Приставка к рентгеновскому гониометру

Приставка к рентгеновскому гониометру

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ПРИСТАВКА К РЕНТГЕНОВСКОМУ ГОНИОМЕТРУ, включающая основание с посадочным местом для монтажа приставки в рентгеновском гониометре, выполненное в виде диска, на котором смонтирована, с возможностью поступательного перемещения платформа в виде угловой рамы, вертикальная полка которой несет механизм вращения держателя образца вокруг горизонтальной оси, перпендикулярной вертикальной оси гониометра, состоящий из втулки с фланцем, снаб-женной червячным колесом и закреп .ленной в обойме подшипника, установленного в вертикальной полке рамы с возможностью вращения.втулки вокруг горизонтальной оси, червячной шестерни , и привода, о т л и ча ющ а я с я тем, что, с целью повышения точности контроля монокристаллов с развитой блочной структурой, . на фланце втулки со стороны, обращенной в противоположное от гориi зонтальной оси направление, смонтирована посредством горизонтальных (Л стоек платформа в виде диска,несущая механизм поступательного перемещения держателя образца, помещенного внутри втулки, в двух направле.ниях , перпендикулярных горизонтальной оси втулки и вдоль поворота держателя образца в двух плос о костях, параллельных горизонтальной оси втулки, вокруг осей, перпенди1C кулярных этим плоскостям. 4i 4ik

„„ао„„и о24

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИН (51)4 G 01 N 23/20

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н ABTOPGHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3703290/24-25 (22) 22.02. 84 (46)" 07.11.85. Бюл. В 41 (72) И.Н. Смирнов, О.В. Утенкова, М.В. Бахтиарова, В.П. Боричев и Н.А. Горбачева (53) 621.386(088. 8) (56) Хейкер Д.М. Рентгеновская дифрактометрия монокристаллов. Л.: .

Машиностроение, 1973, с. 105-106.

Авторское свидетельство СССР

9 457018, кл. G 01 N 23/20, 1972.

Гониометр ГУР-5. Инструкция по пользованию. Л.: ЛОМО, 1964, с. 13-14. (54) (57) ПРИСТАВКА К РЕНТГЕНОВСКОМУ

ОНИОМЕТРУ, включающая основание с посадочным местом для монтажа приставки в рентгеновском гониометре, выполненное в виде диска, на котором смонтирована. с возможностью поступательного перемещения платформа в виде угловой рамы, вертикальная полка которой несет механизм вращения держателя образца вокруг горизонтальной оси, перпендикулярной вертикальной оси гониометра, состоящий из втулки с фланцем, снабженной червячным колесом и закрепленной в обоиме подшипника, установленного в вертикальной полке рамы с возможностью вращения втулки вокруг горизонтальной оси, червячной шестерни.и привода, о т л и ч а ющ а я с я тем, что, с целью повышения точности контроля монокристаллов с развитой блочной структурой, . на фланце втулки со стороны, обращенной в противоположное от горизонтальной оси направление, смонтирована посредством горизонтальных стоек платформа в виде диска, несущая механизм поступательного перемещения держателя образца, помещенного внутри втулки, в двух направлениях, перпендикулярных горизонтальной оси втулки и вдоль нее и повоУ рота держателя образца в двух плоскостях, параллельных горизонтальной оси втулки, вокруг осей, перпендикулярных этим плоскостям.

1190244

Изобретение относится к области рентгеновского приборостроения, в частности к устройствам для исследования монокристаллов и контроля полупроводниковых изделий методами рентгеноструктурного анализа.

Цель изобретения — повышение точности контроля монокристаллов с . развитой блочной структурой.

На фиг. 1 схематически представлена приставка, общий вид; на фиг. 2 — платформа, монтируемая на втулке приставки.

Приставка к рентгеновскому гониометру содержит основание 1, имеющее форму диска и снабженное снизу посадочной втулкой для установки приставки в гониометре. На основании 1 установлена рама 2, имеющая угловую форму. Горизонтальная пол2 ка 3 рамы опирается на основание 1 и может перемещаться относительно него в целях юстировки посредством винтового, червячного или любого другого вида привода. В вертикальной полке 4 рамы 2 выполнено сквозное отверстие, в котором закреплен подшипник. Во внутреннюю обойму подшипника вставлена втулка 5, на которой посажена ведомая шестерня 6 привода и выполнен фланец. 7. Втулка

5 установлена в полке 4 так, что фланец 7 находится за полкой, т.е. вне угла рамы 2. На корпусе рамы 2 смонтирован привод 8, ведущая Шестерня 9 которого находится в зацеплении с шестерней 6 на втулке, обеспечивающий вращение втулки 5 вокруг горизонтальной оси перпендикулярной к вертикальной оси. приставки.

К фланцу 7 жестко прикреплены стержни 10 параллельно оси втулки, а на их противоположных концах закреплена платформа 11. На последней монтируется устройство 12 типа гониометрической головки, обеспечивающее пространственную ориентацию и перемещение в трех направлениях держателя 13 образца, который введен внутрь втулки 5. Устройство

12 состоит иэ двух дуг, установленных во взаимно перпендикулярных плоскостях, и привода перемещения держателя в двух направлениях, перпендикулярных оси втулки, и вдоль этой оси. Держатель 13, несущий образец, выполнен съемным, а его форма и размеры варьируются в зависимости от размеров контролируемого образца., Приставка работает следующим образом.

В держателе 13 закрепляется контролируемый монокристалл, ориентировка которого предварительно установлена и выведена таким образом, чтобы нормаль отражающей плоскости, используемой при рентгеносъемке, после установки держателя 13

10 в приставке была приблизительно параллельна оси втулки. Детектор рентгеновских лучей с полностью открытым входным окном устанавливается под двойным брэгговским углом к направлению первичного пучка для выбранного отражения. Включают источник рентгеновских лучей, направляя пучок на образец и производя одновременное быстрое вращение втулки

20 (50-60 об/мин) и медленный поворот приставки вокруг оси гониометра (1 угл.град./мин), выводят монокристалл в отражающее положение, остановив оба вращения при достижении максимума интенсивности дифрагированных лучей, регистрируемых детектором.

Приставка экспериментально применима к контролю твердых раство25

30 ров кремний-германий, образующихся при напайке кристаллов к основанию корпуса. На блочных монокристаллах кремния с примесью германия приставка позволяет установить образцы в точное отражающее положение для измерения интегральной интенсивнос.ти отражения (222), особенно чувствительного к введению, примеси в кристаллическую решетку; В результате экспериментально измерены значения структурного фактора 1,5 1 вЂ,95

Отражение (222) для наиболее распространенных в электронной технике кристаллов кремния и германия является запрещенным, но в ряде случаев его измерение наиболее эффективно для решения технологических задач. Предлагаемая приставка позволяет определить интегральную интенсивность и структурный фактор этого отражения, что невозможно .при известных конструкциях гониометрического устройства.

S5 и по ним определено содержание rep4g мания в твердом растворе 1,5-24,0 ат. X

Составитель E.Ñèäîõèí

Редактор Л.Гратилло Техред О.Неце Корректор О.Луговая

Тираж 896 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Заказ 697 1/45

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4

Предлагаемая приставка методом .последовательной подстройки ликви .дирует непараллельность отражающих плоскостей исследуемых монокристаллов плоскости рентгеновского пучка при массовом контроле деформации и механических напряжений в изделиях электронной техники

1190244 4 в условиях полупроводникового производства. Такая непараллельность

\ систематически возникает при креплении монокристаллических образцов для измерений на двух- и трехкристальных рентгеновских спектрометрах после отдельных операций технологического цикла.