Способ измерения геометрических параметров электронного пучка с регулируемыми размерами сечения

Способ измерения геометрических параметров электронного пучка с регулируемыми размерами сечения

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ССФОЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИН (51) ri- 1! 0) 3. / О, ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕ "!"" 44)-I

1i i tl" i }j ;

» } (2}, } с

2: с. }

} о

1 !!

А, 2)(с!.,,ч с,,7 }},ь}}} с» 1

- 521 уi .кt »,:» !}. :t,j,tê;t р;}з»01}o j ;1 ! с У :

1; . 1 }б}п lt кс1}}!1} 1п!} Iе-! ° } j }

1:1:}:1 .. }10 101}И»,1 ааК -, ИЧЕС0 —, ) ! !.tIэ i" I l . 0 и j ., .. П !Е }l 11 } С !ЕЩЕП}}Я

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3764357/24-21 (22) 11.07,84 (46) 15.01.86. Бюл. 1 } 2 (71) Московский институт электронного машиностроения (72) М.П. Голубков и M В. Меркуло}:.;1 (53) 621 ° 365(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

М 904256, кл. Н 01 J 37/00, 1978.

Патент ГДР )}} 015-2022, кл. Н 01 J 3/00, опублик. 1981. (54)(57) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ГЕОМЕТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ЭЛЕКТРОННО1 0 ПУЧ—

КА С PEГУПИРУЕ1 ЬЕ)И РАЗМЕРАМИ С1."Е—

НИЯ, включающий облучение мишени с измерительным элементом в виде датчиков прямого потока .электро— нов и определение параметров формк! сечения пучка по совокупное.ти с"}гналов с датчиков, о т л и а ю шийся тем, что, с целью поныв шения точности при сокращении времени измерений, электронный пучок направляют на датчики в виде двух взаимно перпендику.!ярных и параллельных двум сторо}!ам сечения пу:»ка полос, ширина Я„и 62 каждой из которых не превышает половины максимальной длины сторон сечения пучка, с помощью управляю}дих сигналов электронно-оптической системы задают исходную квадратную }форму пучка со стороной размером А, соответствующим середине диапазона регулирования размеров сечения, затем при неподвижной одной из угло вых точек сечения поочередно уве.!ичивают в два разя размер каждой }.-. сторон и обеих вместе и для каждо}.о из сочетаний размеров сторон сече-:Il }, ;:: 1}-,11 У)-! в . } I i, 1}а и 1в o I пс}} }1 . 1 : ч :. 01}0! . :}с 0. .1 1}0}еl}ь сУм

}: } }}1} 1 0 с}1>. :,1. };, l .,;}0 "и!}т }l i }}}с}рмы

:",::.= -}1:!}1 кучк l ычпс li}»ю - .з с оотill }К . .П2i » 0 C Еlj}.I}j ПX ЧКа к з,, 1::}п}0 .у 1;:»11п1э!»влении

1! 1}l! i : t . 0,}:il!:.0:! Ос >

; р,-:.";; сук},:}риего с °

;-р-, (—. }}П} !с 1!ll I р}}З}!Ера

; С ...:„-!!.! ", }}}}}-эаГ. }виня пср— — !» } }ни .В i 0:}01 . с .. 1 В :1 }li, ., 1:., В 2 !ЕP}}С}1" 11

:} I ti 1:! 0 . }ii i П;}1} †.. ijt ) — М

}}}},}::с l! i }};j tм }ро}} cEijc }j}j}}

}};}»1:;.1::}е}ill}j .:".P»0}j и }то.i !

,с!! )(. Г;fi ;. (! !): . i,! 1

ТИПа O .FINK TpOI!F(r! М Пу"(К()(.". (,::! i<. " .)3! кого се -(ения .-;зм:пяемых о;, —::.:.-- ":

Цель изобр«тениl! - —, 1-»»::Hocти и с Окрс1п!«HHВ в!3 :i" е "ji:э Г

lPH ЕДИНО В P « .I«(I((ОМ у ((,3 )ШЕ Н ИИ И=.:., С Т(! () пения мише и с !;;;-;åp.. . э.!: H: ты-:. -,л(-. (<3 ния б Оле е II (3(, ». 3_#_ -"1((3(!(,,I : .(3

Вb(!IIBIIHÿ Отноше ттия сиг нлх! т!i!у!" - " ;3!::

"-,начите п:но о „ме В»(«н(:я меряемых пар:и<«трон ..i -.:-ж: Ff

Ц акт тй К (.О;; Н«., ти ".

