Способ определения сопротивления контактного соединения проволоки и тонкой пленки

Способ определения сопротивления контактного соединения проволоки и тонкой пленки

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение может быть использовано для измерения электросопротивления контактных соединений интегральных микросхем и микросборок. Цель изобретения - упрощение процесса измерения - достигается за счет исключения операции изготовления специального образца с тремя контактньи н соединениями, от каждого из которых сделаны по два проволочньсс вывода. Согласно данному способу измеряется сопротивление участков тонкая пленка проволока заданной длины, за- 11 тем определяют длины I участков проволока и тонкая пленка от места контакта, равные половине первоначально заданных, и измеряют сопротивление цепи: половина участка проволока - контактное соединение - половина участка тонкая пленка. Сопротивление контактного соединения определяется по формуле, приведенной в описании изобретения. Реализация способа поясняется чертежом, где проволока 1 через контактное соединение 2 соединена с тонкой пленкой 3, расположенной на подложке 4, 5 и 6 - места подсоединения зажимов измерительного прибора к проволоке 1, а 7 и 8 - места установки агупов на пленку 3. 1 ил. (Л

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СООИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН

<в пи

А1 (51)4 G 01 К 27 00

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н Д ВТОРСИОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТБТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3794975/24-21 (22) 25.09.84 (46) 15.08.86. Бкл. В 30 (72) Д.Т» Дячок (53) 621.317.75(088.8) (56) Евтеев Ф.E., Бурова Н,Н. Свойства микроконтактов, полученных термокомпрессионным методом. — Известия вузов, Приборостроение, 1967, М с. 117-123.

Ющук С.И., Попенко А.И. Измерение злектросопротивления тонкопленочных контактов. — Заводская лаборатория, 1973, У 4, с. 450-451. (54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ СОПРОТИВЛЕНИЯ КОНТАКТНОГО СОЕДИНЕНИЯ ПРОВОЛОКИ

И ТОНКОЙ ПЛЕНКИ (57) Изобретение может быть использовано для измерения электросопротивления контактных соединений интегральных микросхем и микросборок.

Цель изобретения — упрощение процесса измерения — достигается за счет исключения операции изготовления спецнального образца с тремя контактными соединениями, от каждого из которых сделаны по два проволочных вывода.

Согласно данному способу измеряется сопротивление участков "тонкая пленка, проволока" заданной длины, затем определяют длины 1 участков "проволока" и "тонкая пленка" от места контакта, равные половине первоначально заданных, и измеряют сопротивление цепи: половина участка "проволока — контактное соединение— половина участка "тонкая пленка".

Сопротивление контактного соединения определяется по формуле, приведенной в описании изобретения. Реализация способа поясняется чертежом, где проволока 1 через контактное соединение 2 соединена с тонкой пленкой

3, расположенной на подложке 4, 5 и

6 — места подсоединения зазкимов измерительного прибора к проволоке 1, а 7 и 8 — места установки щупов на пленку 3. 1 ил.

1250982

1 з 2

+ 2R +2R„ +R„„

2 (5) 40 (2)

Подставим в (5) значения из (2) и (3) н найдем, что

2R + 2К + нц

R=R -(— + — ).

К7

2 2

К = К

Кю + з

Изобретение относится к электротехнике, и частности к микроэлектронике, и может быть использовано для измерения злектросопротивления контактных соединений интегральных 5 микросхем и микросборок.

Цель изобретения — упрощение процесса измерения путем исключения операции изготовления специального образца с тремя контактными соединениями, от каждого из которых сделаны по два проволочных вывода.

На чертеже представлен объект для измерения сопротивления контактного соединения проволоки и тонкой плен- 15 ки согласно изобретению.

Согласно чертежу: "проволока" 1 через контактное соединение 2 соединена с "тонкой пленкойн 3, расположен. ной на подложке, причем 4, 5 и б— места подсоединения зажимов измерительного прибора к "проволоке" 1, а

7 и 8 — места установки щупов на "тонкую пленку" 3.

В качестве измерительного прибора может быть использован например, мост постоянного тока М0-62.

Измерение сопротивления контактного соединения проволоки .и пленки осуществляется следующим образом. 30

Измеряется сопротивление R< отдельного участка тонкой пленки" 3 путем установки на пленку двух щупов на заданном расстоянии, например 0 .Проводится замер сопротивления измери- 35 тельным прибором и регистрируется измеренный результат. При этом результат измерения можно представить в виде где R„ — сопротивление щупа;

Ц

R — переходное сопротивление контакта щуп — "тонкая пленка ; 45

Rä„ вЂ” сопротивление участка "тонкой пленки".

Измеряется сопротивление R от7 дельного участка "проволоки" 1 путем подсоединения к ней двух зажимов на заданном расстоянии, например 1, .Проводится замер сопротивления на измерительном приборе и регистрируется измеренный результат. При этом результат измерения можно представить в виде

R7 2R + 2Rкэ + Rï (3) где К вЂ” сопротивление зажима;

Кц — переходное сопротивление контакта щуп — проволока ;

R — сопротивление участка "проIIP волоки .

Измеряется сопротивление К участка цепи проволока 1 — контактное соединение 2 — пленка 3 путем подсоединения зажима (от первой клеммы измерительного прибора} к проволоке i на

1 расстоянии — 1 от места контактного

2 соединения 2 и установки щупа (от второй клеммы измерительного прибора)

1 на пленку 3 на расстоянии — 8 от мес2 та контактного соединения 2 и регистрируется результат измерения сопротивления.

При этом результат измерения сопротивления участка цепи "проволокаконтактное соединение — тонкая пленtI ка можно представить в виде

1 1

1 где КЗФ,R„>у Кпр у R„„IКмм, R+ сос;=вляющие измеренного сопротивления согласно уравнений (2) и (3);

R — сопротивление контактного соединения.

Иэ уравнения (4) находим сопротивление контактного соединения

Таким образом, сопротивление контактного соединения находим, проведя три отдельных замера сопротивления участка пленки R< участка проволоки

К, и участка цепи проволока — контактное соединение R, по формуле

Для обеспечения необходимых расстояний при установке зондов используют инструмент или прибор для измерения линейных размеров, например микроскоп УИИ-23, R< — R%

"Э где R, R

R э

Составитель А. Комиссаров

Техред Л.Сердюкова Корректор И. Муска

Редактор М. Келемеш

Эаказ 4405/41 Тирал 728 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

3 125098 формула изобретения

Способ определения сопротивления контактного соединения проволоки и тонкой пленки, в котором измеряют со- g противление цепи "проволока" — конt1 и тактное соединение †. тонкая пленка отличающийся тем, что, с целью упрощения процесса, измеряют сопротивление участка "тонкая пленка" 1О заданной длины, измеряют сопротивление участка "проволока" также заданной длины, затем определяют длины участков "проволока™ и "тонкая пленка от места контакта, равные полови-t5 не первоначально заданных, и измеряют сопротивление цепи: половина уча2 4 стка "проволока" — контактное соединение " половина учас-.ка "тонкая пленка, сопротивление контактного соединения определяют по формуле измеренное сопротивление заданного участка тонкая пленка"; сопротивление заданного участка "проволока"; измеренное сопротивление цепи : половина участка

"проволока" — контактное соединение — половина участка тонкая пленка .