Способ изготовления изделия из кристалла
Иллюстрации
Показать всеРеферат
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК
„„SU„„1248823 А1 (5И 4 В 28 D 5/00
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
Н ABTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР
IlO ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3793981/29-33 (22) 19.09.84 (46) 07.08.86. Бюл. Ф 29 (72) А.А. Николаев, П.Ю. Медведев и Е.А. Фролов (53) 679.89 (088.8) (56) 1. Глюкман Л.И. Пьезоэлектрические кварцевые резонаторы. N.:
Радио и связь, 1981, с. 103. (54)(57) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИЗДЕЛИЯ ИЗ КРИСТАЛЛА, включающий ориен- тированную резку кристалла на пластины, шлифование плоских граней, определение фактического углового расположения плоских граней относительно кристаллографических плоскостей и дополнительное шлифование плоских граней до достижения ими заданного углового расположения относительно кристаллографических плоскостей, отличающийся тем, что, с целью снижения трудоемкости изготовления изделия из кристалла, определение фактического углового расположения плоских граней относительно кристаллографических плоскостей осуществляют после ориентированной резки кристалла на пластины, а шлифование плоской грани в параллельность осуществляют при базировании пластины на плоскость, имеющую меньшее отклонение фактического углового расположения от заданного.
1248823
B.° 1gg
50
BHHKIH Заказ 4174/15 Тираж 555 Подписное
Произв.-полигр. пр-тие, r Ужгород, ул. Проектная, 4
Изобретение относится к электронной технике и может найти применение в отраслях производства, связанньгх с изготовлением большого ко— личества изделий из кристалла (кварц, полупроводники, сапфир и т.п,), к которым предъявляются высокие требования по точности ориентации обрабатываемых поверхностей относительно кристаллографических осей.
Известен способ изготовления изделий из кристалла, например иэ пьезокварца, заключающийся в ориентированной резке кристалла на пластины, шлифовке пластин по плоским граням для уменьшения разнотолщинности, определении фактического углового расположения плоских граней относительно кристаллографических плоскостей и дополнительной шлифовке плоских граней до достижения ими заданного углбвого расположения относительно кристаллографических плоскостей (1) .
Однако после отрезки точность ориентации разных плоских граней отличается по величине и шлифовка пластин по плоским граням, в процессе которой пластина ориентируется случайно, не уменьшает разброс по точности углового расположения плоских граней.
Цель изобретения — уменьшение трудоемкости изготовления изделия из кристалла.
Поставленная цель достигается тем, что согласно способу изготовления изделий из кристалла после отрезки осущестляют шлифовку плоской грани пластины.при базировании на плоскость, имеющую меньшее отклонение фактического углового положения до заданного.
Изготовление изделий из кристалла по предлагаемому способу осуществляется в следующей последовательности: после ориентированной разрезки кристапла на пластины производят определение фактического углового расположения плоских граней относительно кристаллографических плоскостей с обеих сторон пластины, сравнение этих величин, выбирают плоскую грань с меньшей величиной углового расположения от заданного и затем шлифуют вторую плоскую грань при базировании на выбранную в параллельность ей. После этого производят определение фактического углового расположения плоских граней и для тех пластин, для которых она отличается от заданной, осуществляют цикл бпераций по исправлению углового расположения °
Исправление углового расположения производят шлифовкой углового припуска. Производительность операций шлифовки прямо пропорциональна величине припуска C,h), которая для операций исправления углового расположения равна где a — размер заготовки в направлении измерения угловой ориентации, величина углового расположения плоской грани от за-. данного.
Общая трудоемкость изготовления изделия в большой степени зависит от доли пластин, требующих изменения углового расположения, так как эта операция-осуществляется односторонней шлифовкой. В предлагаемом способе доля пластин, требующих изменения углового расположения, существенно меньше, а в пластинах, требующих изменения углового расположения, меньше величина угла для изменения. Поэтому общая -.ðóäîåìêîñòü изготовления изделия снижается .
Технико-экономический эффект заключается в том, что после выбора плоской грани, имеющей меньшее отклонение фактического углового расположения от заданного и шлифовки второй плоской грани в параллель ность выбранной снижается общая трудоемкость изготовления изделия.