Устройство для определения адгезии металлических пленок

Устройство для определения адгезии металлических пленок

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ССМОЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК (бд 4 G 01 N 19/04

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н ABTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3894599/25-2® (22) 11. 05. 85. (46) 30. 09. 86. Бюл. 1Ф 36 (71) Гомельский политехинческий институт (72) О.И. Палйй, В.Н. Гавриленко и А.В. Рогачев ,(53) 620.179.4 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

9 528484, кл. G 01 N 19/04, 1970.

Известия АН Латвийской ССР, 1976, У 5, с. 569-573. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ АДГЕЗИИ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНОК (57) Изобретение относится к испытательной технике, предназначено для определения адгезии металличес.ких пленок и позволяет повысить точность определения адгезии метал„„SU„„1260769 А 1 лических пленок к поверхности подложки, выполненной из оптически прозрачного материала. Дно ванны 3, заполненной гиротропной жидкостью 4, закрывают подложкой 1, на поверхность которой нанесена металлическая пленка 16. Возбуждают в гиротропной жидкости 4 ультразвуковые колебания концентратором 6 до возникновения в металлической пленке 16 зон разрушения, появление и характер которых регистрируют при помощи потока поляризованного излучения от источника 8, проходящего через поляризатор

11, полупрозрачное зеркало 9, подложку 1, зоны разрушения металлической пленки 16 и гиротропную жидкость 4 и падающего на зеркальную поверхность 7 концентратора 6. Гиротропная

1260769

«<<а жидкостf 4 п«в< Начинает на угол 90 плоскость и< .пяризации проходящего через нес .,<<инейно-поляризованного излучения, Отраженный от поверхности

7 и преломленный зеркалом 9 поток излучения попадает через поляризатор 12 на приемник 10 поляризован— ного излучения. Скрещенные поляриза— торы 11 и 17 позволяют измерять

Изобретение относится к испытательной технике, а именно к устройствам для определения адгезии.металлических пленок.

Цель изобретения — повышение точности определения адгеэии металлических пленок к поверхности подложек, выполненных из оптически прозрачных материалов.

На чер-еже показана схема пред- 1О лагаемого устройства.

Устройство содержит подложку 1 из оптически прозрачного материала, одна из поверхностей которой предназначена для нанесения на нее металлической пленки, держатель 2 подложки 1, ванну 3 беэ дна, установленную на держателе 2 и запол— ненную жидкой средой, в качестве которой использована гиротропная 2О жидкость 4, например спиртовой раствор сахара, источник 5 ультразвуковых колебаний, концентратор 6, установленный в ванне 3 со стороны подложки 1, предназначенной для нанесения на нее металлической пленки, обращенная к подложке 1 поверхьость 7 которого выполнена зеркальной, и регистрирующую систему, выполненную в виде источника 8 поляризованного излучения, установленного вне ванны 3 напротив концен— тратора б по другую сторону от подложки 1, полупрозрачного зеркала 9, установленного под острым углом к подложке 1, приемника 10 поляризованного излучения и двух скрещенных поляризаторов 11, 12, один иэ которых установлен между полупрозрачным зеркалом 9 и источником 8 поляризованного излучения, а другой — между только интенсивнос гь потока излучения, прошедшего через зоны ра 3рушения пленки 16, и получать информацию о кинетике и степени ее разрушения. Полупрозрачное зеркало

9, установленное под острым у лом к подложке 1, обеспечивает посылку излучения на приемник 10 поляризованного излучения. 1 ил.

2 полупрозрачным зеркалом 9 и приемни-ком 10 поляризованного излучения.

Подложка 1 является дном ванны 3.

Источник 8 поляризованного излучения выполнен в виде ксеноновой лампы 13 и линзы 14, а приемник 10 поляризованного излучения выполнен в виде матрицы 15 фотодиодов, эпектрически связанной с системой (на чертеже не показана) обработки данных.

Устройство работает следующим образом.

Подложку 1 с нанесенной на нее металлической пленкой 16 устанавливают на держателе 2 и закрывают ею дно ванны 3. Ванну 3 заполняют гиротропной жидкостью 4. Включают источник 8 и приемник 10 поляризованного излучения и проводят юстировку оптической системы и проектирование оптического изображения поверхности раздела подложка металлическая пленка на поверхности датчиков матрицы t5 фотодиодов.

Включают источник 5 ультразвуковых колебаний, концентратор 6 которого передает колебания гиротропной жидкости 3, под действием которой в металлической пленке 16 возникает нарушение ее сплошности и появляются зоны разрушения. При этом поток излу" чения от ксеноновой лампы 13, пройдя через фокусирующую линзу 14 и поляризатор 11, попадает на полупрозрачное зеркало 9 и частично отражается а оставшаяся часть потока излучения проходит через подложку 1 на поверхность раздела подложка — металли- ческая пленка. При отсутствии зон разрушения металлической пленки 16

69 4 степени разрушения пленки 16 и плотности рапределения разрушений по ее поверхности. Полупрозрачное зеркало 9 регистрирующей системы, установленное под острым углом к подложке 1, обеспечивает возможность посылки излучения, дважды про.шедшего через жидкую среду и исследуемую пленку 16 на приемник 10 поляризованного излучения.

12607 поток излучения отражается и полностью задерживается поляризатором

12, при наличии эон разрушения металлической пленки 16 поток излучения проходит через металлическую плен- ку 16 и попадает в гиротропную жидкость 4, которая начинает поворачивать плоскость поляризации. ДлиФормула из обр е те ния

Составитель В. Свиридов

Техред М.Ходанич,КоРРектор Л.Пилипенко

Редактор М. Товтин

Тираж 778 Подписное

BHHHIIH Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Заказ 5220/41

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4.ну оптического пути излучения в гиротропной жидкости подбирают такой, 10 чтобы после выхода из подложки 1 поток излучения имел плоскость о поляризации, повернутую на угол 90 по отношению к потоку, падающему на поверхность металлической пленки 16. 15

Поток излучения попадает на зеркальную поверхность 7 концентратора 6, отражается от нее и, вторично пройдя эоны разрушения металлической пленки 16, преломляется зеркалом 20

9 в направлении поляризатора 12.

После прохождения потока через поляризатор 12 его интенсивность целиком определяется сплошностью металлической пленки 16, и поток приобретает 25 состояние, удобное для отражения на матрице 15 фотодиодов приемника 10 поляризованного излучения.

Выполнение рабочей поверхности 7 концентратора 6 зеркальной позволяет испольэовать ее одновременно в качестве зеркала регистрирующей системы и в качестве средства для воздействия на жидкую среду и возбуждения в ней колебаний высокой

35 частоты.

Выполнение жидкой среды гиротропной, т.е. способной вращать плоскость поляризации проходящего через нее линейно-поляризованного излу4Q чения, позволяет изменять плоскость поляризации излучения, падающего на приемник 10.

Установка скрещенных поляризаторов 11 и 12 позволяет измерять толь- .

45 ко интенсивность света, прошедшего через зоны разрушения пленки, и

I получать информацию о кинетике и

Устройство для определения адгезии металлических пленок, содержащее подложку иэ оптически прозрачного материала, одна из поверхностей которой предназначена для нанесения на нее металлической пленки.деожатель подложки, ванну, установленную на держателе и заполненную жидкой средой, источник ультразвуковых колебаний, концентратор которого установлен в ванне со стороны подложки, предназначенной для нанесения на »ее металлической пленки, и регистрирующую систему, отличающееся тем, что, с целью повышения точности, подложка является дном ванны, обращенная к подложке поверхность концентратора выполнена зеркальной, в качестве жидкой среды использована гиротропная жидкость, а регистрирующая система выполнена в виде источника поляризованного излучения, установленного вне ванны напротив концентратора по другую сторону от подложки, полупрозрачного зеркала, установленного под острым углом к подложке, приемника поляризованного излучения и двух скрещенных поляризаторов, один иэ которых установлен между полупрозрачным зеркалом и источником поляризованного излучения, а другой между полупрозрачным зеркалом и приемником поляризованного излучения.