Регулятор расхода с числовым управлением

Регулятор расхода с числовым управлением

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение относится к автоматическому регулированию потока газа в вакуумных системах. Цель изобретения состоит в упрощении конструкции и уменьшении ее габаритов. Регулятор содержит входную камеру 1 и выходную камеру 2 с патрубками 3 и 4. Между камерами установлены перегородка 5 с отверстиями 6 и пластины 7 с отверстиями 8, В каждом отверстии перегородки 5 установлен электрически управляемый клапан 10 нормально закрытого типа, причем сечения отверстий в перегородке и пластинах соответственно одинаковы. Перегородка 5 (Л с отверстиями 6 и пластины 7 с отверстиями 8 образуют регулирующий элемент . 1 ил. ю ел 00 00 to

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (5D 4 G 05 D 7/QO

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К A BTGPCHGMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3915441/24-24 (22) 25.06.85 (46) 07.12.86. Бюл. У 45 (71) Винницкий политехнический институт и Винницкий завод радиотехнической аппаратуры (72) А.А. Новиков и В.Я. Погорелов (53) 621.646.3(088 ° 8) (56) Залманзон Л.А. Микропроцессоры и управление потоками жидкостей и газов. — M. Наука, 1984, с.129, рис. 5,2 б.

Авторское свидетельство СССР

У 954954, кл. С 05 D 7/00, 1980.

„„SU„„1275382 А1 (54) РЕГУЛЯТОР РАСХОДА С ЧИСЛОВЫМ

УПРАВЛЕНИЕМ (57) Изобретение относится к автоматическому регулированию потока газа в вакуумных системах. Цель изобретения состоит в упрощении конструкции и уменьшении ее габаритов.

Регулятор содержит входную камеру 1 и выходную камеру 2 с патрубками 3 и

4. Между камерами установлены перегородка 5 с отверстиями 6 и пластины

7 с отверстиями 8. В каждом отверстии перегородки 5 установлен электрически управляемый клапан 10 нормально закрытого типа, причем сечения отверстий в перегородке и пластинах соответственно одинаковы. Перегородка 5 с отверстиями 6 и пластины 7 с отверстиями 8 образуют регулирующий элемент. 1 ил.

12 j с. 3ч гвекко одинаковы.

BHHHIIH Заказ 6559/38 Гив">1 836

Подггиское

Произв полиг э . пр"" ги1-р - i;;j o lop;" "1 Пр" ек- 11ая з

Изобретение относится к регулированию расхода, а более конкретно к конструкциям регуляторов расхода газа в вакуумных системах.

Целью изобретения является упро- к щение конструкции устройства.

На чертеже изображен один из вариантов конструкции 4-х клапанкогo регулятора расхода с числовым управлением. 1О

Pe. ."улятор содержит входную камеру 1 и выходную камеру 2 с патрубками 3 и 4, разделенные регулиру1ощим элементом в виде перегородки 5 с Отверстиями 6 и пластин 7 с отверстиями 8. Каждое отверстие регулирующего эЛемента 5 снабжено седлом 9 электрически управляемого клапана i0(10310 ) нормально закрытогo типа с пружиной 11 и управляющими электромагнитами 12. Клапаны перемещак1тся в направляющей пластине 13, Регулятор работает следующим: образом, В соответствии с кодовой командой правления, поступающей на клапаны

10, обеспечивается числовое управление устройством. Расход газа o:1ределяется проходным сечением отверстий

6 клапанов 10 oтверстий

8 в пластинах 7„ а также количеством пластин 7„ последовательно расположенных во входной камере 1. Если ьсе клапаны 10 устройства закрь|ты, расход газа равен нулю. Младший разряд команды управления управляет состоянием клапана 101„ имеющего наибольшее число последовательно располо.женных пластин 7 с отверстиями 8., расположенных во входной камер 1„ g

Поэтому при управляющем коде ",000, когда клапан 10 открыт, а остальные закрьггы, обеспечивается ми:-гимальный расход газа. Максимальный расход обеспечивается открытыми клапа.нами

10,-101 при управляющем коде !111.

Комбинируя состояние клапанов можно управлять во всем диапазоне величи-. ной расхода газа от минимальногo,цо максимального. Изменяя сечени * OTвер- у"; стий 6 в перегородке 5 и (или) в плаСТНН Х 7 NOKHO пOJIIHHTb pPI"5 ляTОры расхода с числовым )правлением с различными характеристиками зависимости расхода От упра:зляюшего кода.

Число клапанов может быть и другим. Око выбирается в зависимости от диапазона изменения ра.схода., требуемой плавности из.1екек11я ре1 улируемого потока„ разряцности цифровой системы управления. При восьми клапанах величина ступеньки, va которую изменяется ра,сход газа, равна 256, что практически обеспечивает его плавное регулирование, Конструктивная реализация регулятсра ра.схода "- ÿÂHOHT От типа привода к1.:апака (магкитострикц -;oIIHIN, =-лекTpooTрикциОк11ь1й, электрома1н1г: кык и

F,p, ) . В прив одень! Ой к01!ст эукции Но-. пользовак э Ic1.тромагнитHF.IH привод, Исгользование на входе рсгулятоp;-! расхоца с числовыь управлением

Ограничителя вхоцксго потока,, а на выхоце откачкого устройства (не 110 казаны) обеспечивает рабогу регулятора E необходимом диапазоне давлений газа,

Pe уля -.Ор рао о 1а с числовы.-. укра

BJIpHHpм содержащий карпv"o разде

-1енкый ка вход:;,óþ :. выходну1о камеры перегородкой с OTz<.=pcT-.1ям ..:-. по чи"лу разрядов команды управления,,=:- az дом из которых установле: управляемый клапан, с т л и ч а ю шийся тем, что, с целью упрощ ния регулятора, в нем установлены пластины с отверстиями, разделяющими входную камеру ка отсеки, число которых соответствует числу управляемьгх клав.аков, причем сечения отверстий в перегороцках и пластинах соответ