Турбомолекулярный вакуумный насос
Патент 1302023
Авторы
Классы МПК
Турбомолекулярный вакуумный насос
Иллюстрации
Реферат
Изобретение относится к вакуумной технике, и позволяет повысить степень сжатия насоса. Ротор 2 поперечными перегородками (ПП) 4 и 5 разт делен на ряд ступеней (С). ПП 5 перед каждой четной по ходу откачивае мого газа С имеют переменную толщину, уменьшающуюся к их периферии. В ПП 4 перед каждой нечетной С выполнены радиальные прорези 6 и на уровне ПП .4 в зазоре расположены уплотняющие элементы, выполненные в виде конических выступов 7, обращенных вершинами к оси корпуса 1. Форма поверхностей ПП 5 н выступов 7 обусловливает преимущественное отражение молекул газа в направлении последующей С, что снижает обратные перетечки газа. 2 ил. (Л к
СОЮЗ СОВЕТСНИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ
РЕСПУБЛИН
1511 4 F 04 0 19/04
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР
ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (61) 918552(21) 3980731/25-06 (22) 28.10.85 (46) 07.04.87.Вюл. 9 13 (7!) МВТУ им.Н.Э.Баумана (72) К.Е.Демихов, В.Д.Лубенец и В.А.Мешков (53) 621,527.8 (088.81 (56) Авторское свидетельство СССР
9 918552, кл. F 04 D 19/04, 1980. (54) ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЬЙ ВАКУУМНЬП!
НАСОС (57) Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет повысить степень сжатия насоса. Ротор 2 попеÄÄSUÄÄ 1302023 A 2 речными перегородками (ПП) 4 и 5 раз-, делен на ряд ступеней (С ) . ПП 5 перед каждой четной по ходу откачивае мого газа С имеют переменную толщину, уменьшающуюся к их периферии. В ПП 4 перед каждой нечетной С выполнены радиальные прорези 6 и на уровне
ПП,4 в зазоре расположены уплотняющие элементы, выполненные в виде конических выступов 7, обращенных вершинами к оси корпуса 1. Форма поверхностей ПП 5 и выступов 7 обусловливает преимущественное отражение молекул газа в направлении последующей С, что снижает обратные перетечки газа. 2 ил.
1 130202
Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям турбомолекулярных вакуумных насосов и является усовершенствованием изобретения по авт.св.¹ 918552.
Цель изобретения — повышение степени сжатия насоса.
На фиг.l представлен насос с двухсторонней конусностью уплотняющих 10 элементов, продольный разрез; на фиг.2 — то же, с одноеторонней конусностью уплотняющих элементов.
Турбомолекулярный вакуумныи насос
15 содержит корпус 1 и размещенный в нем с зазором цилиндрический ротор
2. с лопатками 3, расположенными параллельно оси насоса. В роторе 2 установлены поперечные перегородки 20
4 и 5, разделяющие его на ряд ступе— ней, причем в перегородках 4 перед каждой нечетной по ходу откачиваемого газа ступенью выполняют радиаль25 ные прорези 6, в зазоре на уровне перегородок 4 с прорезями 6 расположены уплотняющие элементы, а лопатки
3 в четных и нечетных ступенях выполнены с противоположными углами наклона. Поперечные перегородки 3 перед каждой четной ступенью имеют перемен— ную толщину, уменьшающуюся к их периферии, а уплотняющие элементы вы—
3 2 и олнены в виде конических выс тупов 7, обращенных вершинами к оси корпуса I.
Насос работает следующим образом.
Газ из откачиваемого объема поступает в корпус 1 насоса, где молекулы его взаимодействуют с лопатками 3 ротора 2 и получают импульс в направлении откачки. Молекулы, попадающие в пространство между соседними ступенями, соударяются с поверхностями перегородок 5 и выступов 7, причем форма этих поверхностей обуславливает преимущественное отражение ударяющихся молекул газа в направлении последующей ступени и тем самым обеспечивается наименьшее отражение в сторону: предыдущей ступени, что позволяет снизить обратные перетечки газа в насосе и, следовательно, повысить
его степень сжатия.
Формула изобретения
Турбомолекулярный вакуумный насос по авт.св.№ 918552, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью повышения степени сжатия, поперечные перегородки перед каждой четной ступенью имеют переменную толщину, уменьшающуюся к их периферии, а уплотняющие элементы выполнены в виде конических выступов, обращенных вершинами к оси корпуса.
ВНИИПИ Заказ 1200/35 Тираж 575 Подписное
Произв.-полигр. пр-тие, г. Ужгород, ул; Проектная; 4