработанной поверхности объекта

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Способ определения глубины нарушенного слоя обработанной поверхности объекта, заключающийся в том, что делают секущий шлиф объекта , проводят травление поверхности шлифа, находят царушен {юго слоя и по ее полоя еник определяют глубину нарушенного слоя,о тличающийся тем, что, с целью повышения точности, перед получением шлифа записывает профило .Грамму noBepXHocTHj перед травлением записывают профилограмму поверхности шлифа в направлении,которое является проекцией первой профи лограммы на поверхность шлифа в той же системе координат, травление осуществляют изотропным травителем , после травления записывают , профилограмму поверхности протравленного шлифа в том же направлении и в той же системе координат, что и предьщущие профилограммы, и на (Л ходят на третьей-профилограмме С границу нарушенного слоя по точке , за которой вторая и третья профилограммы эквидистантны.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (19) (111 рц4 G 01 В 5/00 всящм- g

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПЮ ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

Н ABTOPGHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21 ) 3696760/25-28 (22) 28.10.83 (46) 23.08.85. Бюл. У 31 (72) А.Ф,Никулин (53) 531.717(088.8) (56) Татаренков А.И. и др. Методы контроля нарушенных слоев при механической обработке монокристаллов. М.; Энергия, 1978, (54) СПОСОБ А.Ф.НИКУЛИНА ОПРЕДЕЛЕНИЯ

ГЛУБИНЫ НАРУШЕННОГО СЛОЯ ОБРАБОТАННОЙ

ПОВЕРХНОСТИ ОБЪЕКТА. (57)Способ определения глубины нарушенного слоя обработанной поверхности объекта, заключающийся в том, что делают секущий шлиф объекта, проводят травление поверхности шлифа, находят гранду нарушен,ного слоя .и по ее положению определяют глубину нарушенного слоя%-о тл и ч а ю шийся тем, что, с целью повышения точности, перед получением шлифа записывают проф1 лоэ ."рамму поверхности, перед травлением записывают профилограмму поверхности шлифа в направлении, которое является проекцией первой профи- лограммы на поверхность шлифа в той же системе координат, травление осуществляют изотропным травителем, после травления записывают профилограмму поверхности протравленного шлифа в том же направлении и в той же системе координат, что и предыдущие профилограммы, и находят на третьей профилограмме границу нарушенного слоя по точза которой вторая и третья профилограммы эквидистантны.

1174726

Изобретение относится к техническим измерениям, а именно для определения глубины нарушенного слоя, возникающего на обработанной поверхности объекта и состоящего из переходящих, по мере удаления от поверхности, одна в другую зон: рельефной, трещиноватой, пластических деформаций, упругих деформаций с повьш енной плот- . 1О ностью дислокаций.

Известен способ определения глуби ны нарушенного слоя обработанной поверхности объекта, который заключается в том, что делают l5 секущий шлиф объекта, проводят травление поверхности шлифа, находят границу нарушенного слоя и по ее положению определяют глубину нарушенного слоя, 20

В известном способе травление поверхности шлифа осуществляют елективно декодирующим травителем до выявления структуры шлифа, а опрс:вселение границ между нарушенной и неповрежденной структурой производят визуально на протравленном шлифе. Глубину нарушенного слоя опре— делявт с учетом угла наклона косого шлифа к обработанной поверхности (1) .З

Недостатком известного способа является низкая точность определения глубины нарушенного слоя вследствие визуального определения расположения на шлифе линии перехода от нарушенной в неповрежденной структуре.

Целью изобретения является повы— шение точности, Поставленная цель достигается тем,40 что согласно способу определения глубины нарушенного слоя обработанной поверхности объекта, заключающемуся в том, что делают секущий шлиф объекта, проводят трав- . 45 ление поверхности шлифа, находят границу нарушенного слоя и по ее положению определяют глубину нару— шенного слоя, перед получением шлифа записывают профилограмму 50 поверхности, перед травлением записывают профилограмму поверхнос— ти шлифа в направлении, которое является проекцией первой профилограммы на поверхности шлифа в той же 55 системе координат, травление осу— ществляют изотропным травителем, после травления записывают профилограмму поверхности протравленного шлифа в том же направлении и в той же системе координат, что и в предыдущие профилограммы, и находят на третьей профилограмме границу нарушенного слоя по точке, за которой вторая и третья профилограммы эквидистантны.

На фиг.1 дано изображение в изометрии части объекта, у которого определяется глубина нарушенного слоя обработанной поверхности с указанием поверхностей косого шлифа и поверхности шлифа после травления; на фиг.2 — сечение А-А на фиг,1, Способ осуществляется следующим образом.

На обработанной поверхности 1 объекта, у которого определяют глубину нарушенного слоя, снимают профилограмму 2. Далее на объекте делают косой шлиф, поверхность 3 которого расположена под известным углом к обработанной поверхности

l.ØëHô получают методом щадящего полирования. Записывают профилограмму. 4 поверхности 3 шлифа в направлении, которое является проекцией профилограммы 2 на поверхность

3 шлифа в той же системе координат.

При записи профилограммы 4 часть записи проводят по поверхности 1 так, чтобы она совпадала с записью профилограммы 2.

Проводят травление поверхности

3 шлифа изотропным травителем в течение интервала времени, не мень— шего, чем необходимо для стравлива— ния споя, доступного для измерения.

Свойство изотропного травления— равная скорость травления по всем направлениям (независимо от анизотропных свойств материала) изменяется лишь при стабилизированных условиях травления в зависимости от степени нарушения структуры стравливаемого материала. Скорость травления материала прямо пропор— циональна степени нарушения его структуры. После травления получают поверхность 5, на которой записывают профилограмму 6 в том же направлении и в той же системе координат, что и предыдущие профи— лограммы 2 и 4.. Участок поверхности 1, на котором происходит запись профилограмм 2,4 и 6, предохраняют от травления путем нанесения покрытия, которое удаляется перед снятием профилограммы 6.

Далее все три полученные проI филограммы 2,4 и 6 совмещают, используя при этом участок поверхности 1, идентичный во всех трех профилограммах 2,4 и 6, и по профилограмме 6 определяют точку а, которая лежит на границе 7 между нарушенным слоем и неповрежденной структурой. Точкой а является то

74726

4 место на профилограмме 6, после которого профилограммы 4 и 6 идут по эквидистантным кривым. Измеряют кратчайшее расстояние от точки а до поверхности 1,которая обозначена профилограммой 2,и по этому расстоянию с учетом масштаба записи профилограммы определяют глубину нарушенного слоя.

10 Предлагаемый способ позволяет повысить точность определения глубины нарушенного слоя обработанной поверхности объекта.

9 иг.

A-A