Турбомолекулярный вакуумный насос

Турбомолекулярный вакуумный насос

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

СО}ОЗ СОВЕТ СНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН

„„su„, аз вы

А2

151} 4 Р 04 D 19/04

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

H AGTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ хлада агюст}а насосу

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (61) 973938 (21) 3846188/25-06 (22) 17 ° 12.84 (46) 23.05.86. Бюл. }1 )9 (71) МВТУ им. Н. Э, Баумана (72) Е, С. Фролов, Н. К. Никулин и В. В. Полосов (53) 621.521.7(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

Ф 973938, кл. F 04 D 19/04, 1981, (54) (57) ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ

НАСОС по авт, св, Ф 973938, о т— л и ч а ю шийся тем, что, с целью повышения экономичности, входной патрубок на участке между корпусом и внутренним кожухом снабжен гофрированной проставкой из низкотеплопроводного материала, 1 т 212 пусси 1 и ннутретпилм кстжухом 6 сняб;.; ::-Н Г=-ГРРЧтРОВЯН OII П 20СТЯВК01! ИЗ!

1B u .2!2е тенин Оттто сит с в . .; Б яку у мттOH

f - B Ê 0 i C ПЛ О П Р 0 В Га,"тт Н 0 Г 0 М Я Т Е т2" 1 ЯЛ Я „

1та ог рабуо I BB T г ледующи т c2flpB BOIH °

Га з и з зткячиваемого зf2»eIHB через входной патрубо:-; Б и. Ст; в згIT и - 0 г т -г г р П у С я,т

02 ятс,рных и бъ,.стpOHpBiTЯ.2щихся

/, В:ТОРН,тГЛ. - i,ДИСКОВ ПЕР = IIOCH .СЕ: а "ТО гт г Н" тЛ Я Г и Е т" Я Н и В Н Я С 0 С Я, у г " " Х и 2 и

В OGPСПЕЧИВЯЮТ НЯДЕжНУЮ- — Е..ЛОВУтЮ ЗаH0I Iò I LI2I 0 (Tт.. iI -":т Зт ", Гт у тоут т тпитТЕНтитн ра С

iilHTу ОхлЯждаемОГО корпус, !,, Н-,т т2е2наличие гог12рированной ГроcTBJJIIН 9

КОСти И ПОВЧЛЯЕТСя ЭКОНО::ГнтггттоатЬ соса.

Состатвтлтел > 11 „1(pH2 2вки . .

12 -дактср т1. Козориз Тех12ед З,I. OII;-IO 1у О Р Р Р К " .0 „т2 > f, П а Т Я Й т ВКБЗ 77 21/3 2

Тираж БЯо Подпис ое

ВН1лИИ Госттцарствепшого комитета СССР по Делам IIB 06т2;. сHий и Oт:у12ттгтий

1 1 3035. Москва, )1(-3 т т Уау1вская наб... д . 4 5

".100и .тлодствРнно -п02пи "p !.é7 тет ХО â€” 02едп13итлтие „Г, . Жгот сд, J2. П13г2ет< "на н, т

Тtl>fHIJIIB, т ИМЕННО IC KOIIÑT()" I КНИПМ ТУР ботто тек;тлуттлных т2якуумццх насосзть,, и

В В J I H Е Т С H ;" С 0 B Е Ш0 Г и С Т В 0 6 Я! ГИ fB и И З 0 0 Р Е тени :. по BITI,, св. 1т- 973938.

Цель изобретенив:- ловы|псине зксхода криогенной жидкости, ох. B;õiHI.îiliей корпус пасоса.

11Я чертеже п12едсз Явлен насос, IIH!0-.

ДОЛ ьный f2 ЯII рВ 3, Ту р бомoJ Iе кул2л рнттlй Б яку умный тиас о r сод ржит охлаждаеиый корпус 1 с растп2ложенными IIB еГo вну тренней пОве13хНОСТИ ТЯ ОрнымИ дтгтсками И 2ттстЯПОВ

ЛРП,Лыт.; Ня ОСИ КООГ,тся 1 Пап 3 r ряЗмещ-IHIIiìH на нем роторными дисками

А, а также обхватывающие корпус 1 нару2кялй 2 ll вьттутренний о кожухи, образуюшие толость 7, сообщенную с областью нагнетания насоса, причем входной патрубок 8 на участке между кор l Н т тгOTIIJ JOllPOBO(IHO I*0 t " г 12тЛ вЂ” гв

HB Уч B cтке БхсДНОГс пат "2 "бкт . .. Ие",:;Д т корпусом 1 H БНУT12еннтл!-;, Iî>:" хо..i 6

Обесве нлвае т б<2льшое термит ет кое i îП12ОТИ ВЛЕ НИР И С- ИжатНИЕ I \" ттчотifBH T 0 (ОВ к Kopг2 cJT, Бс 10дствие зтОГÎ знячитсль Д НО СН ИЖсатвтстттт П ОТтЕРИ KDHO I C ННО! I 2КИП.