Способ получения кристаллического кремния

Способ получения кристаллического кремния

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Класс 12i, 38 № 119176

® йьИОКЗМ

ЛатйНТМЭ-ТЮХТИ 16Снм ;

SHSNGTEHA

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

С. А. Моргулев и В. А. Кравченко

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ КРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ

Заявлено 14 мав 1958 г. за No 599561/23 в Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Предмет из о бр етени я

Способ получен|ия кристаллического кремния путем восстановления кварца или чистого кварцевого песка карбидом кремния при нагреве брикетирова нной шихты, отличающийся тем, что процесс восстановления ведут при температуре до 1400 под вакуумом.

Известно много способов получения чистого кристаллического кремния, в том числе и путем восстановительной плавки кварца или чистого кварцевого песка с углеродистым материалом в дуговой электропечи, но они обладают рядом недостатков, в частности не обеспечивают необходимой чистоты конечного продукта и требуют высоких температур, порядка 1700 .

Описываемый способ заключается в том, что процесс восстановления ведут при температуре до 1400 под вакуумом.

Предлагаемый способ экономичнее известных, так как процесс проводят при более низкой температуре, в результате чего получают конечный продукт наиболее чистый.

Способ осуществляют следующим образом. Измельченный карбид кремния смешивают с мелким чистым кварцевым песком или с измельченным кварцем в стехиометрическом соотношении по реакции;

2SiC+ $102 = 3Si+2СО

После перемешивания шихту брикетируют, загружают в вакуумную электропечь и нагревают до 1400 при разрежении порядка 1 мм рт. ст. При этом получают кристаллический кремний, который можно применять для металлургических целей, или после последующей обработки для специальных электротехнических и других целей. Для получения особо чистого кремния, идущего для изготовления кремниевых полупроводников, необходимо применять особо чистые шихтовые материалы.