Способ абразивной обработки оптических деталей из кварцевого и силикатных стекол и кристаллического кварца

Способ абразивной обработки оптических деталей из кварцевого и силикатных стекол и кристаллического кварца

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК

„.SU, 1219325 (SD 4В 24 В 13 00

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н ABTOPGHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

75-85

95-97 (21) 3831351/25-08 (22) 15.01.85 (46) 23.03.86. Бюл. N 11 (71) Ордена Трудового Красного Знамени институт физики АН БССР .(72) Э.Н. Морозова, И.А. Морозов и Э.А. Смирнова (53) 621.923.5(088.8) (56) Сулим А.В. Производство оптических деталей. M. Высшая школа, 1975, с. 164-1 73.

Технология оптических деталей/Под ред. М.Н. Семибратова. И.: Машиностроение, 1978, с. 141, 147, 198, 201. (54)(57) СПОСОБ АБРАЗИВНОЙ ОБРАБОТКИ ОПТИЧЕСКИХ ДЕТАЛЕЙ ИЗ КВАРЦЕВОГО

И СИЛИКАТНЫХ СТЕКОЛ И КРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КВАРЦА, включающий шлифование и полирование абразивными суспензиями, отличающийся тем, что, с целью повьппения качества и выхода годных оптических деталей и эффективности процесса абразивной обработки деталей, шлифование ведут абразивными суспензиями при следующем соотношении компонентов, мас.%:

Электрокорунд зернистостью 28-10 мкм 15-25 (0,5-1,5)X-ныл раствор едкого натра или едкого кали в электроактивированной воде с рН 8-14 а полирование осуществляют суспензией при соотношении компонентов, мас. Е:

Полирит 3-5

Электроактивированная вода рН 8-10

1219325

+Н, 0+0+ 6 (2) 1

Изобретение относится к области технологии оптического производства и может быть использовано в оптико-механической, электронной и медицинской промышленности при изготовлении оптических деталей из кварцевого и силикатных стекол и кристаллического кварца °

Цель изобретения — повьппение качества и выхода годных оптических деталей из кварцевого и силикатных стекол и кристаллического кварца и повьппение эффективности процесса абразивной обработки деталей.

В процессе шлифования при диспергирующем действии абразивных зерен на стекле, содержащем в своем составе в основном окись кремния, получается атомарно-чистая поверхность, Водный раствор щелочи — едкого натра или едкого кали (вода обычная) снимает поверхностный рельефный слой стекла, постепенно переводя окись кремния в раствор по реакции

Б -0 +2 КОН вЂ” Кг Я .Оз+Н 0 (1) При концентрации щелочи менее

0,57 процесс растворения становится малоэффективным, особенно для кварцевого стекла и кристаллического кварца. При концентрации щелочи более 1,5Х усиливается растравливание приповерхностного слоя, появляется сетка царапин, т.е. качество шлифования снижается. В результате применения раствора щелочи на обычной воде напряжения в стекле не снимаются.

Электроактивированная вода с рН 8-14, насыщенная гидроксильными группами OH, вследствие своей подвижности легко проникает в скрытый трещиноватый слой стекла и вымывает продукты гидролиза стекла из грещин.

Процесс удаления продуктов гидролиза и растворения окиси кремния сильно активизируется при применении электроактивированной воды со щелочью, что можно выразить химической реакцией

28х02+2КОН+20Н К, S10, +Н, S >0, +

Из реакции (2) видно, что кроме растворимого силиката калия, в зоне обработки образуется кремневая кислота, которая способствует ускорению процесса шлифования стекла.

Раствор щелочи на злектроактивиpoBGHHoH воде, насьпценной гидроксильными группами, удаляя продукты гидролиза из трещин стекла, снимает расклинивающий эффект и релаксирует напряжения в стекле.

При рН воды менее 8 процесс сводится к реакции (1), т.е. раствор щелочи на такой воде снимает только поверхностный рельефный слой стекла. В этом случае нельзя получить качественные шлифованные поверхности,так как не полностью удаляется упругонапряженная зона, являющаяся причиной деформации обработанных поверхностей.

Действие раствора щелочи на электроактивированной воде рН менее 8 аналогично действию раствора щелочи на обычной воде (cM, реакцию I) .

