Диффузионный насос

Диффузионный насос

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ДИФФУЗИОННЫЙ НАСОС по авт. св. № 981707, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности работы, каналы днища при помощи трубопровода с отсечным клапаном подключены к форвакуумному патрубку насоса.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК (19) (11) А (51)4 F 04 F 9 00

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

IlO ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ

ОПИСАНИЕ ИЗОВРЕТЕНИЯ > /

Н ABTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ (- .

«Д1 Д

Ф

ВВ

° °

М (61) 981707 (21) 3712267/25-06 (22) 20.03.84 (46) 15.09.85. Бюп. № 34 (72) С.Г.Аппель, И.В.Вишнякова и Л.Н.Трофимов (53) 621.528.3(088.8) (Se) Авторское свидетельство СССР № 981707, кл. F 04 F 9/00, 1981. (54)(57) ДИФФУЗИОННЫЙ НАСОС по авт. св. № 981707, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности работы, каналы днища при помощи трубопровода с отсечным клапаном подключены к форвакуумному патрубку . насоса.

Составитель В.Кряковкин

Редактор В.Ковтун Техред А.Ач Корректор Л.Пилипенко

Заказ 5632/32 Тираж 586 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб,, д. 4/5 филиал ППП "Патент", r.Óæãîðîä, ул.Проектная, 4

1 1178

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к устройству диффузионных вакуумных насосов и является дополнительным к авт. св.

Ф 98И07. 5

Цель изобретения — повышение надежности работы насоса.

На чертеже представлен насос, продольный разрез.

Диффузионный насос содержит корпус 1 с форвакуумным патрубком 2, расположенный в корпусе по оси паропровод 3 и нагреватель 4, размещенный в каналах 5, выполненных в днище 6 корпуса 1 и имеющих в стенках полу- 15 цилиндрические канавки 7, на внутренних поверхностях которых размещена полимерная пленка 8 с металлическим покрытием, отражающим инфракрасное излучение нагревателя 4, причем кана-20 лы 5 днища 6 при помощи трубопровода 9 с отсечным клапаном 10 подключены к форвакуумному патрубку 2 насоса.

Насос работает следующим образом.

Предварительно полость насоса 25 вакуумируют внешним форвакуумным насо. сом через патрубок 2 до остаточного

962 2 давления порядка 10 "мм рт.ст. При этом отсечной клапан 10 открыт, и одновременно с насосом вакуумируется полость, образованная каналами 5 днища 6. Затем клапан 10 закрывается и включается нагреватель 4, который нагревает рабочую жидкость насоса до температуры кипения. Пары рабочей жидкости по паропроводу 3 поднимаются к соплам, откуда истекают в виде сверхзвуковой струи, захватывающей молекулы откачиваемого газа и увлекающей их в сторону откачки. Пары конденсируются на стенках охлаждаемого корпуса 1, а молекулы откачиваемого газа удаляются из полости насоса через форвакуумный патрубок 2.

Повышение надежности работы насоса обусловлено увеличением долговечности нагревателя, который в процессе работы раскаляется и его инфракрасное излучение, отражаясь от металлического покрытия пленки 8, нагревает жидкость в насосе. Отсутствие воздуха в каналах днища снижает окисление нагревателя при высокой температуре, продлевает срок его службы. !