ЧИКОВ, (-(а i(op —,«)(те т(()к() - » ((с хе:,. О;

)lения (тарамет! О - ф013мь с«:(IIv< .F с i!(!.,)щь» !! г :.:. л! лов,, (н)дава«(((,л и . .3:! „ i -)лп(;), :( ратная форм-;:.; .-.=::=r!.iiH ! IОК ОР1iс IIТИ,)<)г-,1(l . ; .",(:.IШ(НИ « = ! !

H вторым да"..-;Икамк 2 .. "! <(рp,.".f() тока элсктт)он! в 1-:змс .„ )(! ":Ii i!О! (! \ мента. Обста; тт q;«F -;ик:!. (с р ь(В а «(! (11« . *(у ч:-(О М,, з а ((»! ;31 Х !) В а и i l, Об(,(чн(- ко.-! От(3vf(flijя A .. «; и

3ает эег /т иi)!iн 1 -ji«0(3 3 «ii ) .. ; — !! 1!! :!! тучка т аким О;) разом.; !;) О, н-:„" . (овых то - . ек (! - «1(v т- .:!

r), Оетавтея Н«1<ОДВИж !Ой)

"(HI(т,P )i il«V (ОВЫС f <3 -1((Е

В идеальном с.:(yi I!е ко)!т-p:i «с"О .:

13<×Ê(I О (13Е) (; il)(O 1 (!:.i:IH(й

8 cл «д (т F! H t- )3 Lr()-" I б р ".(i о -, —,, и к, i;шF

gOP(HP<3FflI(<ИИ ПУЧКЕ-., КО!.;т- С)т ния мо l 3" т, -((1! (ри!(Г .3 О() ТВ Г т г " : вать пинии 5.

О(.ЫТ )К С (3! i: а! (((!! э((О(- I,i =,-;!» >< графических: .а - ОВО;", по.: а-,, т О. что наиболее : уществе(ны трт- .:.»«.-.

Ошибок, В()э ник ающи3< .. р((фс р;-«!,3. электронно! о пучка. "мехат(--.—:с,"i!, электро:-:но-опти-(ес-.Hй развот:о угол с одной части реально.. женил с вершиной то;се (3 тельно другой части этого же: изобр»жения с вершиной В точке 0; мас»к абное несоответствие между заданнь(к!( и фактическими размерами сечения. вызванное неточностью настройки регулирующих элементов в сис-ем!е управления; начальное смешение размE- ров сечения, вызванное погрешностя:. взаимной фиксадии диафрагм. а та- .;=;.

:-УЧ К.)еиг((;т,!т т -!а "-,Ii,(ä 7;

22 — 5., — 5,, - ..1 1,1-»,."» л» (6! рлжений (В) и (6) абнь1е коэффициенты

8, 715

ОТ

3 2» 1 (» (7! (1 (с3 О C I IOI! I3!!Hill БЫ

oII1ipделяются i с шт

О 3Б -1

73 . (2 ..2. ) ((ния, вить, что (г») (,H) (к

+ - — -3(лк Р

76) 1Н ) ! К !" К 3(ЗК)л

ВЬ1.-.ИСЛЕН IF Z

16) сн) где 1х, LK

i3 р. рхний H 13иж13ИЙ ное смещение

1;), X 73) КООО(,HI!яты ОПрЕ,ЦС. Ля1(11Г(ИР ",О ложение дя- ÷è.ê.à 2; (() координаты, ol1pеделяющ ip. Но1оже-:Hå датчика 3; средняя плотность тока в о пучке;

B„„ z — ширина полос датчиков, Гпособ предполагает 3ярьиров;.— ние каждого из размеров 1,(, L ня z

Д(3УХ jjPOBHRX: НИЖНЕМ П)3И КОТО»3()>1 злданный размер сечения пучка ранен

4, и верхнем, при котором заданный размер сечения пучка ранен 2Л. Клждому из четырех возможных со:.етаний размеров можно поставить н соо г— нетствие двойные индексы при обозначениях сигнллон: первая цифра индекса указывает на уровень размера „, вторая — на уровень размера )2, причем цифрой 1 обозначается нижн11й, я цифрой 2 — верхний уровень 13ярьиронания.