Электрический заряд, возникающий при восстановлении воды из гидроксильных групп (реакция 2), способствует удержанию абразивных зерен электрокорунда в зоне обработки. В результате продолжительность работы зерен абразива в процессе шлифования увеличивается. При этом зерна абразива, диспергируя обрабатываемую поверхность, одновременно разрушаются сами, способствуя тем самым образованию менее нарушенного приповерхностного слоя стекла и повышая качество обрабатываемой поверхности.

Атомарный кислород, являясь сильным окислителем, разрушающе действует на продукты диспергирования, гидролиза и органические примеси, особенно жировые; попадающие в зону обработки и препятствующие физико-химическому действию раствора щелочи на стекло.

Электрический заряд и атомарный кислород, образующиеся в зоне обработки, активно участвуют в перераспределении напряжений в приповерхностной зоне обрабатываемой детали.

Таким образом, раствор щелочи в электроактивированной воде, действуя на стекло и активно способствуя удалению нарушенного слоя, оказывает существенное влияние на перераспределение напряжений в обрабатываемых деталях. Отсюда повышаются качество, выход годных деталей и эффективность процесса шлифования, особенно при обработке высокоточных оптических поверхностей.

Применение электроактивированной воды рН 8-10 в качестве жидкой составляющей полировальной суспензии способствует развитию различных физико-химических процессов, в результате чего улучшается качество обрабатываемых поверхностей, повышаются выход годных деталей и эффективность процесса полирования. B частности, электроактивированная вода, как и в случае шлифования, легко проникает в трещиноватый слой обрабатываемой поверхности, обладая при этом повышенной растворимой способностью по отношению к продуктам гидролиза стекла и способствуя тем самым получению бездефектного

I приповерхностного слоя стекла.

Электроактивированная вода, насыщенная гидроксильными группами, способствует также образованию связей,стекло-абразив-инструмент, в результате чего процесс полирования ускоряется.

При рН воды менее 8 действие электроактивированной воды на стадии полирования аналогично действию обычной воды. При рН более 10 образующиеся гидроксильные группы усиливают прилипание полирита к поверхности смоляного полировальника, а сильнощелочная среда способствует омылению его поверхности. Качество полированных поверхностей снижается за счет появления царапин.

Электроактивирование воды производится в электролизере в зоне отрицательного электрода при плотности постоянного тока 0,2-0 5 А/дм плоl щади электрода. Для активирования используется водопроводная фильтрованная вода, При электроактивировании происходит диссоциация воды со значительным поглощением тепла:

Н,О + 368 ккал = (Н ) + (ОН ).

После электроактивирования вода насыщена свободными гидроксильными группами ОН, которые участвуют в химическом удалении стекла с обрабатываемой поверхности, а также в восстановлении молекул воды с выделением тепла

20Н = Н,O+ О+ 368 ккал+е.

Выделившееся тепло участвует в тепловом балансе процесса обработки стекла.

Отрицательно заряженные ионы гидроксида, атомарный кислород, а также электрический заряд, образующийся при восстановлении воды из гидрокси5 ла способствуют удержанию абразивного микропорошка в зоне обработки, удалению органических примесей. Резко сокращается расход полирита с одновременным получением качественных поверхностей.

Сравнительные испытания известного и предлагаемого способов абразивной обработки проводят на ллоскопараллельных пластинах из: кварцевого стекла КВ диаметром

20 мм, толщиной 2 мм (соотношение толщины к диаметру детали 1:10), к полированным поверхностям которых предъявляются следующие требования:общая о шубка формы поверхности N =

= 0,3-0,5 интерференционной полосы, местная ошибка формы поверхности и И = 0,15 — 0,25 интерференционной полосы, класс чистоты Р=4; силикатного стекла К8 диаметром

10 мм, толщиной О, 1 мм (соотношение толщины к диаметру детали 1:100), к полированным поверхностям которых предъявляются следующие требования: общая ошибка формы поверхности И=0,5

30 интерференционной полосы, местная ошибка формы поверхности AN=0,2 интерференционной полосы, класс чистоты Р=4; кристаллического кварца размером

16х16, толщиной 0,175 мм (соотношение толщины к стороне детали 1:90), к полированным поверхностям которых предъявляются следующие требования: общая ошибка формы поверхности N=O 3

4О интерференционной полосы, местная ошибка формы поверхности 6N=O 1 интерференционной полосы, класс. чистоты Р=4.

