Устройство для контроля неоднородностей планарного оптического волновода
Иллюстрации
Показать всеРеферат
УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ НЕОДНОРОДНОСТЕЙ ПЛАНАРНОГО ОПТИЧЕСКОГО ВОЛНОВОДА, содержащее источник излучения, коллиматор, трехгранную призму, причем коллиматор установлен между источником излучения и призмой осью перпендикулярно ее диагональной грани, отличающееся тем, что, с целью сокращения времени контроля, в него введены разделитель излучения, выполненный в виде ряда прозрачных элементов, и прозрачная пластина с выполненными на одной ее стороне параллельными светорассеивающими полрсками с шириной и шагом, равными соответственно ширине зазора и шагу меащу прозрачными элементами разделителя излучения, при этом разделитель излучения установлен между коллиматором и призмой параллельно ее ребру, а пластина пристыi кована к основанию призмы и устано Влена светорассеивающими полосками сл вдоль проекций осей прозрачных элементов разделителя на основании с призмы со смещением полосок от этих осей на половину шага. Si е О ОЭ со
СОЮЗ СОВЕТСНИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ
РЕСПУБЛИК (19) (1! ) (s()4 G 02 В 6
J - Л:.
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ 1 н авторСИоММ СвидатЯЛьСта
Виа4
ГОСУДФ. СТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР
flO ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3749490/24-10 (22) 02.03.84 (46) 07.11.85. Бюл. N - 41 (71) Московский институт радиотехники, электроники и автоматики (72) В.С..Голубков, Н.Н. Евтихиев, Н.Н. Иванов и В.Ф. Папуловский (53) 535.89(088.8) (56) Введение в интегральную оптику. М.: Мир, 1977, с. 121.
Uakuum-technik, 23 Ihrgang, Heft 1, 1973. (54) (57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ
НЕОДНОРОДНОСТЕЙ ПЛАНАРНОГО ОПТИЧЕСКОГО ВОЛНОВОДА, содержащее источник излучения, коллиматор, трехгранную призму, причем коллиматор установлен между источником излучения и призмой осью перпендикулярно ее диагональной грани, о т л и— ч а ю щ е е с я тем, что, с целью сокращения времени контроля, в него введены разделитель излучения, вынолненный в виде ряда прозрачных элементов, и прозрачная пластина с
1 выполненными на одной ее стороне параллельными светорассеивающими полрсками с шириной и шагом, равными соответственно ширине зазора и шагу между прозрачными элементами разделителя излучения, при этом разделитель излучения установлен между коллиматором и призмой параллельно ее ребру, а пластина пристыкована к основанию призмы и установлена светорассеивающими полосками вдоль проекций осей прозрачных элементов разделителя на основании призмы со смещением полосок от этих осей на половину шага.
1190331
Составитель И. Шилов
Редактор Н. Яцола Техред О.Неце. Корректор Л. Патай
Заказ 6977/49 Тираж 525 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета ССС1 по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, .ул. Проектная, 4
Изобретение относится к интегральной оптике и может быть использовано в технологических линиях по изготовлению планарных водов .
Цель изобретения — сокращение времени контроля.
На чертеже представлена схема устройства.
Устройство содержит лазер 1, коллиматор 2, разделитель 3 лазерного излучения, трехгранную призму 4, прозрачную пластину 5. Позицией 6 обозначен контролируемый планарный оптический волновод. 15
Коллиматор 2 выполнен, например, из цилиндрических линз. Разделитель
3 выполнен, например, в виде ряда точечных диафрагм или в виде голографической пластины. В последнем 20 случае на голографическую пластину записывается толстослойная голограмма точечных источников, расположенных регулярно ь один ряд. Тогда при падении на нее излучения лазера ви- 25 димого диапазона и в случае применения электрооптического преобразователя и невидимого диапазона будет восстанавливаться вторичное излучение в виде ряда источников коллимированного излучения.
Призма 4 имеет коэффициент преломления больший, чем коэффициент преломления волноводного слоя контролируемого волновода 6. Прозрачная пластина 5 выполнена из оптически прозрачного материала, например стекла, с коэффициентом преломления, меньшим, чем у волноводного слоя волновода 6. Полоски на ее поверхности нанесены параллельно друг др гу с помощью люминисцентной краски или резцом. Пластина установлена полосками к волноводу.
Устройство работает следующим образом.
Излучение лазера, пройдя оптический блок 2 и разделитель 3, в виде параллельных лучей с помощью вводной призмы 4 возбуждает контролируемый волновод 6. В результате этого по волноводу проходит много параллельных лучей. Полоски ориентированы так, что при отсутствии дефектов в волноводе лучи в нем проходят между полосками, не вызывая какого-либо свечения. При наличии дефекта, вызывающего искривление траектории какого-Либо луча, этот луч попадает на границу волновода со светорассеивающей полоской, что вызывает свечение в этом месте.
В случае рассеивающего дефекта свечение наблюдается как непосредственно в дефекте, так и от лучей, рассеянных дефектом и пересекающихся затем с полосками.
При контроле волновод устанавливают при необходимости в разных положениях относительно полосок, например со сдвигом перпендикуляр-. но полоскам относительно первого положения волновода на половину шага между полосками и др.
Устройство позволяет резко сократить время контроля, так как в одном акте контролем охвачена обширная область волновода.