Интерферометр для контроля формы поверхности оптических деталей

Интерферометр для контроля формы поверхности оптических деталей

Реферат

Интерферометр для контроля формы поверхности оптических деталей, содержащий последовательно расположенные монохроматический источник света, светоделитель и образцовый оптический элемент, имеющий одну поверхность эталонную, другую - плоскую и установленный плоской поверхностью к источнику света, и регистрирующий блок, отличающийся тем, что, с целью повышения точности контроля, он снабжен пропускающей осевой голограммой, расположенной на плоской поверхности образующего элемента так, что ось голограммы проходит через центр кривизны эталонной поверхности, а распределение радиусов колец голограммы определено выражением где ^±_m - больший (+) и меньший (-) радиусы m-го кольца голограммы (m = 0, 1, 2, 3, ...); l - расстояние от источника света до центра голограммы; n - показатель преломления материала образцового элемента; R - величина радиуса кривизны эталонной поверхности; t - толщина образцового элемента; - длина световой волны; Q - скважность структуры голограммы; K - коэффициент, равный -1 для выпускной эталонной поверхности, +1 для вогнутой, 0 для плоской.