Способ откачки газодинамического окна

Способ откачки газодинамического окна

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ ИЗОЬ к АВТ0рсН0МУ свидетельству

3(штп(н(г» гр()т!)10 Л ."

А. М. ро>(ян

СПОСОБ ОТКАЧКИ ГАЗОДИИАМИЧЕСКОГО ОКНА

)>>ин.и Htt .О ",!a>t 1969 !»> ¹ 629764/26 в kt>>tttn т и(> )(ел»ч и«и>ги) >и>

»т>(рыти!! и>>и CART Tt, >Чиние)п >н ((.(,! ()н((>)ик >ини< и :!З»».>летен(и«>Пи>еrt >>tti",№ I! t t Itl!It

1 !! !)!!! ((ас ГОЯ щ(. (ll 3(>() J)(Tt, I!!It. (>TH(>(:!11 ()I i((i! (и ()ОЯ м (>) к;> I l(l l г(! it tдll ll il и ° I(Cl(OÃ0 ОКН(!.

ПредлаГаемый clio«0() Olличя()тся оТ изв cTHbl>(T(.м, ! (> Ilocл« IM101() лгуll(нь окна заполня)от легко вымораживаемым балластным газом или паром под давлением, которое поддерживается несколько вь(ш(дявлени)1 Гяз(l В пространстве, Окружа)оlцем нос чедню)О (тупень,;i 0Tкячку

t>II. !. I1lCTl lOf (> Г<133 ?????? il(1 j) cl ??i?????????????????? f) i>I .(!OP 3?Klf BB IIII(.(I.

Применение такого способа упрощает и удешевля(т к(и!струкцию дифференциального гязодинямического окна.

В кячестВе Вымор яжиВаемОГО Гя за можно )!clio. И> )О нять. н я при ив(>, и..>!«кисль!й гяз, пары воды, аммиак. дияцетилен, нсопропян и др., (учше всего требованиям Îезвредности и легкой выморяжиBясмости iäîB.!Створяют пары воды и углекислый газ.

Ня чертеже изображена с((.м)1 ycTpOII«! I)3,Tля (>суп(«ств;!(н!!я прсд, I 3 I 3(МОГО C110(. 003.

l3p поступает В иоследнк)к> сту 1«нь I 330äèí3ìlf÷«cf(oãO окия i«J)(:3 рсг>>!!s!тор дсlв. !elf!Is! ) под 13Вл(писм и(скол)п(О большим, чсм ,T;tH;f«IIII«B прсдпослсдн ступени 6 и В p3(>0«(f пространств« 3 (1101»ЦИЯ НЯ I(. РТЕ?КС HC Поназаиа), В КОТОРОЕ ВЬ!ВОДИТСЯ II> IОК Ч3СТИЦ Il.t пространства 4, заполненного Вакуумом. Поэтому OH (и>дет !>! !>;одит), и:t с !уисии 1 через отверстия 7 и (> .

Давление пара выбирается таким, чтобы (f(> иер«т(капп(В рябо)с(.

llpocTp3HcTBo 3 было слабым, достаточным лишь для предотвращ«ния возможности обратного перетекания газа из этого пространства 13 ступень ), Через отверстие 8 пар попадает в ступень 6, ио поскольку эгl ступень связана с вымораживающей установкой, то р(!Ннов««но(;1 !Вл(-!

llI(. устанавливяющссся в исй в результате постоянного Вымораживания пара. оказывается H3 >--3 порядка меньшим. чем В ступени l. и:

, тъ ll(ни (> I13P мож(т IIO(T>, I!3Th В (т пень 9, (Вяз;)нн1н> (дР, ГО!! ((I(!ill("It

Б ы м 0 р <1 ?? ?? ?? ?? ??> Гц (е и у с т 3 и 1) Б к) 1 и и м (. . ю щ е и j 3 B Jl P H i t P l l 3 3 i t () p 5t! j t j:! меньше чем.,@+1 »яф(п! 6,11 l . д. Чис(!О c" уitpHpH даВления >10>нет () l>! Гь

Р 33, IIЧНЬГ1. ДЛЯ и)>!В(. Д(. Н )Я KО>РПУСКУЛЯРНОГО П)(Ч К3 ИЗ Ва КУУМ3 ПОР ЯДКd

L0 лл pT: >т. Й(()Г(р(>сФрннство с ДЗВлением (>т> (ocT три ("1 y>g>фи дав 1спр1 „ ОстаИИ газов, выде;(яем!!х системой и попадак>щнх в вакуумнук) камеру, yg(3erywaekhpH и()мощи диффузионного насоса 10. . Отверстия 7 и 8 открыты только во время работы установки, В н)рерывах между работой оНН перекрываются при помощи Вакуумного затвора 11.

Первичная 0TK3чка системы может производиться при помощи MBломощной насосной пары, используемой затем для других целей. Во

BpP>III p360Thl > ст>!Нонки МО>КРТ p300T3TI, To. II,Ko o>jHII, jitô,)), BHoH lit, насос.

П,10тность с)олб>1 Вод>lнОГО п(!р(1> находяlцеГОся В Г(1зодинаlмиче>ском

OKII(, = KBHI33;I(IiTll;l d 1!0>>l1IIIiIPВОй фол!И с TOлщиной 0,5 I(IHKpOH, СCitit давление в рабочем пространстве ) (позици)1 на чертеже не показана) равно 1 с)т, и фольге толщиной 0,0085 микрон, если давление равно

10 >11,11 pT. cT. 3To позво,)!ЯВT Выводить эл(.ктронны(> III) >IKH,"!юбой xtottl,— ности практически без потерь энергии и без рассеивания.

Давление водяного пара при комнатной температуре составляег ()ко Io 17 л1>11 рт. ст., поэтому для введения пучков в газ, обладая>щий меньшим давлением, нет надобности в иагр(.вателе. При введении в газ, облада!ощий большим давлеHèåм, нагреватель необходиM Кроме того, необходим подогрев камеры 1.

В случае выведения пучка в Газ, обладающий высоким давлением, может быть использован углекислый газ, подаваемый из баллона. Установка с углекислым газом проще и требует меньшего расхода >кидкого азота. Но она характеризуется несколько меньшей скоростью В ямораживания;! 1),)льшим давлением выморажива(.мых паров.

l 1 р с д м p. и 3 0 6 J) е I е н ll,, (.иособ откачки газодинамического окна, отл и ч cl и(цп и с я l(м, !то> с целью упрощения насосно-откачного агрегата, последнюю сту-! ень окна заполняют легко вымораживаемым балластным газом или паром под давлением, которое поддерживается несколько выше давлсНИЯ Газа В ПРОСТРННСТВЕ, 0KP) >K 3!ОЩЕМ liOC,. !СДНIОIО СТУИСНЬ, 11 ОТК>)>!К) балластноп) газа или;ара производят Вы яораживанием.