Способ получения четыреххлористого кремния
Патент 1287464
Авторы
Классы МПК
Способ получения четыреххлористого кремния
Реферат
Способ получения четыреххлористого кремния, включающий испарение и хлорирование кубовых остатков производства трихлорсилана при повышенной температуре с последующей конденсацией парогазовой смеси, отличающийся тем, что, с целью повышения чистоты целевого продукта, хлорирование кубовых остатков проводят в присутствии кислорода или гексахлорсилоксана, взятых в количестве, обеспечивающем отношение хлора к кислороду 100:1 - 10:1.