Способ электроэрозионной обработки тонкопленочных управляющих электродов отклоняющей системы

Способ электроэрозионной обработки тонкопленочных управляющих электродов отклоняющей системы

Реферат

 

(19)SU(11)1244848(13)A1(51)  МПК ⁶    _{B23H1/00, B23H7/26}(12) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯк авторскому свидетельствуСтатус: по данным на 17.01.2013 - прекратил действиеПошлина:

(54) СПОСОБ ЭЛЕКТРОЭРОЗИОННОЙ ОБРАБОТКИ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ УПРАВЛЯЮЩИХ ЭЛЕКТРОДОВ ОТКЛОНЯЮЩЕЙ СИСТЕМЫ

Изобретение относится к электрофизическим и электрохимическим методам обработки и, в частности, касается способа электроэрозионной обработки тонкопленочных управляющих электродов электростатической отклоняющей системы, например, типа дефлектрон электронно-лучевого прибора. Целью изобретения является повышение точности обработки при обработке многоэлементным электродом-инструментом путем ввода его в контакт с непокрытым токопроводящей пленкой участком системы. На чертеже изображено устройство для реализации способа. Устройство содержит дефлектрон 1, многоэлементный электрод-инструмент 2, элементы 3 которого оснащены тонкими стержнями 4, непокрытый токопроводящей пленкой участок 5 дефлектрона, пружины 6, выводы 7 тонкопленочных электродов дефлектрона, нетокопроводящие дорожки 8, токопроводящие тонкопленочные слои 9, металлическое кольцо 10 и кольцо 11. Способ реализуется следующим образом. Во внутрь дефлектрона 1 вводят многоэлеметный электрод-инструмент 2, элементы 3 которого своими стержнями 4 вводят в контакт с непокрытым токопроводящей пленкой участком 5 и подпружинивают их по направлению к обрабатываемой поверхности дефлектрона путем, например, пружин 6 или за счет использования сил упругих деформаций элементов 3. К электроду-инструменту 2 и выводам 7 дефлектрона подводят технологическое напряжение соответствующей полярности. Дефлектрон 1 и электрод-инструмент 2 погружают в ванну с питьевой водой электроэрозионного станка. Затем дефлектрону 1 и электроду-инструменту 2 сообщают взаимное пространственное перемещение по заданной программе, причем перемещение элементов 3 осуществляют в подпружиненном состоянии со скольжением стержней 4 по нетокопроводящим дорожкам 8, формируемых в процессе обработки путем инициирования разрядов между токопроводящим слоем 9 и боковыми поверхностями стержней 4. Изготовление управляющих электродов дефлектрона заканчивают после выхода стержней 4 на другие непокрытые токопроводящей пленкой участки дефлектрона, расположенные в противоположной его стороне между выводами 7. После этого, например, при помощи перемещения кольца 11 по конической поверхности элементов 3 до упора в буртик элементы со стержнями 4 сжимают к оси дефлектрона, выводят их из контакта с нетокопроводящим участком поверхности дефлектрона, и электрод-инструмент выводят из дефлектрона 1 при ускоренной подаче на холостом ходу. Некоторые виды дефлектронов имеют на одном из своих концов тонкопленочное токопроводящее кольцо 10, разделенное зазором от управляющих электродов. Изготовить такой зазор можно как путем экранирования участка внутренней поверхности дефлектрона с помощью кольца-шаблона в процессе напыления токопроводящей пленки, так и предлагаемым электроэрозионным способом. В последнем случае после введения электрода-инструмента во внутрь дефлектрона с некоторым зазором включают технологическое напряжение, дефлектрону сообщают вращательное движение и элементы электрода-инструмента освобождают от сжатого состояния. Во время перемещения элементов электрода до момента их соприкосновения с поверхностью дефлектрона между стержнями 4 и токопроводящей пленкой проскакивают электрические разряды, которые формируют кольцевую токонепроводящую дорожку (снимается токопроводящий слой). Затем, сохраняя вращение дефлектрона, перемещают на необходимое расстояние электрод-инструмент (или дефлектрон) вдоль оси дефлектрона. Со сформированного таким образом токонепроводящего участка начинают дальнейшее изготовление управляющих электродов дефлектрона. Благодаря тому, что электроэрозионную обработку тонкопленочных управляющих электродов отклоняющей системы ведут многоэлементным электродом-инструментом, производительность обработки возрастает пропорционально числу его элементов. Поскольку элементы электрода-инструмента перемещают в подпружиненном состоянии со скольжением по нетокопроводящим дорожкам дефлектрона, формируемых в процессе этого перемещения, влияние радиального биения дефлектрона и погрешностей его установки относительно электрода-инструмента сведено к нулю. Процесс электроэрозионной обработки протекает стабильно, пропуски необработанных участков отсутствуют, профиль управляющих электродов не имеет рваных участков, ширина зазора между управляющими электродами стабильна, повреждения (аэрозионные лунки) стеклянной трубки на сформированных в процессе электроэрозионной обработки токонепроводящих дорожках дефлектрона отсутствуют. Кроме того, при одновременной обработке всех управляющих электродов обеспечивается постоянство ширины формируемого зазора между ними, обуславливаемое постоянством сечения токопроводящей пленки дефлектрона, по которой подводят электрический ток от технологического источника напряжения.

Формула изобретения

СПОСОБ ЭЛЕКТРОЭРОЗИОННОЙ ОБРАБОТКИ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ УПРАВЛЯЮЩИХ ЭЛЕКТРОДОВ ОТКЛОНЯЮЩЕЙ СИСТЕМЫ, например, типа дефлектрон электронно-лучевого прибора, при котором электроду инструменту и отклоняющей системе сообщают взаимное пространственное перемещение по заданной программе с подачей на них технологического напряжения, отличающийся тем, что, с целью повышения точности обработки при обработке многоэлементным электродом инструментом, последние вводят в контакт с непокрытым токопроводящей пленкой участком системы, и дальнейшее перемещение элементов электрода инструмента осуществляют по токонепроводящим дорожкам, которые формируют в процессе обработки.

РИСУНКИ

Рисунок 1