Вакуумная система течеискателя

Вакуумная система течеискателя

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение относится к области контроля герметичности массспектрометрическим методом и позволяет повысить динамическую чувствительность испытаний. Масс-спектрометрическая камера выполнена с двумя центральными отверстиями, на которых установлены шлюзовые патрубки с кольцевыми уплотнениями. Вакуумная камера для размещения изделия выполнена в виде штока с полостью в центральной части, установленного в полостях масс-спектрометрической камеры и патрубков соосно с ними. Полости патрубков соединены с форвакуумным насосом, а полость штока сообщена с масс-спектрометрическо й камерой , соединенной с диффузионным и форвакуумным насосами. В верхнем положении штока помещают изделие, заполненное пробным газом, в его полость перемещают шток до размещения полости в (плюзовом патрубке для создания в ней форвакуума, затем перемещают далее до размещения полости с изделием в масс-спектрометрической камере и осуществляют контроль. Исключаются погрешности, вносимые соединительными магистралями. 2 кл. iiNd о 5

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

ОПИСАНИЕ ИЭОБРЕТ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

3ь

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

По ДЕЛАМ ИЭОИ ЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3795100/25-28 (22) 28.10.84 (46) 15.02.86.Бюл. М- 6 (72) Б.А.Гневковский, Б.В.Иванов, В.Ю.Миронов и В.В.Ухаботин (53) 620. 165.29(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

У 868135, кл. С О1 И 3/02, 1980. (54) ВАКУУМНАЯ СИСТЕМА ТЕЧЕИСКАТЕЛЯ (57) Изобретение относится к области контроля герметичности массспектрометрическим методом и позволяет повысить динамическую чувстви- . тельность испытаний. Масс-спектрометрическая камера выполнена с двумя центральными отверстиями, на которых установлены шлюзовые патрубки с кольцевыми уплотнениями. Вакуумная камера для размещения изделия вы„Я0„„1211617 А полнена в виде штока с .полостью в центральной части, установленного в полостях масс-спектрометрической камеры и патрубков.соосно с ними. По-, лости патрубков соединены с форвакуумным насосом, а полость штока сообщена с масс-спектрометрической камерой, соединенной с диффузионным и форвакуумным насосами. В верхнем оложении штока помещают изделие, заполненное пробным газом, в его полость перемещают шток до размещения полости в шлюзовом патрубке для создания в ней фарвакуума, затем перемещают далее до размещения полости с изделием в масс-спектрометрической камере и осуществляют контроль. Исключаются погрешности, вносимые соединительными магистралями. 2 ил.! 12)1

Изобретение относится к испытательной технике и может быть использовано для контроля герметичности вакуумных систем и изделий, работающих при перепадах давления. 5

Целью изобретения является повышение динамической чувствительности испытаний.

На фиг.l изображена вакуумная система течеискателя; на фиг,2 — lp масс-спектрометрическая камера в разрезе.

Вакуумная система течеискателя содержит цилиндрическую масс-спектрометрическую камеру 1, соединенные !s с ней диффузионный насос 2 и форвакуумный насос 3. Масс-спектрометрическая камера 1 выполнена с двумя центральными отверстиями 4 на торцевых поверхностях. Вакуумная каме- ур ра для размещения изделия 5 соединена с насосами 2 и 3 и масс-спектрометрической камерой l и выполнена в виде штока 6 с незамкнутой полостью 7 н центральной части для ус в 25 тановки изделия 5, фиксируемого и герметизируемого подпружиненным упором 8 и уплотнениями 9. Два шлюзовых патрубка 10 имеют каждый два кольцевых уплотнения ll, установ- 30 ленных па концах патрубков 10 на внутренних цилиндрических поверхностях. Патрубки 10 установлены на масс-спектрометрической камере 1 соосно с ней, и каждый патрубок 10 герметично соединен с краем отверстия 4 камеры 1. Шток 6 расположен н полостях масс-спектрометрической камеры 1 и патрубков 10 соосно с ними, Полости 12, образованные поверхнос — 4p тями штока 6 и патрубков 10 и кольцевыми уплотнениями 11, соединены с форвакуумным насосом 3. Внутри штока 6 выполнен канал 13 для подвода контрольного газа. Внутри масс-спек- 45 трометрической камеры 1 установлена улитка 14 коробчатого сечения, связанная с диффузионным насосом 2.

Устройство снабжено также контрольной течью 15. 50

Устройство работает следующим образом.

В верхнем положении штока 6 осуществляют установку испытываемого изделия 5, для чего отжимают подпружиненный упор 8, который благодаря действию пружин герметизирует изделие 5 уплотнениями 9. После это6!7 2 го поэтапно вводят изделие 5 в массспектрометрическую камеру 1, для чего вначале перестают откачивать полость !2, перемещают шток 6 вниз до положения, когда изделие 5 окажется в полости 12, затем ее начинают вакуумиранать и создают форвакуум, перемещают шток 6 вниз до упора. Камера 1 во время загрузки находилась н режиме высокого вакуума.

Включают ионизатор не показан и, подключив контрольную течь 15, производят определение статической чувствительности течеискателя с помощью известных методик. Затем по каналу 13 в иэделие 5 пускают контрольный газ и путем сравнения с сигналом от контрольной течи 15 опре деляют степень суммарной негерметичности изделия 5.

Извлечение изделия 5 из масс-спектрометрической камеры l производят в обратном порядке.

Использование данного устройства позволяет повысить динамическую чувствительность течеискателя, обусловленную исключением погрешностей, нносимых н процесс измерения самой проверяемой системой или иэделием, соединительными магистралями и пр.

Так, для течеискателя ПТИ-10 чувст— нительность испытаний увеличивается с 1.!О лмк/смн до 1.10 —

-б — !.!О ю лмк/св, что обеспечивает регистрирование течений, на 3 — 4 порядка меньших достоверно регистрируемых течей беэ применения данного устройства. формула изобретения

Вакуумная система течеискателя содержащая цилиндрическую масс-спектрометрическую камеру, соединенные с ней диффузионный и форвакуумный насосы и вакуумную камеру для размещения контролируемого изделия, соединенную с насосами и масс-спектрометрической камерой, о т л и ч а ю щ а я с я тем, что, с целью повышения динамической чувствительности испытаний, масс-спектрометрическая камера выполнена с двумя центральными отверстиями на торцовых поверхностях, вакуумная камера для размещения контралируемогo изделия н виде штока с незамкнутой полостью в центральной части, а устройство

121 161 7. снабжено двумя шлюзовыми патрубками, каждый из которых имеет два кольцевых уплотнения, установленных на концах патрубка на внутренней цилиндрической поверхности, патрубки установлены на масс-спектрометрической камере соосно с ней и каждый патрубок герметично соединен с краем отверстия камеры, шток располэ жен в полостях масс спектрометриче кой камеры и патрубков соосно с ними, а полости, образованные поверхностями штока и патрубков и кольцевыми уплотнениями, соединены с форвакуумным насосом.

1211617

Не фиг, 2

Составитель Л.Вихляев

Редактор М.Циткина ТехредС.Мигунова Корректор М.Демчик

Заказ 634/47 Тираж 778 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул.Проектная, 4