Голографический интерферометр для измерения формы сферических оптических поверхностей

Голографический интерферометр для измерения формы сферических оптических поверхностей

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

1. ГОЛО ГРАФИЧЕСКИЙ ИР1ТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ФОРМЫ СФЕРИЧЕСКИХ ОПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ, содержащий лазер, установленные по ходу его излучения оптическую систему для расширения пучка и систему формирования эталонного пучка, выполненную в виде голограммы, записанной с помощью эталонного образца, систему формирования рабочего пучка, оптически связанную с оптической системой расшфения пучка и голограммой , и блок регистрации, оптически связанньй с голограммой, отличающийся тем, что, с целью повьшения точности и надежности измерений , голограмма выполнена в виде осевой отражательной голограммы и устанавливается на пути лучей от оптической системы расширения пучка к контролируемому объекту, а интерферометр снабжен линзой, установленной между расширителем пучка и центром кривизны контролируемой по;верхности так, что фокус линзы совпадает с центром кривизны. (Л 2. Интерферометр по п.1, о т л ис чающийся тем, что голограмма ориентирована наклонно относительно оси лазерного пучка.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН (g>)4 С 01 В 9/021

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

tlO ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3697588/25-28 (22) 30.01.84 (46) 23.10.85. Вюл. N 39 (72) А.Н. Калинин, С.Н. Гинак, Ф,В. Видмант и Н.Ф, Шталенков (53} 681.2.535.8 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

Р 366780, кл. G 01 В 9/02, 1973.

Коломийцев Ю.В. Интерферометры.

Л.: Машиностроение, 1976, с. 76-78. (54)(57) 1. ГОЛОГРАФИЧЕСКИЙ ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ФОРМЫ СФЕРИЧЕСКИХ ОПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ, содержащий лазер, установленные по ходу его излучения оптическую систему для расширения пучка и систему формирования эталонного пучка, выполненную в виде голограммы, записанной с помощью эталонного образца, систему формирования рабочего пучка, onтически связанную с оптической системой расширения пучка и голограммой, и блок регистрации, оптически связанный с голограммой, о т л ич а ю шийся тем, что, с целью повышения точности и надежности измерений, голограмма выполнена в виде осевой отражательной голограммы и устанавливается на пути лучей от оптической системы расширения пучка к контролируемому объекту, а интерферометр снабжен линзой, установленной между расширителем пучка и центром кривизны контролируемой по;верхности так, что фокус линзы совпадает с центром кривизны.

-2. Интерферометр по п.1, о т л ич а ю шийся тем, что голограмма ориентирована наклонно относительно оси лазерного пучка.

1186940

Составитель М. Семчуков

Техред Л.Микеш Корректор В. ð«K

Редактор Н. Пушненкова

Заказ 6533/43

Тираж 650 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, )К-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент". r, Ужгород, ул. Проектная,4

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля формы оптических поверхностей.

Целью изобретения является повышение точности и надежности измере- . ний.

На чертеже представлена схема интерферометра.

Голографический интерферометр состоит из лазера 1, оптической системы 2 для расширения лазерного пучка, осевой отражательной голограммы 3, линзы 4, установленной между голограммой 3 и центром кри- 15 визны контролируемой поверхности 5, таким образом, что фокус линзы 4 совпадает с центром кривизны контролируемой поверхности, полупрозрачной пластины 6 и блока 7 20 регистрации. Голограмма 3 может быть установлена наклонно относительно осп лазерного пучка, образуя с ней угол, обеспечивающий выход пучков, отраженных от поверхностей подложки 25 .голограммы, за пределы входного зрач ка блока 7 регистрации.

Устройство работает следующим образом.

Излучение лазера 1 рас ш ряется 30 системой 2 до требуемой величины и . падает на голограмму 3. Часть его, дифрагируя на голограмме, формирует эталонный пучок, который распространяется в обратном направлении по тому же пути. Другая, недифрагированная часть излучения проходит через голограмму и линзой 4 направляется по нормалям к измеряемой поверхности 5. Отраженный от этой поверхности и несущий информацию о ее форме пучок проходит через голограмму, накладывается на эталонный пучок и интерферирует с ним. Из конструктивных соображений голограмма может быть установлена за линзой 4

/ II (поэ. 3,3 ), что не меняет сущность и работу устройства. Интерференционная картина регистрируется с помощью блока 7 регистрации, куда излучение попадает, отразившись от полупрозрачной пластины 6.

Голограмма 3 записывается в предлагаемом устройстве при установке на место измеряемой поверхности

5 эталонной (например, пробного стекла).

Использование осевой голограммы позволяет совместить ветви интерферометра.

При этом оба интерферирующих пучка идут через одни и те же участки оптических деталей прибора, тем самым, снижается влияние погрешностей оптических деталей прибора, вибраций и флуктуаций показателя преломления . воздуха и повышается точность и надежность измерений.