Способ градуировки вакуумметров

Способ градуировки вакуумметров

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение относится к вакуумному приборостроению и позволяет уменьшить погрешность градуировки вакуумметров. Подают из камеры 7 высокого давления через диафрагмы 5 и 6 поток газа в градуировочную камеру 2 и давление в ней сравнивают с показаниями градуируемого вакуумметра 1, Через натекатель 9 подают в камеру 2 дополнительный поток и, oTKptjiB клапан 8, увеличивают поток газа в нее, снимая при этом показания градуируемого вакуумметра 1. Повыгаая давление в камере 7, перекрывают поступление дополнительного потока и регулируют поток газа через диафрагмы 5 и 6 до первоначальных показаний манометра 10. Повторением операций осуществляют последовательное воспроизведение в камере 2 ряда давлений, используемых для проведения единичных измерений. Постоянно и дискретно подаваемые части потоков удовлетворяют определенному соотношению , 1 ил., 1 табл. i (Л

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИН (19) (11) А1 (51) 4 С 01 1. 27 00

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3957294/24-10 (22) 27.09.85 (46) 15. 02. 87. Бюл, R- 6 (72) А, А, Биршерт (53) 531, 788 (088. 8) (56) Авторское свидетельство СССР

Р 408183, кл. G 01 1 27/00, 1971, Авторское свидетельство СССР

Р 957024, кл. G 01 L 27/00, 1979. (54) СПОСОБ ГРАДУИРОВКИ ВАКУУММЕТРОВ (57) Изобретение относится к вакуумному приборостроению и позволяет уменьшить погрешность градуировки вакуумметров, Подают из камеры 7 высокого давления через диафрагмы

5 и 6 поток газа в градуировочную камеру 2 и давление в ней сравнивают с показаниями градуируемого вакуумметра 1, Через натекатель 9 подают в камеру 2 дополнительный поток и, открыв клапан 8, увеличивают поток газа в нее, снимая при этом показания градуируемого вакуумметра 1.

Повышая давление в камере 7, перекрывают поступление дополнительного потока и регулируют поток газа через диафрагмы 5 и 6 до первоначальных показаний манометра 10. Повторением операций осуществляют последовательное воспроизведение в камере 2 ряда давлений, используемых для проведения единичных измерений, Постоянно и дискретно подаваемые части потоков удовлетворяют определенному соотношению. 1 ил., 1 табл.

1290115

Изобретение относится к вакуумному приборостроению, в частности к образцовым вакуумметрическим установкам, используемым для градуировки вакуумметров ° 5

Целью изобретения является уменьшение погрешности градуировки вакуумметров.

На чертеже показана схема вакуумной установки, реализующей способ ® градуировки вакуумметров, Установка содержит градуируемый вакуумметр 1, присоединенный к градуировочной камере 2, которая откачивается через диафрагму 3 известной проводимости U высоковакуумным насосом 4. Через диафрагмы 5 и 6 известной проводимости U u U соответ1 а ственно в градуировочную камеру 2 иэ камеры 7 высокого давления подают основной поток газа, Клапан 8 служит для перекрытия диафрагмы 5. Через регулируемый натекатель 9 в градуировочную камеру 2 из камеры 7 высокого давления подают дополнительный поток газа. К камере 2 присоединен манометр 10 сравнения, а к камере 7 - манометр 11 высокого давле30

Способ градуировки вакуумметров осуществляют следующим образом, После предварительной откачки градуировочной камеры 2 в нее из камеры 7 высокого давления через диафрагмы 5 и 6 подают поток Я газа. о

При этом клапан 8 находится в открытом положении, а натекатель 9 — в закрытом.

Отсчитывают показания градуируемого вакуумметра I и сопоставляют о с ними соответствующее значение давления P в градуировочной камере 2, рассчитанное по уравнению

О U +U

Р о р «о» (1) 45 о ц о1 ц где P .— показание манометра 11 выо1 соко ro давления, соответствующее потоку QD, Одновременно фиксируют показание 50 манометра 10 сравнения (для потока (Я это показание обозначим ? ).

