Толщиномер диэлектрических покрытий
Иллюстрации
Показать всеРеферат
ТОЛЩИНОМЕР ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПОКРЫТИЙ по авт. св. № 905620, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерений, он снабжен перемножителем, подключенным первым и вторым входами к выходам амплитудного и амплитудно-фазового детектора соответственно, а выходом - к третьему входу сумматора. Ш (Л 1 QD О Од
„„SU„„11 90 6
СОЮЗ СОВЕТСНИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК (51)4 G 01 В 7/06
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР
ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ о сво
ОПИСАНИ ИЗОЬГКтКНИЯ -""
К ABTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) 905620 (21) 3715524/25-28 (22) 20.03„84 (46) 15.09.85 Бюл. № 34 (7 ) В.О.Арбузов, А.С.Бакунов, 10.Н.Завалов и В.А.Коровяков (71) Научно-исследовательский институт интроскопии (53) 620.179.14(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР
¹ 905620, кл. G 01 B 7/06, 1982. (54) (57) ТОЛЩИНОМЕР ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ
ПОКРЫТИЙ по авт. св. ¹ 905620, о т— л и ч а ю шийся тем, что, с целью повышения точности измерений, он снабжен перемножителем, подключенным первым и вторым входами к выхо" дам амплитудного и амплитудно-Аазового детектора соответственно, а выходом — к третьему входу сумматора.
1179096
Изобретение относится к нераэрушающему контролю, может быть использовано для измерения толщины диэлектрических покрытий на электропроводящей основе и является усовершенство-g ванием устройства по основному авт. св. - 905620.
Цель изобретения — повышение точности измерений.
На фиг, 1 представлена структурная10 схема толщиномера диэлектрических покрытий; на фиг. 2 — зависимости погрешности измерения толщины от режима контроля и электромагнитных параметров основы. 15
Толщиномер диэлектрических покрытий содержит последовательно соединенные автогенератор 1, накладной вихретоковый преобразователь 2, амплитудный детектор 3, сумматор 4 и инди-20 катор 5, амплитудно-фазовый детектор
6, подключенный сигнальным входом к выходу накладного вихретокового преобразователя 2, опорным входом через фазовращатель 7 — к выходу автогенераЯ5 тора 1 и выходом — к второму входу сумматора. 4, перемножитель 8, подключепный первым входом к выходу амплитудного детектора 3, вторым входом— к выходу амплитудно-базового детекто-3р ра 6 и выходом — к третьему входу сумматора 4.
Толщиномер диэлектрических покрытий работает следующим образом.
ВнОсимое напряжение с Выхода нак ладного вихретокового преобразователя
2, запитываемого синусоидальным током от ачтогенератора 1, поступаег одновременно на входы амплитудно-фазового детектора 6 иамплитудного детектора 3. 4р
Опорное напряжение фазочувствительного детектора 6 с помощью фазовращателя 7 устанавливается синфазным с током возбуждения накладного вихретокового преобразователя 2. Постоянные напряжения с выходов обоих детекторов поступают на выходы перемножителя 8, передаточная функция которого может быть записана в следующем виде:
° 2
Ч . = К
Вых V
1 где К вЂ” коэффициент передачи;
U U — выходные напряжения амплитудно-фазового детектора 6 и амплитудного детектора 3, соответственно.
Выходные напряжения обоих детекторов и перемножителя 6 поступают на входы сумматора 4. Коэффициенты передачи сумматора 4 по каждому из входов могут быть выбраны так, что его выходное напряжение, подаваемое на индикатор 5, практически не зависит от изменений удельной электрической проводимости и магнитной проницаемости материала основы в широких пределах и зависит от толщины диэлектрического покрытия.
Возможность отстройки от влияния вариации электромагнитных параметров основы подтверждается зависимостями представленными на фиг. 2, где введены следующие обозначения:
h = (hq+ h ) /2R, h „, h 2 — расстояния от центров обмоток накладного вихретокового преобразователя до электропроводящей поверхности;К— эквивалентный радиус накладного вихретокового преобразователя; у= .
=R1rup>6/ е — обобненнын параметр, характеризующий влияние удельной электрической проводимости 6 и относительной магнитной проницаемости (а материала основы; Ш вЂ” круговая частота тока возбуждения преобразователя; P. — магнитная постоянная.
Из приведенных зависимостей следует, что максимальная погрешность измерений, связанная с вариацией и. и Б, не превышает 17.. Следовательно,введенная с помощью перемножителя коррекция позволяет как минимум в 4 раза снизить методическую погрешность измерений.
1179096
-02
-05
0 Q
ОЪг. Г
Составитель П.Духанин
Редактор Н.Швыдкая ТехредМ.Надь Ко ектор А.Обручар
PP
Заказ 5650/39 Тираж 651 Подписное
ВНИИПИ Го ударственного ксмитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4