Раствор для травления молибдена

Раствор для травления молибдена

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИН (51)4 С 23 F 1/26 ц

Ф .

Н A BTOPGHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3713018/22-02 (22) 19.03. 84 (46) 30.08.86. Бюл. 9 32 (71) Брестский электроламповый завод (72) А.К.Черная, И.В.Танасевич и В.В.Эрайковский (53) 621.794.42(088.8) (56) Денисов В.Н. Производство электрических источников света. M.;

Энергия, 19/5, с. 286 °

Авторское свидетельство СССР

6 254998, кл.С 23 F 1/04, 1967. (54)(57) РАСТВОР ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ ЩЩИБДЕНА, преимущественно, молибденового керна, содержащий азотную кислоту, гексаметилентетрамин и воду, о тличающийся тем, что, с целью улучшения условий травления при снижении вьделения окислов азота и сохранении высокого качества травления, он дополнительно содержит сульфат аммония при следующем содержании компонентов, мас.X:

Азотная кислота 43,7-53,4

Гексаметилентет-. рамин 0,23-0,37

Сульфат аммония 38,4-46,9

Вода Остальное

1254057

Цель изобретения — улучшение условий травления при снижении выделения окислов азота и сохранении высокого качества травления. 10

Таблица1

Компоненты

Пример

1 2 3

Азотная кислота

43,7 48,6 53,4 43,7

Сульфат аммония

Гексаметилентетрамин 38,4 42,6 46,9 27,0 50,0

Оэ23 Ов3 Оэ37 Оэ1 О 5

778594779440

Вода

Серная кислота

Продолжение табл 2.

Таблица2

Не травит ления

Использование предлагаемого раствора(примеры 1-3} обеспечивает полное вытравливание молибденового

4 керна беэ выделения окислов азота.

В табл. 3 представлены сравнительные данные травления молибдена в asвестном и предлагаемом растворах.

Изобретение относится к химической обработке, в частности к травлению вольфрамовых иэделий и удалению иэ них молибдена.

В табл. 2 приведены результаты травления на основе предлагаемого травительного состава в сравнении с известными.

Без выделения окислов азота

Обильное выцеление окислов азота

При получений раствора для травления сульфат аммония и гексаметилентетрамин растворяют в воде, добавляя азотную кислоту. Для полного растворения смесь подогревают до

50 С. Полученной смесью производят травление молибденового керна воль» фрамовых спиралей.

В табл. 1 приведены примеры предлагаемый травительных растворов

Обильное вьщеление окислов азота ф

Таблица 3

-ъ

1254057

Раствор Состав Время Результат травле травле ния по вьделению ния, окислов азота мин ачество равления

Процесс травления Не полное сопровождается вытравлиобильным выделе- ванне молибнием окислов дена

Известный Азотная кисло» та и

30-90 60 мас.Х азота

Гексамети.лентетрамии

f-50 моль/л

Азотная кислота

43,753,4 .

Сульфат аммония

38,4- 20

46,9

Предлаrаемый

Полное вытравливание молибРезкое снижение вьщеления окислов азота дена

Гексаметилентетрамии

0,230,37

Вода

7,79,4

Составитель В.Олейннченко

Редактор Ю.Середа Техред М.Ходанич. Корректор М.Максимишинец

Заказ 4690/33 Тираж 878 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений н открытий

333035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, r. Ужгород, ул. Проектная, 4