Шлифование и полирование деталей

45 проводят на шлифовально-полировальных станках типа ЗШП вЂ 3 и 5 ШПУ-200 по технологии, принятой в оптико-механической промышленности.

B таблице приведены результаты испытания известного и предлагаемого способов абразивной обработки стекла.

Из таблицы видно, что детали, обработанные по предлагаемому спо55 собу, имеют более высокое качество как шлифованной, так и полИрованной поверхности, по сравнению с деталями,. обработанными по известному способу.

1219325

Так, глубина нарушенного слоя F после шлифования абразивными порошками зернистостью 28-10 мкм по предлагаемому способу примерно в два раза меньше, чем у деталей, шлифованных известным способом. Та же закоГ

Способ обработки Структура техпрацесса и применяе- Результаты испытаний мые материалы

Шлифование абразивным микропорошком электрокорунда зернистостью

28 мкм в присутствии воды в качестве жидкой составляющей абразивной суспензии

Известный (детали из кварцевого стекла) Глубина нарушенного слоя F = 37 мкм, шероховатость.поверхности

R = 1,25 мкм

Шлифование абразивным микропорошком электрокорунда зернистостью

20 мкм в присутствии воды.

25 мкм, R = 0,94 MKM

Шлифование абразивным микропорошком электрокорунда зернистостью

10 мкм в присутствии воды.

F = 11 мкм, R = 0,32 мкм

Полирование полиритом в присутствии воды при содержании твердой составляющей 9-11 мас.7 н жидкой составляющей 89-91 мас.7

Шероховатость поверхности R = 0,05 мкм, N= 0,5 vgN =0,2 интерференционной полосы, Р=4, выход годных 727

23 мкм

0,9 мкм

14 мкм, 0,63 мкм

7 мкм, 0,16 мкм

Предлагаемый с нижними пределами содержания электрокорунда, концентрации щелочи и рН воды в абразивной суспенэии для шлифования, нижними пределами содержаГ) ния полирита и рН воды в полировальной суспензии (детали из кварцевого стекла) номерность наблюдается и по шероховатости шлифованных поверхностей.

Уменьшение глубины нарушенного слоя сказывается наповышении качестваполи5 рованных поверхностей, а следовательно ина новышениивыхода годных деталей.

Шлифование абразивным микропорошком электрокорунда зернистостью

28 мкм в присутствии 0,57-ного раствора едкого кали в электроактивированной воде рН 8 при содержании твердой составляющей

15 мас.7, жидкой составляющей

85 мас.X

Шлифование абразивным микропорошком электрокорунда зернистостью

20 мкм в присутствии 0,57-ного раствора едкого кали в электроактивированной воде рН 8 при содержании твердой составляющей

15 мас.7., жидкой составляющей

85 мас.7

Шлифование абразивным микропорошком электрокорунда зернистостью

10 мкм в присутствии 0 57.-ного раствора едкого кали в электроактивированной воде рН 8 при содержании твердой составляющей

15 мас.7., жидкой составляющей

85 мас.7!

2!9325

F = --24 мкм, В. = 0,94 мкм

13 мкм, R = 0,63 мкм

Г = 6 мкм, R = О, !6 мкм

20 мкм, 0,94,мкм

12 мкм, 0,63 мкм а

Предлагаемый с нижними пределами содержания электрокорунда, концентрации щелочи и рН воды в абразивной суспензии для шлифования, нижними пределами содержания полирита и рН воды в полировальной суспензии (детали из кварцевого стекла) Предлагаемый с верхними пределами содержания электрокорунда, концентрации щелочи и рН воды в абразивной суспензии для шлифования, верхними пределами содержания полирита и рН воды в полировальной суспензии (детали из кварцевого стекла) Полирование полиритной суспенэией, жидкой составляющей которой .является электроактивированная вода рН 8, при содержании твердой составляющей 3 мас. 7, жидкой составляющей 97 мас.Х

Шлифование абразивным микропорошком электрокорунда зернистостью

28 мкм в присутствии 0,57-ного раствора едкого натра в электро-. активированной воде рН 8 при содержании твердой составляющей

15 мас.Х, жидкой составляющей

85 мас.%

Шлифование абразивным микропорошком электрокорунда зернистостью

20 мкм в присутствии 0,5Х-ного раствора едкого натра в электроактивированной воде рП 8 при содержании твердой составляющей

15 мас.7, жидкой составляющей

85 мас.%

Шлифование абразивным микропорошком электрокорунда зернистостью

10 мкм в присутствии 0,57-ного раствора едкого натра в электроактивированной воде рН 8 при содержании твердой составляющей 15 мас.Х, жидкой составляющей 85 мас.7.

