Способ измерения диффузионной длины носителей тока в слитках германия и кремния

Способ измерения диффузионной длины носителей тока в слитках германия и кремния

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Класс 21g, 11„

21е, 37оз

21а4, 71 № 127334 ИСдюг8и

0ИВ11 l:gЫШ » 6М

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТ(;ЛЬСТВУ

Подписная группа № 97

Ю. А. Концевой

СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ДИФФУЗИОННОЙ ДЛИНЫ НОСИТЕЛЕЙ

ТОКА В СЛИТКАХ ГЕРМАНИЯ И КРЕМНИЯ

Заявлено 16 сентября 1958 r. за № 607733/26 в Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Опубликовано в «Бюллетене изобретений» № 24 за 1962 г.

Диффузионная длина носителей тока в германии и кремнии обычно определяется по методу, основанному на модуляции проводимости точечного контакта. Основной недостаток этого метода — зависимость результатов измерений от уровня инъекции, т. е. от величины тока через точечный контакт.

Предлагаемый способ отличается от известных тем, что он устраняет зависимость результатов измерений от уровня инъекции и тем самым повышает точность измерений.

Это достигается тем, что для измерений диффузионной длины используют значения фотоэлектродвижущей силы холостого хода при поверхностной и объемной генерации пар носителей тока.

Сущность описываемого способа состоит в следующем.

Торец слитка освещают световым потоком, диаметр которого больше диффузионной длины носителей тока. Световой поток пропускается: при исследовании германия — через слой воды, а при исследовании кремния — через фосфатное стекло. В центре освещенной поверхности устанавливают точечный зонд и измеряют фотоэлектродвижущую силу холостого хода. Затем пропускают свет через интерференционный инфракрасный фильтр и вновь измеряют фотоэлектродвижущую силу, По результатам измерений определяют диффузионную длину носителей тока. № 127334

Предмет изобретения

Редактор В. Н. Погоржельский Техред А. А. Камышникова Корректор Л. М. Индрих

Объем 0,18 изд. л.

Пена 4 коп.

Подп. к печ. 15/111 — 63 г

Зак. 316/14

Формат бум. 70)j108 /io

Тираж 1100

ЦБТИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, М. Черкасский пер., д. 2/6.

Типография, пр. Сапунова, 2.

Способ измерения диффузионной длины носителей тока в слитках германия и кремния, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерений, торец слитка освещают световым потоком, диаметр которого больше диффузионной длины носителей тока, пропущенным при исследовании германия через слой воды, а при исследовании кремния — через фосфатное стекло, измеряют фотоэлектродвижущую силу посредством точечного зонда, пропускают свет через интерференционный инфракрасный фильтр, вновь измеряют фотоэлектродвижущую силу и по результатам измерений определяют диффузионную длину носителей тока.