Закрыв клапан 8, подают в градуировочную камеру 2 через натекатель 9 дополнительный поток, равный потоку, проходившему ранее через диафрагму

5, закрытую затем клапаном 8. Равенство, потоков до и после закрытия клапана 8 устанавливают по равенст(4) 2 - о2 (". ""1

Этот поток газа создает в градуировочной камере 2 давление

P, = 9-2= P, (U +2U )/U. (5) Давление Р связано с первоначальным давлением P в камере выо1 сокого давления соотношением: (6) о, (о, )=о2(цо ц1

Следовательно, давление

Q, (U +2UÄ,)

0 О1 Ц(Ц .(.Ц ) (7) Таким образом; в градуировочной камере 2 последовательно воспроизводится ряд давлений, используемый для проведения единичных измерений

U +2U

Р Р

1 61 U (U +2U()

p p Йю

2(о1 ц(ц.+ц,) (8) (U +2U )"

Р = P

Ю (ч о1 U(U +ц )(1-(О 1 ву показаний манометра 10 до и после закрытия клапана 8 соответственно, Открыв клапан 8, увеличивают по ток газа в градуировочную камеру до величины

Q, - P« (U +2U1 ), (2)

Отсчитывают показание градуируемого вакуумметра I и сопоставляют

1 с ним соответствующее давление P

1 в градуировочной камере 2, рассчитанное по формуле:

Р QZ Р

U +2U (3)

1 U о1 ц

Одновременно фиксируют показание !

I манометра 10 сравнения.

Прекратив подачу дополнительного потока через натекатель 9 (т.е. закрыв этот натекатель), путем повышения давления в камере 7 высокого давления до величины Р регулируют поток газа через диафрагмы 5 и 6 так чтобы показание манометра срав-! нения вновь было равно I.

Закрыв клапан 8, подают в градуировочную камеру 2 через натекатель

9 дополнительный поток, равный потоку, проходившему на предыдущем этапе через диафрагму 5. Вновь открыв клапан 8, увеличивают поток газа в градуировочную камеру до величины

1290115 (10

Р,.

P„ (9) 1 (К 4 5 6 7 8 9 10 11

11 /U, 0 285 0,709 1,14 1,57 2 00 2 43 2 86 3 29

Чтобы в каждом порядке измеряемых давлений было проведено в процессе

° градуировкн не менее k единичных измерений, необходимо выполнить условие (k > 4):

Поскольку постоянная и дискретно подаваемые части основного потока газа, подаваемые иэ камеры 7 высокого давления в градуировочную камеру 2, пропорциональны величинам проводимостей диафрагм 5 и 6, то уравнение (10) описывает также и требуемое соотношение между постоянной Q„ и дискретно подаваемой Q частями основного потока

2, 2- И ()

Е, 1,—,, Таким образом, взяв необходимые соотношения проводимостей диафрагм

5 и 6, можно обеспечить практически любое число единичных измерений в каждом порядке, что обеспечит уменьшение погрешности градуировки вакуумметров, Формула изобретения

Способ градуировки вакуумметров, заключающийся в подаче в градуировочную камеру изменяемых основного

Отсюда получим соотношение между проводимостями диафрагм 5 и 6 при

U > 2 — 310

U k (1O) йО - 1

В таблице приведена э ависимость отношения U /U для 4 .- 1с 11 ° и дополнительного потоков газа, многократном уравнивании этих пото-, ков для проведения единичных и:ме20 рений, фиксировании давлений в камере при этих операциях и расчете точных значений давлений в камере

Ilo известным зависимостям, о т л ич а ю шийся тем, что, с целью уменьшения погрешности градуировки, часть основного потока, подаваемого в градуировочную камеру, подают постоянно при проведении единичного измерения, а часть — дискретно, при

30 этом отношение подаваемой постоянно части потока Q и подаваемой и дискретно части потока Я удовлетd воряет соотношению

З5 Q„/0 >, (2 — 110)/ 1Π— 1), где k — число единичных измерений в диапазоне измеряемых давлений, равном десятичному порядку (k > 4), а уравнивание дополнительного потока проводят с подаваемой дискретно частью основного потока, 1290115

Составитель В, Шестак

Редактор А. Лежнина Техред JI.Îëåéíèê Корректор С. Шекмар

Заказ 7891/37 тираж 799 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб,, д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул, Проектная, 4