Устройство для обработки пластин

Устройство для обработки пластин

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

ОСВОИЛ

РЕСПУБЛИК

„„SU„„1204364 А

y1) g В 24 В 37/04 // В 24 В 7/04 (21) 3593603/25-08 (22) 19.05.83 (46) 15.01.86. Бюл. Ф 2 (71) Киргизский горно-металлургический комбинат (72) М.Г.Ураевский; В.И.Ураевский и В.Н.Ущербов (53) 621.923.5(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

В 1002139, rto заявке Р 2908275/08, кл. В 24 В 37/04, 1980. (54)(57) УСТРОЙСТВО Д3И ОБРАБОТКИ

ИЛАСТИН, содержащее стол для размещения обрабатываемых пластин, шпиндель инструмента, ось которого смещена относительно оси вращения стола, .и средство для подачи суспензии, о т л и ч а ю щ е е с я .тем, что, с целью повышения качества обработки, на рабочей поверхности стола выполнена центральная выточка для подачи суспензии с радиально рас-положенными от нее канавками, длина которых не превышает величину смещения осей вращения стола и инструмента.

04364 2

25 повышается качество обработки и суспензия используется наиболее эффективно. При уменьшении длины канавки эффективность использования суспензия .;сиижается, но в меньшей ,О степени, чем при ее увеличении.

Следовательно, ограничение минимальной длины канавки не целесообразно, так как это заведомо приводит к снижению эффективности использования суспен5 эии

4 12

Изобретение относится к области абразивной обработки и может быть использовано в электронной технике при полировании пластин.

Известно устройство для обработки пластин, содержащее основание и расположенные на нем шпиндель с обрабатывающим инструментом и стол, в котором посадочные места для крепления пластин выполнены в виде концентрических канавок, причем внутренние канавки каналами соединены ! через распределительную муфту с вакуумной системой, а внешние канавки другими каналами через ту же муфту соединены с системой энергоносителя под давлением посредством дополнительного паза, выполненного в неподвижной полумуфте (1) .

Недостатком известного устройства является подача шлифующей или полирующей суспензии на полировальник или стол с. пластинами, при этом часть суспензии, не участвуя в обработке, сбрасывается периферией вращающегося инструмента под действием центробежных сил, в следствие чего ухудшается качество обработки и увеличивается расход суспензии.

Цель изобретения — повышение 3 качества обработки.

Поставленная цель достигается тем, что в устройстве для обработки пластин, содержащем стол с механизмом вращения для крепления обрабатываемых пластин, шпиндель инструмента, ось которого смещена относительно оси вращения стола, систему. подачи обрабатывающей жидкости, на рабочей поверхности стола выполнена центральная выточка для подачи суспенэии с радиально расположенными от нее канавками, длина которых не более величины смещения между осями вращения стола и инструмента.

На фиг. 1 изображено предлагаемое устройство, общий вид; на фиг. 2то же, вид сверху.

Устройство для обработки пластин состоит из стола 1 с приводом враще ния (не указан), иа котором выполнена центральная кольцевая выточка 2. и кольцевая рабочая поверхность 3 с посадочными местами 4, например, в виде вакуумных присосок для крепления пластин 5. На рабочей поверхности выполнены каналы 6, длина которых не выходит за пределы окружности 7, над которой расположены оси 8 вращения обрабатывающих инструментов 9, например полировальников. Устройство снабжено бачком

10 для подачи суспензии в выточку 2.

Устройство работает следующим образом.

На столе 1 закрепляют пластины 5, например, вакуумными присосками, включают вращение стола 1 и из бачка

10 подают суспензию, которая поступает в выточку 2, откуда по каналам

6 под действием центробежных сил— на рабочую поверхность 3 стола 1 (на фиг. 1 суспензия показана пунктиром). Затем включают вращение полировлльника 9 и опускают его на пластины 5. Часть суспензии поступает непосредственно под полировальник и используется наиболее эффективно, а часть — на рабочую поверхность стола и участвует в полировании пластин менее эффективно.

Наиболее оптимальной длиной канавки является такая длина, при которой ее конец находится под цент. ром вращения инструмента. В этом случае суспензией смачивается весь полировальник, в результате чего

При длине канавок более величины смещения осей вращения стола и инструмента суспензией смачивается только внешняя часть полировальника.

Таким образом, предлагаемое уст ройство повышает качество обработки и экономит абразивный материал.

1204364

Фиг,Я

Составитель А.. Козлова

Техред. Т. Тулик

Редактор А. Ревин

Корректор Т. Колб

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4

Заказ 8464/12 Тираж 768 Подписное