Способ индикации напыленных металлических пленок

Способ индикации напыленных металлических пленок

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

,1. СПОСОБ ИНДИКАЦИИ НАПЬЬ , ЛЕННЫХ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНОК, заключающийся в том, что контролируемую поверхность и измерительный электрод помещают в вакуум, .к контролируемой поверхности подключают отрицательный полюс источника напряжения , а к измерительному электроду - положительный и снимают зависимость автоэлектронного тока от напряженности электрического поля , отличающийся тем, что, с целью повышения разрешающей способности, контролируемую поверхность предварительно насьщают неинертным газом, измеряют автоэлектронные токи при фиксированном промежутке между контролируемой поверхностью и измерительным электродом, а о наличии напыленной металлической пленки судят по появлению аномального участка зависимости авто .9 электронного тока от напряженности (Л электрического поля. 2. Способ по П.1, о т л и ч а.ющ и и с я тем, что контролируемую поверхность насыщают газом при взаимодействии с атмосферой. О) СП

СОЮЗ СО8ЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТ ИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ABTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТ8ЕННЬЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЬП ИЙ (21) 3618535/24-28 (22) 08.07.83 (46) 07.09.85. Бюл. № 33 (72) Г,Н,Казначеева, А,В.Мурадян и Н.В.Татаринова (71) Московский ордена Трудового Красного Знамени инженерно-физический институт (53) 621.317.39:531.717(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

¹ 107101, кл. G 01 В 7/06,: 1956.

Авторское свидетельство СССР, ¹ 808834, кл. G 01 В 7/34, 1979. (54) (57) .1. СПОСОБ ИНДИКАЦИИ НАПЬ ЛЕННЫХ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНОК, заключающийся в том, что контролируемую поверхность и измерительный электрод помещают в вакуум, к контролируемой поверхности подключают отрицательный полюс источника на„„SU,, 1177657 А (5 )4 G 01 В 7/06//G 01 В 7/34 пряжения, а к измерительному электроду — положительный и снимают зависимость автоэлектронного тока от напряженности электрического поля, отличающийся тем, что, .с целью повышения разрешающей способности, контролируемую поверхность предварительно насыщают неинертным газом, измеряют автоэлектронные токи при фиксированном промежутке между контролируемой поверхностью и измерительным электродом, а о наличии напыленной металлической пленки судят по появлению аномального участка зависимости автоэлектронного тока от напряженности электрического поля.

2. Способ по п.1, о т л и ч а юшийся тем, что контролируемую поверхность насыщают газом при взаимодействии с атмосферой.

1177657

15

25

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в областях, где возможно появление напыленных металлических пленок в результате воздействия ионной бомбардировки, пробоев вакуума и работы накаленных катодов.

Цель изобретения — повышение разрешающей способности обнаружения напыленной пленки, .что позволяет улучшить характеристики электровакуумных приборов и установок, На фиг. 1 приведена схема устройства, с помощью которого реализуется предлагаемый способ; на фиг,2 — хахарак еристики автоэлектронных токов (Фаулера-Нордгейма) с аномальными участками после выдержки напыленной пленки в остаточном вакууме; на фиг.3 — то же, для случая, когда насыщение пленки осуществляется за счет контакта напыленной пленки с атмосферой воздуха.

К исследуемой поверхности 1, на которой индуцируется металлическая напыпенная пленка, подводится измерительный электрод 2 на расстоянии .

h в несколько миллиметров. Исследуемую поверхность подключают к отрицательному полюсу источника 3 питания, а измерительный электрод к положительному полюсу через токовый прибор 4. Если напыленная пленка не насыщена газом, то создают условия поглощения пленкой неинертного газа. Эта процедура зависит от условий работающей установки, где индицируется пленка и может включать выдержку в остаточном вакууме или впуск атмосферы. Между поверхностью

1 и электродом 2 создается высокий вакуум, измеряют автоэлектронные токи с исследуемой поверхности и строят. характеристики Фаулера-Нордгейма. На фиг.2 и 3 видна ярко выраженная аномалия, которая возникает лишь при наличии металлической напыленной пленки, Измерения проводятся при фиксированной длине вакуумного промежутка h измерение с другими h влияет на диапазон автоэлектронных токов, где наблюдается ано малия.

1177657

Составитель А.Куликов

Редактор Е.Папп Техред С.йовжий Корректор О.Тигор "

Заказ 5540/40 Тираж 651- Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Х

alt Е2

ФигЗ