Испаритель направленного действия для вакуумных установок

Испаритель направленного действия для вакуумных установок

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

„„SU„„1257113

А1 (5â 4 С 23 С 14/24

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ЬМ -ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 2491861/18-21 (22) 01.06.77 (46) 15.09.86. Бюл. У 34 (71) Киевский ордена Ленина политехнический институт им.50-летия Великой Октябрьской социалистической революции (72) Г.Т.Левченко и А.Н.Радзиковский (53) 621.793. 14.002.52(088..8) (56) Данилин Б.С. Вакуумное нанесение тонких пленок. М.: Энергия, 1967, с,228-232.

Авторское свидетельство СССР

В 397567, кл. С 23 С 13/12, 1971. (54) (57) ИСПАРИТЕЛЬ НАПРАВЛЕННОГО

ДЕЙСТВИЯ ДЛЯ ВАКУУМНЫХ УСТАНОВОК, содержащий тигель с выходным каналом . и тепловые экраны, о т л и ч а ю— шийся тем, что, с целью повышения коэффициента полезного испольэо= вания испаряемого материала, выходной канал выполнен в виде съемного симметричного паропровода, посредине длины которого выполнено кольцевое углубление, а тепловые экраны охватывают тигель ниже уровня кольцевого углубления.

1257113

I

Изобретение относится к устройствам для нанесения покрытий в вакууме и может быть использовано для напыления драгоценных металлов.

Известен испаритель направленного действия для вакуумных установок, содержащий тигель с выхоцным профилированным каналом. Тигель и выходной канал помещены в радиационный тепловой блок. 10

Недостатком этого испарителя является низкий коэффициент полезного использования испаряемого материала.

Наиболее близок к предлагаемому испаритель направленного действия для вакуумных установок, содержащий тигель с выходным каналом и тепловые экраны.

Однако он облацает тем же недостатком. 20

Цель изобретения — повышение коэффициента полезного использования испаряемого материала - достигается благодаря тому, что в испарителе направленного действия для выкуумных ус". 5 тановок, содержащем тигель с выходным каналом и тепловые экраны, выходной канал выполнен в виде съемного симметричного паропровода, посредине длины которого выполнено кольцевое З0 углубление, а тепловые экран« охватывают тигель ниже уровня кольцевого углубления, На фиг.1 изображена конструкция испарителя с цилцндрическим выход- З5

«ь«м каналом; на фиг.2 — то же, с коническим выходным каналом.

Прямоканальный графитовый тигель

1, снабженный молибденовыми токопроводами 2 в виде хомутов, стягивае- 40 мых болтами 3, окружен тепловыми экранами 4,5. Выходной канал 6 с кольцевым углублением 7 по его середине свободно расположен в тигле, в который загружен испаряемый мате- 45 риал 8.

Испаритель работает следующим образом.

Загрузив в тигель 1 испаряемый материал, устанавливают сверху выходной канал 6 с тепловыми экранами 4,5.

Подводя к тиглю через токоподводы 2 ток, нагревают его до рабочей температуры. При этом благодаря ниличию кольцевого углубления 7, уменьшающего тепловой поток вдоль выходного канала, и экранам 4, устраняющим радиационный нагрев верхней части выходного канала, температуру наверху ниже, чем внизу. При достижении рабочей температуры материал начинает испаряться и выходить через канал 6, направленный в сторону напыляемой подложки. При этом после кольцевого углубления периферийные слои потока испаренных молекул осаждаются на холодных стенках верхней части канала, а центральные области потока. выходят из него в направлении напыляемой подложки, После испарения всего находивше« ося в тигле материала, часть которого была напыпена на подложку, а часть осела на внутреннюю поверхность верх" ней части канала, из тигля вынимают выходной канал и загружают «1овую порцию материала, после чего канал переворачивают и снова вставляют в тигель. При этом часть канала, на кото- . рой осел испаряемый материал, оказывается внизу, и после достижения рабочей температуры тигля этот материал испаряется вместе с материалом, находящимся в тигле. При этом на верхней части канала также осаждается часть испаряемого канала. После испарения всего материала тигель опять загружают и снова переворачивают выходной канал. Таким образом, осаждающийся на верхней части канала материал участвует в следующем напылении.

Конструкция испарителя обеспечивает повышение коэффициента полезного использования в 2,1 раза.

1257113 фиу.Я

Составитель В.Казанков

Редактор Н.Швыдкая Техред И.Попович Корректор Г.Решетник

Заказ 4883/21 Тираж 878 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г.ужгород, ул.Проектная, 4