Устройство для нанесения покрытий в вакууме

Устройство для нанесения покрытий в вакууме

Реферат

 

Устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее соосно расположенные расходуемый катод с отверстием для подачи рабочего газа, полый анод и подложкодержатель, отличающееся тем, что, с целью улучшения качества покрытий, повышения производительности и упрощения конструкции, в катоде со стороны рабочего торца выполнено углубление в форме усеченного конуса, большее основание которого обращено в сторону подложкодержателя, а высота усеченного конуса больше радиуса этого основания, причем меньшее основание конуса соединено с отверстием подачи рабочего газа, площадь сечения которого S_o определена соотношением

где Q_v - объемный расход рабочего газа, м³/с;

- скорость звука газа при рабочем давлении внутри конусного углубления катода, м/с.