Способ контроля процесса проявления шкал растровых мер

Способ контроля процесса проявления шкал растровых мер

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

СПОСОБ КОНТРОЛЯ ПРОЦЕССА ПРОЯВЛЕНИЯ ШКАЛ РАСТРОВЫХ МЕР, ширина непрозрачных элементов которых равна половине периода растра, включающий освещение в процессе проявления растровой шкалы когерентным неактиничным излучением и измерение световой энергии в различных порядках спектра, по величине которой судят о размере элементов растра, о тли чающийся тем, что, с целью повьшения точности контроля, измеряют экстремальные значения световой энергии в первом и более высоком порядках спектра, а процесс проявления прекращают в момент совпадения экстремальных значений световой энергии. (Л с и со

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН

QRSUGD (51) 4 G 03 С 5/24, G 01 В 11/24

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ ц

Н АВТОРСИОМЪГ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ь:-...;;;;"., ь

1 (21) 3757504/24 — 10 (22) 28.06.84 (46) 30. 11. 85. Бюл. У 44 (7i) Вильнюсский филиал Экспериментального научно-исследовательского института металлорежущих станков (72) А.-M.À.Баракаускас, Э.А.Даукша, В.Н.Кудрявцев и А.А.Барадокас (53) 771.43(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

У 643747, кл. С 01 В 11/24, 04.08.7? (54) (57) СПОСОБ КОНТРОЛЯ ПРОЦЕССА

ПРОЯВЛЕНИЯ ШКАЛ РАСТРОВЫХ МЕР, ширина непрозрачных элементов которых равна половине периода растра, включающий освещение в процессе проявления растровой шкалы когерентным неактиничным излучением и измерение световой энергии в различных порядках спектра, по величине которой судят о размере элементов растра, о тл и ч а ю шийся тем, что, с целью повышения точности контроля, измеряют экстремальные значения световой энергии в первом и более высоком порядках спектра, а процесс проявления прекращают в момент совпадения экстремальных значений световой энергии.

95329

Составитель Е.Вострикова

Техред А.Кикемезей Корректор Г.Рошко

Редактор H. Киштулинец

Заказ 7414/52 Тираж 447

ВНИИПИ Государственного. комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Н<-35, Раушская наб., p . 4/5

Подпис ное

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная,4

Ф

11

Изобретение относится к фотолитографии, а именно к способам проявления, и может быть использовано при изготовлении прецизионных растровых шкал.

Цель изобретения — повышение точности контроля процесса проявления.

На чертеже *оказана структурнофункциональная схема устройства для осуществления способа.

Устройство содержит лазер 1, кювету 2 с проявителем, в которой размещена заготовка 3 растровой меры, два фотоприемника 4, расположенные в направлении первого и более высокого порядка спектра, две схемы 5 поиска экстремумов и схему 6 совпадения.

Предлагаемый способ реализуется следующим образом.

В процессе проявления слоя фоторезиста, нанесенного на шкалу растровой меры, образуется фазовая решетка, на которой дифрагирует падающее на нее когерентное излучение.

При помощи фотоприемника 4, один из которых установлен в первом по-! рядке спектра, а другой — в более высоком порядке спектра, например в третьем, измеряют изменения световой энергии, обусловленные изменением размеров проявляемых элементов растра, и при помощи схем поиска экстремумов определяют экстремальные значения сигналов в обоих каналах. Одновременно экстремальные

I значения сигналов в обоих каналах наступают только при — = 0,5, где

Ь

 — ширина штриха растра, d — период растра, т.е. когда ширина штри15 ха равна половине периода растра.

В этот момент схема 6 совпадения выдает сигнал об окончании процесса проявления. С увеличением номера .используемого порядка спектра частота появления экстремальных значений увеличивается, при этом увеличиваI ется и чувствительность способа, так как уменьшается интервал изменения ширины штрихов между двумя экстре25 мальйыми значениями интенсивности порядка спектра, а пики экстремальных ,значений носят более острую форму.