Полирование полиритной суспензией, жидкой составляющей которой является электроактивированная вода pFI 8, при содержании твердой составляющей 3 мас.7, жидкой составляющей 97 мас.7

Шлифование абразивным микропорошком электрокорунда зернистостью

28 мкм в присутствии 1,57-ного раствора едкого кали в электроактивированной воде рН 14 при содержании твердой составляющей в количестве 25 мас.% жидкой составляющей 75 мас.7.

Шлифование абразивным микропорошком электрокорунда зернистостью

20 мкм в присутствии 1,5Х-ного раствора едкого кали в электроактивированной .воде рН 14 при содержании твердой составляющей

25 мас.%, жидкой составляющей

75 мас.7

Продолжение таблицы з

R = 0 025 мкм, N=O 1-0,2 и

gN=0,05-0,! интерференционной полосы, Р=2-3, выход годных

97, 17

К = 0,025 мкм, N = 0,1-0,2 и N=O, 05-0, t интерференционной полосы, Р=З, выход годных

98,4%

l219325

F = 5 мкм, R = 0 16 мкм

У = 21 MKMð

R = 0,94 мкм

Р = 1 1 мкм

R 0,63 MKM

F = 5,5 мкм, R = 0,16 мкм

F =20 мкм, R = 0 94 мкм

Предлагаемый с верхними пределами содержания элект-. рокорунда, концентрации щелочи и рН воды в абразивной суспензии для шлифования, верхними пределами содержания полирита и рН воды в полировальной суспензии (детали из кварцевого стекла) Предлагаемый с нижним пределом содержания электрокорунда и верхними пределами концентрации щелочи и рН воды в абразивной суспензии для шлифоваШлифование абразивным микропорошком электрокорунда зернистостью

10 мкм в присутствии 1,57.-ного раствора едкого кали в электроактивированной воде рН 14 при содержании твердой составляющей

25 мас.X жидкой составляющей

75 мас.X

Полирование полиритной суспензией, жидкой составляющей которой является электроактивированная вода рН 10, при содержании твердой составляющей 5 мас.7, жидкой составляющей 95 мас.7

Шлифование абразивным микропорошком электрокорунда зернистостью

28 мкм в присутствии 1,5%-ного раствора едкого натра в электроактивированной воде рН 14 содержании твердой составляющей

25 мас.7., жидкой составляющей

/5 мас.X

Шлифование абразивным микропорошком электрокорунда зернистостью

20 мкм в присутствии 1,5Е-ного раствора едкого натра в электроактивированной воде рН 14 при содержании твердой составляющей

25 мас.X жидкой составляющей

75 мас.7.

Шлифование абразивным микропорошком электрокорунда зернистостью I0 мкм в присутствии 1,57.-ного раствора едкого натра в электроактивированной воде рН 14 при содержании твердой составляющей в количестве ?5. мас.7, жидкой составляющей 75 мас.%

Полирование полиритной суспензией, жидкой согта ляющей которой является электроак.тивированная вода рН 10, при содержании твердой составляющей 5 мас.7, жидкой составляющей 95 мас.Е

Шлифовапие абразивным микропорошком электрокорунда зернистостью

28 мкм в присутствии 1,57-ного раствора едкого кали в электроактивированной воде рН 14 при содержании твердой составляющей

15 мас.%, жидкой составляющей

85 мас,X

10 ф

Продолжение таблицы

R = 0,025 мкм, N = 0,1-0,2 и йИ=0,05-0,1 интерференционной полосы, P=3, выход годных

98,0%

N = 0,1-0,2 и

aN=0,05-0,1 интерференционной полосы, Р=З, выход годных

97,8%

1219325

Г = 12 мкм, R = 0,63 мкм

Г = 5 мкм, R =-0 16 мкм

Шлифов ан ком элек

10 мкм в раствора активиро держании

15 мас.%

85 мас.%

F = 22 мкм, Но= 0,94 .мкм мкмжд

Р = 0,63 мкм

F = 5 мкм, R = 0,16 мкм ния, нижним пределом содержания полирита и верхним пределом рН воды в полировальной суспензии (детали из кварцевого стекла) Предлагаемый с нижними пределами содержания электрокорунда и концентрации щелочи, верхним пределом рН воды в абразивной суспензии для шлифования, верхним пределом содержания полирита и нижним пределом рН воды.в полировальной суспензии (детали из кварцевого стекла) Шлифование абразивным микропорошком электрокорунда зернистостью

