Способ изготовления фильтрующего покрытия

Способ изготовления фильтрующего покрытия

Реферат

Способ изготовления фильтрующего покрытия, включающий поочередное испарение в вакууме с помощью электронного луча и последующее осаждение на кварцевую подложку материалов, формирующих чередующие слои из двуокиси кремния и слои с высоким показателем преломления, отличающийся тем, что, с целью повышения термостабильности и увеличения продолжительности работы покрытия в циклическом режиме, слой с высоким показателем преломления выполнен из окиси железа, осаждение которого осуществляют со скоростью 0,06-0,18 нм/с, причем после осаждения каждого слоя из окиси железа покрытие нагревают на воздухе до 600-800°C в течение 5-15 мин.