Способ контроля просветляющих покрытий

Способ контроля просветляющих покрытий

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение касается измерительной техники и может быть использовано для контроля оптических параметров просветляющих покрытий. Целью изобретения является повышение производительности и упрощение процесса контроля благодаря сокращению числа спектральных диапазонов, S которых исследуется контролируемое покрытие. Контролируемое просветляющее пок рытие, напыленное на подложку 4, облучают излучением от источника 1 света, отраженный от него световой поток оптической системой 3 направляется на измеритель или фотоприемник 5, электрический сигнал с которого поступает в блок 6 регистрации, одновременно часть светового потока попадает и на контрольный фотоприемник 7,. в блоке 6 регистрации однозначно определяется совокупность искомых величин . 1 ил. а о (Л

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (51) 4

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3993760/24-28 (22) 10. 11.85 (46) 23.03.87. Бюл. Р 11 (75) Ю.M.Беляев и Д.А.Дубров (53) 681.2:531.7 (088.8) (56) Патент Великобритании У 1193696, кл. G 01 В 11/06, 1967.

Крылова Т.Н. Интерференционные покрытия. Л.: Иашиностроение, 1973, с. 174-176, 186, 190-194. (54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ ПРОСВЕТЛЯЮЩИХ

ПОКРЫТИЙ (57) Изобретение касается измерительной техники и может быть использовано для контроля оптических параметров просветляющих покрытий. Целью изоб„„SU 1298532 А 1 ретения является повышение производительности и упрощение процесса контроля благодаря сокращению числа спектральных диапазонов, в которых исследуется контролируемое покрытие. Контролируемое просветляющее покрытие, напыленное на подложку 4, облучают излучением от источника 1 света, отраженный от него световой поток оптической системой 3 направляется на измеритель или фотоприемник 5, электрический сигнал с которого поступает в блок 6 регистрации, одновременно часть светового потока попадает и на контрольный фотоприемник 7,. в блоке 6 регистрации однозначно определяется совокупность искомых вели- 2 чин, 1 нл, ! 12985

Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано для контроля оптических параметров просветляющих покрытий. 5

Цель изобретения — повышение производительности и упрощения процесса контроля, достигаемые за счет сокращения количества различных спектраль— ных диапазонов, при которых произ- 10 водится регистрация потока излучения, провзаимодействовавшего с контролируемым покрытием.

На чертеже схематично представлен один из возможных вариантов устройства для реализации способа °

Схема содержит источник 1 света, сменный светофильтр 2, оптическую систему 3, подложку 4 с нанесенным на ней контролируемым покрытием, из- 20 мерительный фотоприемник 5, блок 6 регистрации, контрольный фотоприемник 7 и стабилизированный источник

8 питания.

Устройство работает следующим образом.

Световой поток от источника 1 света проходит через светофильтр 2 и оптическую систему 3 и попадает на контролируемое просветляющее покрытие, нанесенное на подложку 4. Отраженный от него световой поток той же оптической системой 3 направляется на измерительный фотоприемник 5,электрический сигнал с которого поступа- 35 ет в блок 6 регистрации, Одновременно часть светового потока от источника l света после прохождения через светофильтр 2 попадает на контрольный фотоприемник 7, электрический 40 сигнал с которого также поступает в блок 6. Питание источника 1 света осуществляется стабилизированным источником 8 питания.

В блоке 6 регистрации при каждом 45 введенном светофильтре производится одновременная регистрация токов обоих фотоприемников 5 и 7, исключение величин токов, вызванных фоновыми засветками, учитываемых при градуи- 50 ровке по эталонной подложке (не показана), коррекция тока измеритель ного фотоприемника 5 в зависимости от отклонения тока контрольного фотоприемника 7 эа счет возможного изме- 55

32 2 нения уровня и спектральных характеристик подающего на него светового потока, после чего вычисляется отношение скорректированных токов и по

его величине и величине одного из скорректированных токов с помощью градуировочных кривых, выраженных математически и заложенных в память блока 6 регистрации, однозначно определяется совокупность искомых величин, например показатель преломления покрытия и его толщина. Полученная информация отражается на выходе блока 6 регистрации или используется для формирования управляющего напряжения, подаваемого непосредственно в органы технологического процесса, обеспечивая нанесение просветляющих покрытий с тре— буемыми параметрами.

Элементы оптической системы 3 подбираются и рассчитываются таким образом, чтобы освещенности контролируемого покрытия и поверхности контрольного фотоприемника 7 менялись при изменении параметров излучения источника 1 света пропорционально по сравнению с освещенностью нри оптимальном излучении, кроме того, необходимо исключить попадание внутрь оптической системы 3 внешнего света.

Формула изобр етения

Способ контроля просветляющих покрытий, заключающийся в том, что облучают контролируемое покрытие подихроматическим излучением, последовательно регистрируют соответствующие различным участкам спектра потоки излучения, провэаимодействовавшего с покрытием, а параметры покрытия определяют по соотношению зарегистрированных потоков, о т л и ч а ю щ и й— с я тем, что, с целью повышения производительности и упрощения процесса контроля, последовательно выделяют в облучающем излучении коротковолновую и длинноволновую области спектра, регистрируют потоки провэаимодействовавшего излучения для каждой из выделенных областей и определяют параметры покрытия по соотношению двух зарегистрированных потоков.

ВНИИПО Заказ 875 40

Произв.-полигр. пр-тие, r.

Тираж 678 Подписное

Ужгород, ул. Проектная, 4