Устройство для фоторазметки линейных шкал

Устройство для фоторазметки линейных шкал

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИН

OllHCAHNE ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕБЪСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3744740/24-21 (22) 21 ° 05.84 (46) 23.02.86. Бюл. ¹ 7 (71) Ленинградский электротехнический институт им. В.И.Ульянов а (Ленина) (72) В.Г.Брыков, П.В.Мелехов и Ю.В.Филатов (53) 53.087.6(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 993335, кл. G 12 В Il/02, 29.04.81. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ФОТОРАЗИЕТКИ

ЛИНЕЙНЫХ ШКАЛ (57) Изобретение относится к облас; ти приборостроения, в частности к

; изготовлению шкал дифракционных

„„SU„„1213504 A

151>4 G 12 В 11/02 решеток. Цель изобретения — повышение точности разметки. Пучки света источника 1 через светоделители 5, 6 и 7 и электрические затворы ll попадают на отражатель

4 под углом о и на отражатель 12 под нулевым углом падения. Двуплечий интерферометр, образованный светоделителем 7 и отражателями 4 и 12, подает в блок 10 управления информацию о разности фаз лучей,r образующих растр. Разметка производится экспонированием светочувствительного слоя заготовки 3 при сдвиге платформы 2 на один период размеченной шкалы (шаг растра) .

1 ил.

1213504

N=n m, Изобретение относится к приборостроению, а именно к устройствам для изготовления шкал, диф ракционных решеток, кодовых элементов.

Цель изобретения — повышение точности разметки шкал с любым значением величины шага.

На чертеже изображена схема устройства для фоторазметки линейных шкал.

Устройство содержит источник 1 когерентного света с плоским волновым фронтом, задающий лучом оптическую ось устройства, подвижную вдоль оптической оси платформу

2 с держателем 3 для заготовки со светочувствительным слоем, отражатель 4, закрепленный ка платформе

2, расположенные на оптической оси светоделители 5-7, отражатель 8 и фотоприемник 9, расположенные по ходу разделенных светоднлетелем

7 лучей, блок 10 управления, представляющий собой делитель частоты периодического сигнала (например

:ИКЭ-15), электрически подключенный к выходу фотоприемника 9, два электрооптических затвора 11, электрически подключенные к выходу блока 10 управления, расположенные по ходу разделенных светоделителями 5 и 6 лучей, сходящихся на поверхности держателя, отражатель

12, расположенный перпендикулярно лучу, отраженному отражателем 4, причем отражатель 4 крепится под определенным углом Т, а отражатель 12 - под углом 2 Itк оптической оси устройства.

Угол определяется следующим образом:

$ =с ecos.) — Д (1) где М вЂ” длина волны света источника, — период размечаемой шкалы, И вЂ” целое число.

Функцию блока управления выполняет делитель частоты периодичес» кого сигнала. Коэффициент деления соответствует величине N, при этом где n — - целое число, соответствующее выражению !1);

m — целое число, показатель перекрытия экспонированных участков шкалы.

Устройство работает следующим образом.

Источник 1 света посыпает пучок света через светоделители 5, 6 и 7 на отражатель 4 под определенным углом падения 7 и на отражатель 12 под нулевым углом падения.

Основные светоделители 5 и 6 направляют отделенные пучки света через электрооптические затворы ll в область начала разметки шкалы, для формирования растра (локальной шкалы) на светочувствительном слое. Двухлучевой интерферометр, образованный светоделителем 7 и отражателями 4 и 8, через фотоприемник 9 дает в блок 10 управления информацию о разности фаз лучей, образующих растр. Разметка производится экспонированием светочувствительного слоя при сдвиге платформы 2 на один (или несколько) период размечаемой шкалы (шаг растра), При движении платформы 2 экспонирование производится автоматически, так как блок 10 управления короткими импульсами открывает электрооптические затворы. 11 в моменты времени, когда сдвиг платформы 2 (измеренный интерферометром по разности фаз) точно кратен периоду размечаемой шкалы.

Формула изобретения

Устройство для фот ор азметки линейных шкал, содержащее источник когерентного света, подвижную вдоль оптической оси платформу с держателем для заготовки со светочувствительным слоем, отражатели луча, расположенные на оптической оси светоделители, блок управления, фотоприемник, электрооптические затворы, при этом один отражатель закреплен на платформе, другой отражатель и один из светоделителей образуют двухлучевой интерферометр, оптический выход которого связан с входом фотоприемника, а выход фотоприемника через блок управления электрически подключен к .электрооптическим затворам, расположенным по ходу отделенных светоделителями лучей, Составитель А.Ейясеев

Редактор Н.Гунько Техред.С.Мигунова Корректор M....Самборская

Заказ 784/59

Тираж 486 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 сходящихся на поверхности держателя, отличающееся тем, .что, с целью повышения точности разметки шкал с любым значе.нием величины шага, оно снабжено !

1213504 4 дополнительным отражателем, расположенным перпендикулярно лучу, отраженному закрепленным на платформе отражателем, который расположен под углом к оптической оси.