Учитывая (1) и (2), получим:

7i) с()

%21 9 -10 W3, (2) (ч» "(» 2 2

Отсюда следует, что (i )

6„ ((() ь, (1

Таким образом, угоë (Ol.ределяется отноп1ением приращений скгнялoB от первого и второго измерктельных элементов при варьировании размера

Важно отметить, что данное отношение не зависит от абсолютного значения г1лотнасти тока ), бл;, îдаря чему исключается В.IHяHие неcòÿбильности этого параметра и ошкоок ег.о измерения на точность определе-)!з соотношений (1) можно устано((1 К (»(3 5 варьирова«ия размера

L (k=1 2); соответствующий масштабный коэффициент; соотнетствующее началь (1 i 1 Ill . 1 () и (. 1 3с»учl»м

)!э Ill!p;.женпй (2) и (э) С.(1едуют соО 1 I! ОШ. 11(; Я (i 1 "3»-(и i1. С ((с» (111- (»Л СЛ)

i (»

52.- 53, i> i<. = i (», л,(с12 Gi Lg((lz 1»333 (), р, Oбр:! у1 котоpые можно получHть:

21), (11»(osб,— g 1-» Sia 5. з!

-" с»

11З, с»;(;(1» S(3»С» . (9) д ), лс

2 (1

Вели:H!!I»i 4,, О, представляют собс и начальные смешения рязмерон пуч,1 кя в системе координат Х (3X повер 1 Z»

H(p-,0H относ» тел1,но исходной на угол

31 с- -)1. Оси этой системы совпадают.со

c T 0 р 0 II и 0,113 i!. и 0 г о к з 0 б )1 я же и и я

-3ершиной в точке О

ВЕЛИЧ13НЫ Сл . а, ОПрсдЕЛяЮтея Обр "òным г.рс(брл 30 3лнием каордкнат

Зс С(: » 7! С 5 С- - 2 - (31 с», ;i-, »a(<(»(3 .+ 042 C(»s =л (! 0)

Все опе р лци1» способа Tip I Ko BBTo

:1<- Тl :ЗКРУ1ЕТCF С ПОМОЩЬЮ СИC ТЕМЫ УП рявления, Входящей в состян электро1 О. » ГP!1 0яф1» - = ской i(c! лновки (3J У )

)!pи»-. о:1 i!e требуется дополнительно 0 ооооу.)ог3".":Hя. тлк как в систеМ Л .: У П О 3 -». I; Н И Я У С Т Л Н О В3 К Я М И Д сз Н Н О Г O класса обычно имеется ЭВ)! с устройс гнами .313одя -вывода аналоговых сиг -;;:-ЛО» 1- Гсраг(эяММНЬН, ОбЕСПЕЧЕНИЕМ, позволяющим прокзводить необходимые

)!япример, сгссоб, основанный.на (ПОЛЬ ЗО В аНК(. Г П ЕЦИ(ЛЛЬНО ИЗ ГOTOB ленной мишен1»с» рясполагяемой на коОрдг3нятном стOле ЗП» вблизи ОднОЙ кз границ рабочего поля перемещения столя, осуществляется следую55 ш=:: образом,.

Практически требуемые размеры зоны,для размещения мкшени не пре Z

ВЬГ(1яшт (с1 ММ . ОНИ ОПрЕдвяяЮтСя

11 :!

° ! (т: 1 "! !

) hj! (О:

, ((I. !!

1 (3(li(;

-т

;.ill 1:— - 4И " t) 1205206

Составитель В. Гаврюшин

Редактор М. Дылын Техред С.Мигунова Корректор В. Синицкая

Заказ 8534/54 Тираж 678 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35,Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная,