Испаритель

Испаритель

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (g1) 4i С 23 С 14/24

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ н датоеском г свидетельств

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 2867094/18-21 (22) 10.01.80 (46) 15.09.86. Бюл. М- 34 (71) Киевский ордена Ленина полйтехнический институт им.50-летия Великой Октябрьской социалистической революции (72) Г.Т.Левченко и А.Н.Радзиковский (53) 621.793.7(088.8) (56) Иванов-Есинович И.К. Технология микросхем. М.: Высшая школа,1972, с. 85, рис.2, 10д.

Технология тонких пленок. Справочник. /Под ред.Л.Майссела и P .Глэнга.

М.: Советское радио, 1977, с. 71, рис.20.

„„SU„„1251114 А1 (54)(57) ИСПАРИТЕЛЬ, содержащий коаксиально расположенные нагреватель, радиационные экраны, тигель и вставку для загрузки испаряемого вещества, установленную в тигле, о т л и ч а— ю шийся тем, что, с целью повышения скорости испарения, вставка установлена в тигле с зазором и выполнена из пористого материала, причем объем открытых пор вставки равен или превышает объем загрузки испаряемого вещества.

1257114

Составитель В.Казанков

Техред И.Попович Корректор Л.Зимокосов

Редактор Н.Швыдкая

Заказ 4883/21 Тираж 878 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Иосква, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, r.Óæãîðîä, ул.Проектная, 4

Изобретение относится к нанесению покрытий в вакууме и может быть использовано для толстых пленок металлов при изготовлении, например, полосковых линий СВЧ.

Известны испарители типа "лодоч11 ка, применяемые. для напьления пленок металлов.

Эти испарители не позволяют напылять пленки большой толщины, так как обладают малым объемом загрузки испаряемого материала.

Наиболее близким по технической сущности к изобретению является испаритель, содержащий коаксиально расположенные пагреватель, радиационные экраны, тигель и вставку для загрузки испаряемого вещества, установленную в тигель.

Недостатком этого испарителя является низкая скорость испарения.

Цель изобретения — повышение ско- . рости испарения.

Поставленная цель достигается тем, что в испарителе, содержащем коаксиально расположенные нагреватель, радиационные экраны, тигель и вставку для загрузки испаряемого вещества, установленную в тигле, вставка установлена в тигле с зазором и выполнена из пористого материала, причем обьем открытых пор вставки равен или превышает объем загрузки испаряемого вещества.

На чертеже схематически изображен предлагаемый испаритель.

Термический испаритель состоит из графитового тигля 1, внутри которого расположена вставка 2, выполненная из пористого смачивающегосл расплавом материала (например, при испарении меди вставка может быть выполнена иэ пористого карбида ниобия). Для уменьшения контакта испаряемого материала с тиглем (что повышает срок его службы) вставка установлена в тигле на стержне 3. Тигель помещен в цилиндрический щелевой нагреватель 4, 5 выполненный из графита. Для уменьшения потерь тепла посредством излучения испаритель окружен радиационными экранами 5 и 6.

Испаритель работает следующим образом.

Испаряемый материал загружают во вставку 2. После откачки вакуумной установки испаритель нагревают, пропуская через нагреватель 4 ток

При достижении необходимой температуры загрузка испаряемого материала расплавляется и, смачивая всю пористую вставку 2, испаряется с ее внутренней и внешней стенок. Если объем открытых пор (т.е., имеющих сообщение с поверхностью через соседние поры) вставки 2 равен или превышает объем загрузки испаряемого материала, последний полностью находится в

25 порах вставки 2.и не образует на ее поверхности толстых слоев, которые приводят к разбрызгиванию. Испарение происходит из тонкого поверхностного слоя, куда материал поступает за счет капиллярных сил.

Таким образом, испареаие материалов происходит из тонкого слоя, что устраняет разбрызгивание,,а так как материал одновременно испаряется не

35 только с внутренней, но и с внешней поверхности вставки, т.е. поверх ность испарения увеличена почти в

2 раза, то при той же температуре испарения скорость испарения повыша40 ется также почти в 2 раза. А если учесть, что малая толщина слоя расплава позволяет также повысить температуру испарения, то скорость напыления может быть увеличена еще больше.