20 мкм в присутствии 1,5%-ного раствора едкого кали в электроактивированной воде рН 14 при содержании твердой составляющей

15 мас.%., жидкой составляющей

85 мас.% ие абразивным микропороштрокорунда зернистостью присутствии 1,5%-ного едкого кали в электрованной воде рН 14 при сотвердой составляющей жидкой составляющей

Полирование полиритной суспензией, жидкой составляющей которой является электроактивированная вода рН 10, при содержании твердой составляющей 3 мас.%, жидкой составляющей 97 мас.%

Шлифование абразивным микропорошком электрокорунда зернистостью

28 мкм в присутствип 0,5%-ного раствора едкого кали в электроактивированной воде рН 14 при содержании твердой составляющей

15 мас.%, жидкой составляющей

85 мас.%

Шлифование абразивным микропорошком электрокорунда зернистостью

20 мкм в присутствии 0,5%-ного раствора едкого кали в электроактивированной воде рН 14 при содержании твердой составляющей

15 мас.%, жидкой составляющей

85 мас,%

Шлифование абразивным микропорошком электрокорунда зернистостью

10 мкм в присутствии 0,5% †но раствора едкого кали в электроактивированной воде рН 14 при содержании твердой составляющей

15 мас.%, жидкой составляющей

85 мас.%

Полирование полиритной суспензией, жидкой составляющей которой является электроактивированная вода рН 8, при содержании твердой составляющей 5 мас.%, жидкой составляющей 95 мас.%

Продолжение таблицы

R = 0,025 мкм, N = 0.1-0,2 и

Д И=О, 05-0, 1 ш терференционной полосы, Р=2-3, выход годных

98,2%

R = 0,025 мкм, N = 0,1-0,2 и лИ=0,05-0,1 интерференционной полосы, Р=2-3, выход годных

97,9%

1219325

F = 21 мкм, R 0,94 мкм

85 мас.

F = 13 мкм, R = 0,63 мкм

Р=бмкм, О, 16 мкм

F = 23 мкм, К = 0,94 мкм

Г = 14 мкм, R = 0,63 MKM

F = 7 мкм, R = 0,16 мкм

Предлагаемый с нижним пределом содержания электрокорунда, верхним пределом концентрации щелочи и нижним пределом рН воды в абразивной суспензии для шлифования, нижним пределом содержания полирита и верхним пределом рН воды в полировальной суспензии (детали из кварцевого стекла) Предлагаемый с верхним пределом содержания электрокорунда, нижними пределами концентрации щелочи и рН воды в абразивной суспензии для шлифования, верхним пределом содержания полирита и рН воды в полировальной суспензии (детали из кварцевого стекла) Шлифование абразивным микропорошком электрокорунда зернистостью

28 мкм в присутствии 1,5 -ного раствора едкого кали в электроактивированной воде рН 8 при содержании твердой составляющей

15 мас, жидкой составляющей

Шлифование абразивным микропорошком электрокорунда зернистостью

20 мкм в присутствии 1,5 -ного раствора едкого кали в электроактивированной воде рН 8 при содержании твердой составляющей

15 мас.7, жидкой составляющей

85 мас.

Шлифование абразивным микропорошком электрокорунда зернистостью

10 мкм в присутствии 1,57.-ного раствора едкого кали в электроактивированной воде рН 8 при содержании твердой составляющей

15 мас.7, жидкой составляющей

85 мас.7

Полирование полиритной суспензией, жидкой составляющей которой является электроактивированная вода рН 10, при содержании твердой составляющей в количестве

3 мас. %, жидкой составляющей

97 мас.7

Шлифование абразивным микропорошком электрокорунда зернистостью

28 мкм в присутствии 0,5%-ного раствора едкого кали в электроактивированной воде рН 8 при содержании твердой составляющей

25 мас.7., жидкий составлчющей

75 мас. .

