Смотровое устройство для вакуумных установок

Смотровое устройство для вакуумных установок

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН

„„SU„„1245842 А 1

m 4 F 27 D 21/02

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АSTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Фиг. 1

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3836610/22-02 (22) 03.01.85 (46) 23.07.86. Бюл. № 27 (71) Специальное проектно-конструкторское и технологическое бюро электротермического оборудования Саратовского завода электротермического оборудования (72) А. А. Ефимов, P. А. Нугаев, Г. А. Чеботарев, В. С. Кубалик, А. В. Лазарев, В. Д. Кузьмин и С. В. Борисов (53) 669.08.621.365 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 551386, кл. F 27 В 3/10, 1977.

Авторское свидетельство СССР № 627182, кл. С 23 С 13/08, 1977.

Патент США № 2908254, кл. 126 — 200, 1959.

Авторское свидетельство СССР № 238786, кл. F 27 D 21/02, 1967. (54) (57) 1. СМОТРОВОЕ УСТРОЙСТВО

ДЛЯ ВАКУУМНЫХ УСТАНОВОК, содержащее встроенный в стенку вакуумной установки тубус со смотровым стеклом, защитный экран, установленный перед смотровым стеклом в тубусе, и механизм поворота защитного экрана, отличающееся тем, что, с целью увеличения угла обзора, улучшения защиты смотрового стекла от напыления и повышения надежности работы, защитный экран выполнен по форме внутренней поверхности тубуса и закреплен внутри тубуса на шарнирах, а механизм поворота экрана выполнен в виде охватывающего тубус соленоида с ферромагнитным сердечником, смещенным относительно точки крепления экрана вдоль оси смотрового устройства в сторону поворота экрана.

2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что соленоид выполнен с увеличивающимся в направлении к смотровому стеклу числом витков.

3. Устройство по пп. 1 и 2, отличающееся тем, что оно снабжено ограничителем поворота защитного экрана, выполненным в виде упора, установленного в тубусе со стороны, противоположной точке крепления экрана.

1245842

Изобретение относится к вакуумной техникее.

Целью изобретения является увеличение угла обзора, улучшение защиты смотрового стекла от напыления и повышение надежности работы смотрового устройства.

На фиг. 1 показано смотровое устройство, при закрытом положении защитного экрана, продольное сечение; на фиг. 2 — сечение А — А на фиг. 1; на фиг. 3 — смотровое устройство при открытом положении за- 10 щитного экрана, продольное сечение; на фиг. 4 — сечение Б — Б на фиг. 3.

Смотровое устройство содержит тубус 1 из немагнитной стали, смотровое стекло 2 с вакуумным уплотнителем 3 и гайкой 4, с помощью которой оно крепится к тубусу 1, поворотный защитный экран 5 из ферромагнитного материала, выполненный изогнутым по форме внутренней поверхности тубуса 1 и подвешенный в тубусе 1 на шарнирных петлях 6, и механизм поворота экрана, выполненный в виде охватывающего тубус соленоида 7 с ферромагнитным сердечником 8, смещенным относительно точки подвеса экрана 5 вдоль оси смотрового устройства в сторону поворота экрана (вле- 25 во по фиг. 1). Защитный экран 5 установлен в тубусе 1 с минимальным зазором благодаря приданию ему изогнутой формы и подвеске в корпусе на шарнирных петлях.

Соленоид 7 выполнен с увеличивающимся в направлении к смотровому стеклу 2 числом витков. Со стороны, противоположной точке подвеса экрана 5 в тубусе 1, имеется упор 9, ограничивающий угол поворота экрана.

В периоды между наблюдениями защитный экран 5 находится в положении, показанном на фиг. 1 и 2. В этом полсжении он располагается поперек отверстия в тубусе 1 и благодаря малому зазору между ним и тубусом весьма эффективно защищает смотровое стекло 2 от напыления.

Для проведения наблюдения включается соленоид 7 и защитный экран 5 под действием образовавшегося при этом магнитного поля поворачивается на шарнирных петлях

6 в положение, показанное í- фиг. 3 и 4.

Благодаря изогнутой форме защитный экран 5 располагается при этом непосредственно у стенки тубуса 1 и не мешает наблюдению. В процессе наблюдения соленоид

7 остается включенным. выполняя совместно с ферромагнитным сердечником 8 функцию магнитной защелки, удерживающей защитный экран 5 у стенки тубуса 1 и обеспечивая защиту смотрового стекла 2 от напыления электрическими заряженными частицами. Электрически заряженные частицы отражаются магнитным полем соленоида, которое, благодаря выполнению последнего с увеличивающимся в направлении к смотровому стеклу 2 числом витков, имеет пробочную. конфигурацию и по отношению к заряженным частицам является магнитным зеркалом.

По окончании наблюдения соленоид 7 отключается, а защитный экран 5 под действием собственной массы поворачивается на шарнирных петлях 6 до соприкосновения с упором 9, т. е. возвращается в первоначальное положение.

Устройство имеет большой угол обзора, так как в нем в поле зрения наблюдателя отсутствуют какие-либо детали, мешающие наблюдению. Благодаря меньшему зазору между защитным экраном и корпусом, а также обеспечению защиты смотрового стекла в период наблюдения от напыления заряженными частицами, oHG превосходит известное устройство по защищенности смотрового стекла от напыления. Отсутствие в конструкции предлагаемого смотрового устройства подвижных элементов, подлежащих уплотненик>, обеспечивает ему большую надежность герметизации.

1245842

6 — Б

Редактор А. Шандор

Заказ 3982/29

Составитель С. Дзигоев

Техред И. Верес Корректор А. Обручар

Тираж 56! Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4