Турбомолекулярный вакуумный насос

Турбомолекулярный вакуумный насос

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

СаЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН

А1

„„SU„„1232851

1 11 4,Р 04 D 19/04

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А BTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

5 б

3Ф

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

R0 ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И OTXPblTHA (21) 3856568/25-06 (22) 28.12.84 (46) 23.05.86. Бюл. У 19 (71) Московский ордена Ленина и ордена Октябрьской Революции энергетический институт (72) Ю. В. Синявский (53) 621.521 7(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

11 737659, кл. Р 04 D 19/04, 1980. (54)(57) 1. ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЬи BAKYYMHblA НАСОС, содержащий корпус, закрепленные на его внутренней поверхности статорные диски, в основания которых встроены магнитные вставки, и размещенный по оси корпуса вал с роторными дисками, установленными с зазорами относительно статорных дисков, о тл и ч а ю шийся тем, что, с целью снижения трудоемкости изготовления, зазоры у основания статорных дисков заполнены смесью из порощков ферромагнитного материала.

2. Насос по п. I о т л и ч а ю— шийся тем, что смесь состоит из крупного и мелкодисперсного порошков, причем последний составляет 5075 об.Х смеси.

123285) клю†;.:.и.:.::," .,.. ных перетечек raë сэ сторон;.: нагнетания на сторону всасывания и свя" àíî с высокой трудоемкостью изготовления насоса. Зало.нение

Составитель В, Кряковкин

Редактор A. Козсриэ Техгед О.Сопко 1орректор Л, Патай

Заказ 2751!35

Тирам,, 86 Подписное

ВНРВИИ Государственного комитета СССР по,цепам изобретений я открытий

113835,, Иосква, W.-35, Рауяская наб., д. 4/5

Производственно-ноль. графическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная 4

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям турбомолекулярных вакуумных насосов.

Цель изобретения — снижение трудоемкости изготовления насоса. 4;

На фиг. 1 представлен турбомолекулярный насос со статорными дисками, имеющими основания в виде плоских колец, на фиг. 2 - насос со статорными,цисками,. имеющими основания в виде ступенчатых колец.

Турбомолекулярный вакуумный насос содержит корпус 1, закрепленные на 15 его внутренней поверхчости статорные диски 2., в ocHQBRHBR которых встроены магнитные вставки 3. и размещенный по оси корпуса 1 вал 4 с роторными дисками 5, установленными с зазором 20 относительно cTBtopHbIx дисков 2, причем зазоры у основания статорных дисков 2 заполнены смесью 6 из порошков ферромагнитного материала. Смесь

6 состоиr "èç крупного и мелкодисперсного порошков, причем последний составляет 50-75 об.F, смеси, Насос работает следующим образом.

При вращении вала 4 гаэ со стороны всасывания переносится на сторону нагнетания, взаимодействуя со статорными 2 и роторными 5 дисками. Выполнение зазоров минимальными вызвано исзазора у основания статорных дисков смесью ферромагнитных порошков позволяет увеличить зазоры между дисками и устранить обратные перетечки газа, которые имеют место именно у оснований статорных дисков. Смесь удерживается в зазоре магнитным полем вставок

3 и создает большое сопротивление потоку газа в эаэаре. Хрупный порошок соэ,цает как бы несущую решетку, а мелкодисперсный заполняет поры в этой решетке, Случайное касание отдельными частицами порошков роторных дисков

5 не приводит к нарушению работоспособности насоса, поскольку слои порошка легко деформируемы. В результате снижается трудоемкость изготовления насоса при сохранении откачных характеристик.