Шлифование абразивным микропорошком электрокорунда зернистостью

20 мкм в присутствии 0,5 -ного раствора едкого кали в электроактивированной воде рН 8 нри содержании твердой составляЮщей

25 мас.7, жидкой составляющей

75 мас. .

Шлифование абразивным микропорошком электрокорунда зернистостью

10 мкм в присутствии 0,5 -ного

Продолжение таблицы

К = 0,025 мкм, И = 0,1-0,2

4N 0,05 интерференционной полосы, Р=2-3, выход годных 98,0%

1219325

F =21 мкм, R = 0,63мкм

F = 13 мкм

R = 0,63 мкм

Р=бмкм, R=016ìêM д 9

21 мкм, 0,94 мкм

12,8 мкм, 0,63 мкм

Предлагаемый со средними значениями содержания электрокорунда, концентрации щелочи и рН воды в абразивной суспензии для шлифов ания, а также полирита и рН воды в полировальной суспензии (детали из кварцевого стекла) Предлагаемый со средними значениями содержания электрокорунда, концентрации щелочи и рН воды в абразивной суспензии для шлифования, а также полирита и рН воды в полировальной суспензии едкого кали в электроактивировапной воде рН 8 при содержании твердой составляющей 25 мас.Х, жидкой составляющей 75 мас.7.

Полирование полиритной суспензией, жидкой составляющей которой является электроактивированная вода рН 10, при содержании твердой составляющей 5 мас. Х, жидкой составляющей 95 мас.%

Шлифование абразивным микропорошком электрокорунда зернистостью

28 мкм в присутствии 17.-ного раствора едкого кали в электроактивированной воде рН 11 при содержании твердой составляющей 20 мас.7., жидкой составляющей 80 мас.7.

Шлифование абразивным микропорошком электрокорунда зернистостью

20 мкм в присутствии 1%-ного раствора едкого кали в электроактивированной воде рН 11 при содержании твердой составляющей 20 мас.7, жидкой составляющей 80 мас.%

Шлифование абразивным микропорошком электрокорунда зернистостью

10 мкм в присутствии 17-ного раствора едкого кали в электроактивированной воде рН 11 при содержании твердой составляющей 20 мас.Х, жидкой составляющей 80 мас.Х

Полирование полиритной суспензией, жидкой составляющей которой являе гся электроактивированная вода рН 9, при содержании твердой составляющей

4 мас.7, жидкой составляющей

96 мас.Х

Шлифование абразивным микропорошком электрокорунда зернистостью

28 мкм в присутствии 17-ного раствора едкого натра в электроактивированной воде рН 11 при содержании твердой составляющей

20 мае.Х, жидкой составляющей

80 мас.%

Шлифование абразивным микропорошком электрокорунда зернистостью

20 мкм в присутствии 1%-ного

16

Продолжение таблицы

R = 0 025 мкм9

N = 0,1-0,2 и

AN--0,О5-О,1 интерференционной полосы, Р=2-3, выход годных

98,1Х

0,025 мкм, N = 0 1-О,2 и

ЛИ=0,1 интерференционной полосы, Р=2-3, выход годных 97,97

12!9325!

I (детали из кварцевого стекла) F = 5,9 мкм, R = 0,16 мкм

Р = 35 мкм, К = 0,94 мкм

F = 21 мкм, R = 0,63 мкм

F = 10 мкм, R<= 0,16 мкм

Предлагаемый с пониженными значениями содержания электрокорунда, концентрации щелочи и рН воды в абразивной суспензии для шлифования, а также полирита и рН воды в полировальной суспензии (детали из кварцевого стекла) раствора едкого натра в электроактивированной воде рН 11 прй содержании твердой составляющей

20 мас.%, жидкой составляющей

80 мас.X

Шлифование абразивньм микропорошком электрокорунда зернистостью

10 мкм в присутствии 1%-ного раствора едкого натра в электроактивированной воде рН 11 при содержании твердой составляющей

20 мас.7, жидкой составляющей

80 мас.X

Полирование полиритной суспензией, жидкой составляющей которой явля— ется злектроактивированная вода рН 9, при содержании твердой составляющей 4 мас.7, жидкой составляющей 96 мас.%

Шлифование абразивньм микропорошком электрокорунда зернистостью

28 мкм B присутствии 0,25%-ного раствора едкого кали в электроактивированной воде рН 7,5 при содержании твердой составляющей

10 мас.7, жидкой составляющей

90 мас.X

Шлифование абразивным микропорошком электрокорунда зернистостью

20 мкм в присутствии 0,25%-ного раствора едкого кали в электроактивированной воде рН 7 5 при содержании твердой составляющей

10 мас.7., жидкой составляющей

90,ас. 7.

