Проекционный объектив с увеличением-1/5х

Проекционный объектив с увеличением-1/5х

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ПРОЕКЦИОННЫЙ ОБЪЕКТИВ С УВЕЛИЧЕНИЕМ - 1/5 , включающий восемь компонентов и диафрагму,второй компонент из которых отрицательный третий и четвертый - двояковыпуклые линзы, пятый - положительный, а сед мой - двусклеенный мениск, отли чающийся тем, что, с целью снижения величины остаточной дисто сии, в него дополнительно введены отрицательный мениск, обращенный вогнутостью к плоскости предмета и jpax:пanoжeнный перед первым компонен том на расстоянии 0,047 фокусного ра стояния объектива, и положительный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предмета, склеенной из отрицательного и положительного менисков, и расположённый за восьмым компонентом на расстоянии 0,35 фокусного расстояния обьектива, при этом первьш компонент - отрицательный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предмета, второй мениск обращенный выпуклостью к плоскости предмета, четвертый - оди ночная линза, пятый - мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предмета , шестой - отрицательный мениск, обращенный вьшуклостью к плоскости предмета, склеенный из положительного и отрицательного менисков, седьмой - отрицательный, обращенный вогнутостью к плоскости предмета, и склеенный из двояковогнутой и двояковыпуклой линз, а восьмой - двояковыпуклая линза, причем диафрагма расположена за пятым компонентом на расстоянии объектива. 78 9 Ю И /г 13

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (19) (И) 1) у 6 02 В 9/64, 13/24 г Ъб«

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ASTOPCHOIVIY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

«р jб

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3756169/24-10 (22) 26.06.84 (46) 30. 11.85. Вюл. N 44 (72) Э.С.Гуревич, В.И.цуран, В.В.Пешкова и Г.М.Левина (53) 535.824.2(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

В 885953, кл. С 02 В 13/24, 1980.

Хозяйственный патент ГДР У 133372, кл. С 02 В 9/64, опублик. 1960. (54)(57) HPOEKgHOHHblA 0ИЪЕКтИВ С

УВЕЛИЧЕНИЕМ вЂ” 1/5, включающий восемь компонентов и диафрагму, второй компонент из которых отрицательный, третий и четвертый — двояковыпуклые линзы, пятый — положительный, а седьмой — двусклеенный мениск, о т л и— ч а ю шийся тем, что, с целью снижения величины остаточной дистор сии, в него дополнительно введены отрицательный .мениск, обращенный вогнутостью к плоскости предмета и расположенный перед первым компонентом на расстоянии 0,047 фокусного рас-, стояния обьектива, и положительный мен иск, о бращенный выпукло стью к плоскости предмета, склеенной . из отрицательного и положительноro менисков, и расположенный за восьмым компонентом на расстоянии 0,35 фокусного расстояния объектива, при этом первый компонент — отрицательный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предмета, второй мениск обращенный выпуклостью к плоскости предмета, четвертый — одиночная линза, пятый — мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предмета, шестой — отрицательный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предмета, склеенный из положительного и отрицательного менисков, седьмой — отрицательный, обращенный вогнутостью к плоскости предмета, и склеенный из двояковогнутой и двояковыпуклой линз, а восьмой — двояковыпуклая линза, причем диафрагма расположена sa пятым компонентом на расстоянии объектива.

1195319

Составитель В.Архипов

Техред А.Ач Корректор Е.Рошко

Редактор Н.Киштулинец

Заказ 74 13/52

Тираж 525 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4/5

Филиал ППП "Патент", r.Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к оптическому приборостроению, а именно к оптическим системам, и может быть применено в микроэлектронике в проекционных системах экспонирования для изготовления полупроводниковых приборов.

Цель изобретения — снижение величины остаточной дисторсии.

На чертеже изображена схема объек-® тива.

Объектив состоит из тринадцати линз, собранных в десять компонентов.

Первый компонент представляет со- 1> бой отрицательный мениск 1, второй компонент — отрицательный мениск 2, третий компонент - отрицательный мениск 3, четвертый компонент - двояковыпуклая линза 4, пятый компоненг— двояковыпуклая линза 5, шестой компонент — положительный мениск 6,седьмой компонент — отрицательныймениск, склеенный из положительного 7 и отрнца ельного 8 менисков, восьмой компонент — отрицательный мениск, склеенный иэ двояковогнутой 9 и двояковыпуклой 10 линз, девятый компонент— двояковьп уклая линза 11, десятый компонент - положительный мениск, склеенный из отрицательного 12 и положительного 13 менисков.

Предлагаемый объектив ахроматизован и имеет высокую степень коррекции аберраций для Ф = 436 + 5 нм.

Данный объектив имеет увеличение

1/5, апертуру 0,25, поле зрения

2у = 24 мм, фокусное расстояние

F = 105 83 мм, величина остаточной дисторсии не превышает 0,08 0м .