Устройство для выпуска электронного пучка

Устройство для выпуска электронного пучка

Реферат

Устройство для выпуска электронного пучка преимущественно в газовый объем из вакуумной камеры с системой откачки, содержащее фольговое окно, выполненное в виде опорного фланца с прижимной рамкой, между которыми расположена фольга, а по внутреннему периметру прижимной пластинки расположена уплотнительная прокладка, и механизм перемотки фольги, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции и повышения надежности, оно снабжено дополнительным уплотнительным элементом, расположенным по наружному периметру прижимной рамки со стороны, обращенной к опорному фланцу, имеющему отверстия и внутренний канал, и вакуумным клапаном, соединяющим газовый объем с камерой, сообщающейся через отверстия опорного фланца с полостью, образованной этим фланцем и прижимной рамкой и соединенной указанным каналом с системой откачки, при этом суммарное сечение отверстий фланца составляет 0,2 - 1,0 сечения внутреннего канала, а механизм перемотки фольги расположен внутри вакуумной камеры.