Шлифование абразивным микропорошком электрокорунда зернистостью

10 мкм в присутствии 0,25%-ного раствора едкого кали в электроактивированной воде рН 7,5 при содержании тверцой составляющей

10 мас.7, жид îé составляющей

90 мас.%

Полирование полиритной суспензией, жидкой составляющей которой является электроактивированная вода рН 7,5, .при содержании твердой составляющей 3 мас.7, жидкой составляющей 98 мас.%

Продолжение таблицы, К = 0,025 мкм, N = 0,1-0 2 и

dN=0, 1 интерференциОннои поло сы, Р= 2-3, выход годных 97,8%

R = 0,05 мкм, N = 0 4-0 5 и йИ=0,1-0,2 интерференционной полосы, Р=3-4, выход годных 83,67!

219325

20

3 ями содержания ми значениями соПолирование полиритной суспензией, жидко 1 составляющей которой является электроактивированная вода рН 11, при содержании твердой составляющей 6 мас.Х, жидкой составляющей 94 мас.7

Шлифование абразивным микропорошком электрокарунда зернистостью

28 мкм в присутствии 17.-ного раствора едкого кали в электроактивированной воде рН i1 при содержании твердой составляющей

20 мас.7., жидкой составляющей

80 мас.7

Шлифование абразивным микропорошком электрокорунда зернистостью

20 мкм в присутствии 17-ного раствора едкого кали в электро. активированной воде рН 11 при содержании твердой составляющей

20 мас.7., жидкой составляющей

80 мас.7

19 мкм, 0,94 мкм зии для шлифования, 10 мкм, 0,63 мкм

5 мкь., 0,16 мкм

Предлагаемый с повышенными значениэлектрокорунда, концентрации щело" чи,верхним пределом рН воды в абразивной суспенэии для шлифования, а также с повышенныдержания полирита и рН воды в полировальной суспензии (детали из кварцевого стекла) Предлагаемый со средними значениями содержания электрокорунда, концентрации щелочи и рН воды в абразивной суспена также полирита и рН воды в полировальной суспензии (детали из силикатного стекла К8)

Шлифование абразивным микропорошком электрокорунда зернистостью

28 мкм в присутствии 21-ного раствора -едкого кали в электроактивированной воде рН 14 при содержании твердой составляющей

30 мас ° 7., жидкой составляющей

70 мас,7

Шлифование абразивным микропорошком электрокорунда зернистостью

20 мкм в присутствии 27.-ного раствора едкого кали в электроактивированной воде рН 14 при содержании твердой составляющей

30 мас.7., жидкой составляющей

70 мас.7

Шлифование абразивным микропорошком электрокорунда зернистостью

10 мкм в присутствии 27-ного раствора едкого кали в электроактивированной воде рН 14 при содержании твердой составляющей

30 мас.7, жидкой составляющей

70 мас,7.

Шлифование абразивным микропорошком электрокорунда зернистостью

10 мкм в присутствии 17-ного раствора едкого кали в электроактивированной воде рН 11 при

Продолжение таблицы

F = 20 мкм, R = 0,94 мкм, одиночные царапины

Г =- 11 мкм, R = 0,63 мкм, следы растравливания в виде отдельных царапин

F = 5 мкм, R = 0,16 мкм, сетка царапин — 0,025 мкм, И = 0,2 и,@ И = 0,1 интерференционной полосы, Р=6, выход годных (Р=4) 327

1219325

18 мкм, 0,94 мкм

10,5 мкм, 0,63 мкм

R = о, катного стекла

К8) Г = 4 мкм, Е 0,16 мкм

F = 22 мкм, R = 0 94 мкм

Предлагаемый со средними значениями содержания электрокорунда, концентрации щелочи и рН воды в абразивной суспензии для шлифования, а также полирита и рН воды в полировальной суспензии (детали из силиПредлагаемь«й со средними значениями содержания электрокорунда, концентрата щелочи и рН воды в абразивной суспензии для шлифования, а таксодержании твердой составляющей

