Способ определения отклонений в периодических структурах

Способ определения отклонений в периодических структурах

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

№ 122213

Класс 21g, 13,7

21о, 13аа

СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

А. П. Корнилов и В. С. Хрюкин

СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ОТКЛОНЕНИЙ В ПЕРИОДИЧЕСКИХ

СТРУКТУРАХ

Заявлено 12 декабря 1958 q. за № 613779/26 в Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Опубликовано в «Бюллетене изобретений» ¹ 17 за 1959 г.

Известны визуальные способы определения отклонений в периодических структурах. Наблюдение и контроль в них ведется с помощью микроскопа. Основной недостаток подобных способов заключается в малой точности, малой производительности и невозможности автоматизации контроля отклонений.

Б предлагаемом способе указанные недостатки устранены тем, что подлежащая контролю периодическая структура, например сетка лампы, пропускается между источником света и проектором. Увеличенное с гомощью проектора изображение структуры проходит перед диафрагмой с двумя параллельными щелями. Изменение светового потока в щелях диафрагмы преобразуется в электрические импульсы, которые воздействуют на индикаторное устройство, позволяющее определить отклонение в периодических структурах. С целью повышения точности контроля в диафрагме можно сделать не две, а три щели, Сущность предлагаемого способа поясняется чертежом, где изображена скелетная схема устройства по описываемому способу.

Периодическая структура, например спираль л. б. в. 1, продвигается между источником света 2 и проектором 8 с помощью механизма протягивания спирали 4. Увеличенное проектором изображение структуры проходит перед диафрагмой Б. Диафрагма имеет две щели, расположенные на расстоянии, равном изображению шага структуры минус половина изображения допуска шага структуры. Изменение светового потока в щелях диафрагмы вызывает периодическое изменение электрического сигнала на выходе преобразователей б и 7, в качестве которых могут использоваться фотоумножители. С преобразователей электрические сигналы подаются соответственно на блоки формирования импульсов

8 и 9.

Продифференцированные по переднему фронту импульсы 8 с блока формирования запускают блок 10, на выходе которого образуются импульсы с длительностью, соответствующей допуску шага. Эти импульсы

Л1 122213 совместно с импульсами, формируемыми блоком 9, подаются в блок совпадений 11.

В случае несовпадения импульсов, т. е. при отклонении шага структуры выше номинала, один из импульсов попадает на каскад совпадения импульсов 12 и далее на индикатор И и вызывает срабатывание исполнительного устройства.

Для более точного задания допуска в диафрагме 5 делают три щели. Расстояние от крайней до средней щели равно изображению шага структуры плюс половина допуска. В этом случае на схему совпадения подаются три импульса.

Описываемый способ позволяет вести автоматический контроль за отклонениями в периодических структурах

Предмет изобретения

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Радак1ор В. М. Парнес Гр. 97

Поди. к пея. 28.IX-59 г.

I non»c 1090 Цена 25 коп.

Информационно-издательский OT;Icë.

С ъем 0,17 п. л 3ак. 80!8

Типография Комитета по делам изобретений и открыгий при Совете Министров СССР

Москва, Петровка, 14.

1. Способ определения отклонений в периодических структурах, использующий оптическое и электронное устройства, о тл и ч а ю шийся тем, что, с целью автоматизации контроля отклонений и повышения его точности, увеличенное с помощью проектора изображение структуры проходит перед диафрагмой с двумя щелями, расстояние между которыми равно изображению шага структуры минус половина допуска; изменение светового потока в щелях преобразуется в электрические импульсы, подаваемые на схему совпадений, причем один из импульсов имеет длительность, соответствующую допуску; при несовпадении импульсов один из них попадает на индикаторное устройство.

2. Способ по п, 1, о т л н ч а ю шийся тем, что, с целью повышения то шости задания допуска, в диафрагме делается три щели, причем расстояние от крайней до средней щели равно изображению шага структуры плюс половина допуска.