Установка для изготовления отверстий в твердых материалах, например, тантал, молибден, алмаз и т.д.

Установка для изготовления отверстий в твердых материалах, например, тантал, молибден, алмаз и т.д.

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

№ 120403

Класс 21@, 21о

49/, 12

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Л. Б. Розенфельд и А. И. Макаров

УСТАНОВКА ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ОТВЕРСТИЙ В ТВЕРДЫХ

МАТЕРИАЛАХ, НАПРИМЕР, ТАНТАЛЕ, МОЛИБДЕНЕ, АЛМАЗЕ И T. Д. С ПОМОЩЬ О СФОКУСИРОВАННОГО

ПУЧКА ИОНОВ

Заявлено 15 апреля 1958 r. за № 597373, 25 в Комитет по делам изобретений и открытий прн Совете Министров СССР

Опубликовано в «Бюллетене изобретений» № 11 за 1959 г.

Изобре ение относится к установкам для изготовления отверстий в твердых материалах с помощью сфокусированного пучка ионов, имеющим газоразрядный источник ионов, высоковольтный выпрямитель, форвакуумный насос, камеру для размещения просверливаемой детали и кран, регулирующий подачу газа в разрядный промежуток источника ионов.

Б известных установках подобного типа источник ионов имеет плсскис электроды и работает при низком напряжении, а поэтому создаст на выходе пучок медленных ионов с малой плотностью ионного тока и до вольно большим диаметром (равным диаметру канала в катоде). Этот пучок для сверления не годится, поэтому в ионно-оптическую систему установок приходится включать систему ускорения и специальные линзы для фокусировки пучка. ,цля получения хорошего качества фокусировки линзы должны быть изготовлены и ориентированы с большой точностью. В результате установка для сверления отверстий оказывается конструктивно весьма сложной, .требует несколько хорошо стабилизированных источников питания и весьма квалифицированного обслуживания.

Настоящее изобретение, позволяет упростить установку и ее эксплуатацию.

Это достигается применением в ней двухэлектродного источника положительных ионов, состоящего из холодного плоского катода и полого анода, что позволяет получить хорошо сфокусированный пучок ионов с минимальным диаметром до 3 — 5p непосредственно в источнике ионов без дополнительных фокусирующих устройств, Анод установки выполнен с полостью, длина которой превышает ее диаметр не менее чем в 3 раза, а отношение диаметра выходного отверстия к диаметру полости лежит в пределах 0,35 — 1.

На чертеже показан источник. ионов установки.

Источник ионов установки состоит из неподвижно закрепленного анода 1 и катода 2, который может ввинчиваться в корпус источника 3, ¹ 120403 что позволяет плавно менять расстояние анод †кат в необходимых пределах. Корпус источника 8, а следовательно, и катод 2 заземляются.

Анод 1 установки, на который подается высокое напряжение, крепится в корпусе источника с помощью изолятора 4. Корпус источника 3 снабжен каналом 5, обеспечивающим свободный газообмен между разрядным промежутком и камерой, в которой. помещается просверливаемая деталь. Вакуумное уплотнение всех соединений источника обеспечивается резиновыми кольцами 6, прижимаемыми гайками 7. Обрабатываемая деталь 8 вплотную прилегает к катоду.

Длина полости в аноде должна превышать ее диаметр в 3 и более раза, отношение диаметра отверстия в аноде к диаметру полости должно лежать в пределах от 0,35 до 1, а расстояние между плоскостями анода и катода в рабочей области электродов (вблизи от отверстия) должно составлять 0,08 — 0,8 от диаметра отверстия в аноде.

На анод 1 газоразрядного источника ионов подается высокое напряжение от имеющегося в установке выпрямителя и поддерживается давление, необходимое для горения разряда в источнике ионов. Образующийся пучок просверливает деталь 8. Контроль за сверлением ведется визуально. Момент появления отверстия в детали фиксируется по свечению пучка ионов, выходящих из отверстия, которое видно невооруженным глазом.

Предмет изобретения

1. Установка для изготовления отверстий в твердых материалах например, тантале, молибдене, алмазе и т. д. с помощью сфокусированного пучка ионов, состоящая из газоразрядного источника ионов, высоковольтного выпрямителя, форвакуумного насоса, камеры для размещения просверливаемой детали и крана, регулирующего подачу газа в разрядный промежуток источника ионов, отличающаяся тем, что, с целью ее упрощения в ней применен двухэлектродный источник положительных ионов, состоящий из холодного плоского катода и полого анода.

2. Применение в установке по п. 1 анода с длиной полости, превышающей ее диаметр не менее чем в 3 раза, и отношением диаметра выходного отверстия к диаметру полости, лежащим в пределах 0,35 — 1. о 7

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Редактор Л, Г. Голандский Гр- 97

Поди. к печ. 19.Х-59 r.

Тираж 1110 Цена 25 коп.

Информационно-издательский отдел.

Объем 0 17 п. л. Зак, 8б01

1ипографии Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Петровка, 14.