20 мас.7, жидкой составляющей

80 мас.7

Полирование полиритной суспензией, жидкой составляющей которой

1 .является электроактивированная вода рН 9, при содержании твердой составляющей 4 мас.%, жидкой составляющей 96 «ас.%

Шлифование абразивным микропорошком электрокорунца зернистостью

28 мкм в присутствии 1%-ного раствора ецкого патра в электроактивированной воде рН 11 при содержании твердой составляющей

20 мас.%, жидкой составляющей

80 мас.%

Шлифование абразивным микропорошком электрокорунда зернистостью

20 мкм в присутствии 17.-ного раствора едкого патра в электроа«стивирова««ной воде рН 11 при содержании твердой составляющей

20 мас.Х, жидкой составляющей

80 мас. Х

Шлифование абразивным микропорошком электрокорунда "-ернистостью

10 мкм в присутствии 1%-ного раствора едкого натра в электроактивированной воде Т«Н 11 при содержании твердой составляющей

20 мас.7., жидкой составляющей

80 мас.7

Полирование полиритной суспензией, жидкой со с тавля«ощей которой является электроактивированная вода рН 9, при содержании твердой составля«вщей 4 мас. 7, жидкой составляющей 96 «ас. 7.

Шлифование абразивным микропорошком электрокорун,ца зернистостью

28 мкм в присутствии 1Х-ного раствора едкого кали в электроакт«вированной воде рН 11 при содержании твердой составляющей

;20 мас.Х, жидкой составляющей

80 мас. %

Продолжение таблицы

R 09025 MKM N=095 H

h,11 = 0,2 интерференционной полосы, P=3, выход годных 98,87

R = 0,025 мкм9 N 095 и л И=О,2 интерференционной полосы, Р=З, выход годных 987.

24

Продолжение таблицы

I219325

F = 13 мкм

0,63 мкм же полирита и рН воды в полировальной суспензии (детали из кристаллического кварца) Г = 6 мкм, Е = 0,16 мкм — 0,025 мкм, N=0,36 И=0,1 интерференционной полосы, Р=З, выход годных

97 .57

F = 23 мкм, Е = 0,94 мкм

Предлагаемый со средними значениF = 12,5 мкм, R — 0,63 мкм

Г = 7 мкм, R = 0,16 мкм

0 025 мкм, N = 0,3, а N=O i интерференционной полосы, Р=З, выход годных 97,7%

ВНИИПИ Заказ. 1196/20 Тираж 740 Подписное

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 ями содержания электрокорунда, концентрации щелочи и рН воды в абразивной суспензии для шлифования, а также полирита и рН воды в полировальной суспензии, (детали кристаллического кварца) Шлифование абразивным микропорошком электрокорунда зернистостью

20 мкм в присутствии 17-ного раствора едкого кали в электроактивированной воде рН 1 1 при содержании твердой составляющей

20 мас.7, жидкой составляющей

80 мас.%

Шлифование абразивным микропорошком электрокорунда зернистостью

10 мкм в присутствии 1%-наго раствора едкого кали в электроактивированной воде рН 11 при содержании твердой составляющей

20 мас.7, жидкой составляющей

80 мас.%

Полирование полиритной суспензией, жидкой составляющей которой является электроактивированная во да рН 9, при содержании твердой составляющей 4 мас.%, жидкой составляющей 96 мас. 7.

Шлифование абразивным мнкропорошком электрокорунда зернистостью

2S мкм в присутствии 1%-ного раствора едкого патра в электроаквитированной воде рН 11 при содержании твердой составл нощей

20 мас.%, жидкой составляющей

80 мас.%

Шлифование абразивным микропорошком электрокорунда зернистостью

20 мкм в присутствии 17-ного раствора едкого натра в электраактивированной воде рН 11 при содержании твердой составляющей

20 мас.7., жидкой составляющей

80 мас.%

Шлифование абразивным микропорошком электрокорунда зернистостью

10 мкм в присутствии 17.-ного раствора едкого натра в электроактивированной воде рН 11 при содержании твердой составляющей

20 мас.%, жидкой составляющей

80 мас.7.

Полирование полиритной суспензией, жидкой составляющей которой является электроактивированная вода рН 9, при содержании твердо= составляющей 4 мас.%, жидкой состав— ляющей 96 мас.%