Раствор для травления тантала

Раствор для травления тантала

Реферат

 

Раствор для травления тантала, содержащий фтористоводородную кислоту и воду, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества, повышения равномерности и увеличения скорости травления, он дополнительно содержит концентрированную соляную кислоту при следующем соотношении компонентов, мас.ч.: Фтористоводородная кислота - 0,5 - 2 Соляная кислота - 2 - 4 Вода - 2 - 4

Изобретение касается химической обработки металлов, в частности травления тантала, и может быть использовано, например, в электронной технике при производстве дискретных полупроводниковых приборов и интегральных схем. Целью изобретения является улучшение качества, повышение равномерности и увеличение скорости травления. После нанесения пленки тантала на кремниевую подложку в установке вакуумного напыления плазменным распылением ее извлекают из установки, и на пленку тантала наносят фоторезист, вскрывают контактные окна в нем, затем высушивают. В результате на поверхности пленки тантала в скрытых контактных окнах образуется тонкий слой оксида тантала. Известный раствор, содержащий фтористоводородную кислоту в смеси с азотной кислотой, слабо растворяет оксид тантала, поэтому процесс травления пленки тантала получается неравномерным и медленным. Назначение соляной кислоты снятие оксида тантала ускоряет процесс травления тантала. В то же время НСl является поставщиком Н⁺ + е^-, что поддерживает стабильность раствора и обеспечивает равномерность травления. Сравнительные данные, полученные при травлении тантала, толщиной 400-500 , нанесенного на кремниевую подложку с удельным сопротивлением 1 Ом/см со слоем оксида кремния и сформированными в ней Р-областями в предложенном растворе и в известном приведены в таблице. Из анализа приведенных данных следует, что (пример 3) травление равномерное, обеспечивает полное вытравливание тантала без подтравов, скорость травления составляет 0,0005 0,0006 мкм/с, высокий процент выхода годных 99,8%

Формула изобретения

Раствор для травления тантала, содержащий фтористоводородную кислоту и воду, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества, повышения равномерности и увеличения скорости травления, он дополнительно содержит концентрированную соляную кислоту при следующем соотношении компонентов, мас.ч. Фтористоводородная кислота 0,5 2 Соляная кислота 2 4 Вода 2 4

РИСУНКИ

Рисунок 1