Способ обработки оптических деталей
Иллюстрации
Показать всеРеферат
СООЗ СОВЕТСКИХ
СОЦЬИИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК (19) (Щ (594 С 03 С
ГОСУДАРСТВЕННЬЙ КОМИТЕТ СССР
ГО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИИ И ОТКРЬП ИИ
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3790157!29-33 (22) 01.08.84 (46) 23.02. 86. Бюл. В 7 (72) В.П. Пушечников, В.П. Маслов, А.А. Дворский, А.П. Жузнева и Ю.В. Галанин (53) 666.1.05(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР
Ф 581105, кл. С 03 С 15/00, 1975.
Технология стекла. Под ред.
Китайгородского И.И. — М.: Стройиздат, 1967, с. 180-182. (54) (57) СПОСОБ ОБРАБОТКИ ОПТИЧЕСКИХ
ДЕТАЛЕЙ путем травления во фтористоводородной кислоте, о т л и ч а юш и и с я тем, что, с целью повышения скорости обработки, перед травлением детали выдерживают в этиловом спурте в течение 0,5-3 ч.
12997
Шероховатость обработанной поверхности,Яа
Скорость травления., мкм/мин
Способ травления— выдержка в этиловом спирте, ч
Паиме чан ие
До травления
После трав2 5-1
0,32--0,!б
На поверхности после
0,1б-0„08
0,5
2,5-1.,25 травления отсутствуют дефекты
2а5
0,08-0.04
3,0
0 08 О 04
2,5-1, 5
? 5-1 25 ...3- — 2
1 12
Изобретение относится к технологии оптического производства и может быть использовано в оптико-механической и электронной промышленности, например, при изготовлении трубок повышенной точности из свинцовосиликатного стекла для микроканальных пластин (МПК}.
Цель изобретения — повышение скорости обработки.
Цель достигается за счет того, что производят обработку предварительно выдержанных в этиловом. спирте в течение 0,5-3 ч оптических деталей из стекла следующего состава,Y: Si0< 40,2; A1 0@ 3,5; ВаО 10,, РЪО 41; Ма О 7, в растворе фторис "oBîäopoäHîé кислоты. Время травления измеряют секундомером с точностью до 1 с, съем контролируют индикатором часового типа с точностью
MKM .
Результаты сравнительных испытаний при обработке оптических деталей приведены в таблице.
Предлагаемый способ позволяет повысить скорость травления за счет того, что предварительно перед трав. левием оптические детали выдерживают в этиловом спирте з тече!Ние
0р5-3 ч.
Неорганические стекла относятся к достаточно инертным и химически устойчивым материалам. Однако, при известньп условиях проявляется повышенная физико-химическая активность поверхностных слоев стекла, заложенная в их природе. Стекло в ре.эультате своеобразия структурно-химического состояния поверхности отличается повышеяной свободной поверхностной энергией, в связи с чем по-. верхность такого материала проявлят склонность к адсорбции различных реагентов, особенно поверхностноактивных. Кроме того, стекло, обычно
"одержащее щелочные компоненты, в тай или иной мере гидролизуется с образованием на поверхности силанольнь1х SiOH и других реакционноспобных групп, стимулирующих появление
10 на поверхности энергетически неуравновешенных хемосарбционных центров. Следовательно, химическая обработка поверхности стекла основывается на сложной совокупности яв— лений, обусловленных физико-химическими превращениями.
По предлагаемому способу молеку:-ы спирта, проникая в микрстрещины поверхностного слоя стекла и одно2п временно являясь растворителем для солей, образовавшихся на поверхности стекла в результате травления, способствуют более интенсивной обработке в растворе HF из-эа растворе-!
5 ния солевого слоя.
При травлении эа счет разрыва связей кремнеэемного остова стекла (Si0 ) температура на ювенильной поверхэос-:è оптических материалов повышается
"-"ò;èëîHûé спирт, находящийся в порах микротрещин, способствует, за
".чет растворения, отслаиванию солеэог0 слоя от поверхности детали, что приводит к повышению скорости
М травления, а следовательно, и производительности обработки. Кроме того, при высоких скоростях травления
:: †:е проявляется структурная неоднороднасгь оптических материалов и каф о чество обрабо-.à.ííîé поверхности при
": òîм улучшав т ся .