Способ изготовления просветляющего покрытия на оптических изделиях

Реферат

 

Способ изготовления просветляющего покрытия на оптических изделиях, включающий нагрев изделий в вакууме, очистку тлеющим разрядом, последовательное нанесение слоев окиси алюминия и пятиокиси тантала электронно-лучевым испарением, фтористого магния термическим испарением, отличающийся тем, что, с целью повышения выхода годных, после нанесения слоя пятиокиси тантала изделие дополнительно обрабатывают тлеющим разрядом в течение 3-5 мин при давлении 1-2 Па и выдерживают в течение 2-5 мин при давлении не более 10-3Па.